本发明专利技术的课题在于为了构成不仅仅仅通过不包含成核剂等的纯水,大量地发生微型·纳米气泡,进行清洁的清洗·杀菌,而且发生没有污染的微型·纳米气泡的系统,提供新的水冲击方式的微米与纳米气泡的发生方法,发生喷嘴和发生装置。本发明专利技术的发生方法利用水冲击力,该水冲击力通过从两个以上的喷射口而喷射包含溶解气体的液体,使它们相互碰撞的方式产生。另外,本发明专利技术的发生喷嘴包括中空的筒;于该筒的周向的两个以上的贯通小孔;位于上述筒的两端部分的微米与纳米气泡喷射口,该贯通小孔具有按照通过该贯通小孔的截面中心的全部延长线于上述筒的内部交叉的方式设置的结构。本发明专利技术的发生装置具有该发生喷嘴,以及可大量发生微米与纳米气泡的部件结构。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用水冲击的微米.纳米气泡的发生方法,发生喷嘴和发生装置。
技术介绍
对于采用微米.纳米气泡的清洗.杀菌方法,因为是一种仅仅采用水和空气与微量的添加剂的环境负荷少的方法,所以作为代替过去的采用清洗剂,化学药剂等的化学品的清洁?杀菌的方法受到人们关注。另外,由于安全性高,故人们还探讨作为野菜,食品等的杀菌方法的适用。对于过去的微米.纳米气泡的发生方法,人们知道有气液两相流旋转方式、文丘里管方式、加压溶解法的三个方式(比如,关于气液两相流旋转方式和加压溶解法,分别参照专利文献I和专利文献2)。但是,对于任何的发生方式,微米?纳米气泡的发生颗粒数量均是少的,不够的。另夕卜,虽然三个方式均可简单地发生微米气泡水,但是,为了获得足够的微米.纳米气泡的发生颗粒数量,必须在微米气泡水中加入氯基,镁等的成核剂而实现发生。成核剂的混入对于半导体,食品等的清洁.杀菌的适用扩大来说,是大的妨碍,但是,在目前的状况下,非常难以采用纯水,大量地发生微米.纳米气泡。另外,通过水和空气与微量的添加剂而发生的装置的驱动栗可采用各种方式的栗,但是由于半导体,食品等的用途,还必须要求包括驱动栗的装置结构部件完全没有金属污染的装置。比如,在没有金属污染的情况下清洗半导体的晶片等的场合,对于微米?纳米气泡发生装置所采用的栗,接液部由完全不发生金属离子的部件制作,并且喷射压力稳定,而且该压力必须在0.3?0.6MPa的范围内。于是,作为为了避免担心由采用旋转的栗产生的污染现象,以不采用旋转的方式运送液体的栗,本专利技术人提出了下述装置,该装置采用接液部全部由氟树脂制成的压缩空气驱动的伸缩皮罩式缸栗(专利文献3?4)。为了实现消除污染的影响,进行清洁的清洗的目的,人们希望进行不仅栗,而且发生微米气泡的喷嘴部分均全部地采用氟树脂等,进行树脂化的技术开发。已有技术文献专利文献 专利文献1:JP特开2009— 274045号文献专利文献2:JP特开2008— 264771号文献专利文献3:JP特许454751号文献专利文献4:JP特许4924907号文献。
技术实现思路
在已有技术中,不采用成核剂等,而仅仅通过纯水,大量地发生微米.纳米气泡这一点是极困难的,即使在添加成核剂的情况下,人们仍要求大幅度地降低其添加量。另外,如果与已有技术相比较,可使微米?纳米气泡的发生量为大量,则不仅可期待清洗?杀菌效果的大幅度的提高,而且可开展各种的用途。由此,人们强烈地希望有代替已有技术的新方式的微米.纳米气泡发生方法,与可实现该方法的微米.纳米气泡发生装置。另外,在本领域,在过去,人们要求构建进行没有污染的微米.纳米气泡发生的系统。象上面描述的那样,通过采用接液部的全部由氟树脂制成的压缩空气驱动的伸缩皮罩式缸栗,获得该课题可解决的预期。另外,如果可使用采用该栗的微米.纳米气泡发生装置,与已有技术相比较,可使气泡的发生量为大量,则期待形成对于在半导体的制造中,布线的细微化的技术动向来说是有效的清洗方法。但是,在目前的状况下,无法获得可在由无金属的材料构成的装置中,增加气泡发生量的高性能的方法。于是,通过针对包含栗的,作为其它的结构部件的发生喷嘴、气液混合槽、液体运送配备部件等,综合地进行结构和形状的最佳化处理的方式,确立新方式的微米?纳米气泡的发生方法,并且高性能的微米?纳米气泡发生装置的开发是人们强烈要求的。最终,需要构建进行没有污染的微米.纳米气泡发生的系统。针对上述这样的背景,本专利技术的目的在于为了构建不仅仅仅通过纯水,大量地发生微米.纳米气泡,进行清洁的清洗.杀菌,而且进行没有污染的微米.纳米气泡的发生的系统,提供不同于已有技术的新的水冲击方式的微米?纳米气泡发生方法,发生喷嘴和具有自动调整气液混合槽的微米.纳米气泡发生装置。用于解决上述课题的基本的考虑在于为了大量地制作包含溶解气体的微米?纳米气泡,利用通过非压缩性的水碰撞而产生的水冲击。为了实现该效果,通过下述方式,得出本专利技术,该方式为:针对微米.纳米气泡的发生方法和发生装置,构成具有下述的结构的发生装置,该结构按照可最大限度地发挥水冲击力的方式对发生喷嘴的结构和形状进行最佳化处理,并且促进微米.纳米气泡的大量发生。S卩,本专利技术的方案如下所述。(I)本专利技术提供一种微米.纳米气泡发生方法,在该方法中,采用通过从两个以上的喷射口,分别喷射包含溶解气体的溶液,使其相互碰撞的方式而产生的水冲力。(2)本专利技术提供上述(I)所述的微米?纳米气泡发生方法,该方法为用于利用水冲力,发生微米?纳米气泡的方法,使处于气液混合的状态的溶解液从具有两个以上的贯通小孔的筒的外部,通过该贯通小孔,以大于大气压的压力,对其进行喷射,使其在上述筒的内部进行碰撞,由此发生微米.纳米气泡。(3)本专利技术提供上述(2)所述的微米?纳米气泡发生方法,该方法包括气体?液体吸引步骤;气体.液体加压步骤;使包含经过加压的上述气体的液体与新的气体混合的溶解气体的含量丰富的步骤;溶解气体细微化处理步骤,在该步骤中,通过让处于上述溶解气体含量丰富步骤中调整的气液混合的状态的溶解液从具有两个以上的贯通小孔的筒的外部,通过该贯通小孔,以大于大气压的压力,对其进行喷射,使其在上述筒的内部进行碰撞,由此发生微米.纳米气泡。(4)本专利技术提供上述(I)?(3)中的任何一项所述的微米?纳米气泡发生方法,上述喷射时的大气压以上的压力在0.2?0.6MPa的范围内,上述贯通小孔中的通过上述筒的中空的部分的孔径在0.1?6.0mm的范围内。(5)本专利技术提供上述(I)?(4)中的任何一项所述的微米?纳米气泡发生方法,上述溶解液为具有由臭氧、氧、过氧化氢、氯酸、过氯酸和过锰酸钙构成的组中的至少一者的水溶液。(6)本专利技术提供上述(I)?(4)中的任何一项所述的微米?纳米气泡发生方法,上述溶解液为具有碳酸气体、氢气或氮气的水溶液。(7)本专利技术提供一种微米?纳米气泡的发生喷嘴,该微米?纳米气泡的发生喷嘴是为了利用水冲击力,发生微米.纳米气泡而使用的,该喷嘴包括中空的筒;位于该筒的周向的两个以上的贯通小孔;位于上述筒的至少一个端部的微米.纳米气泡喷射口,该贯通小孔按照通过该贯通小孔的截面中心的全部延长线于上述筒的内部交叉的方式设置。(8)本专利技术提供上述(7)所述的微米?纳米气泡的发生喷嘴,具有两个以上的上述中空的筒。(9)本专利技术提供上述(8)所述的微米?纳米气泡的发生喷嘴,上述两个以上的中空的筒与上述溶解液的流入或喷射的方向平行或垂直地并列而设置。(10)本专利技术提供上述(7)?(9)中的任何一项所述的微米?纳米气泡的发生喷嘴,在上述中空的筒中,于该筒的纵向,按照两级以上的多级,设置上述两个以上的贯通小孔。(11)本专利技术提供上述(7)?(10)的任何一项所述的微米?纳米气泡的发生喷嘴,在上述贯通小孔中,通过上述筒的中空的部分的孔径在0.1?6.0mm的范围内。(12)本专利技术提供上述(7)?(11)中的任何一项所述的微米.纳米气泡的发生喷嘴,在中空的筒中,设置于该筒的至少一端部上的微米.纳米气泡喷射口的直径与于周向而设置上述贯通小孔的部分的筒的直径相同,或大于该筒的直径。(13)本专利技术提供一种微米.纳米气泡的发生装置,该微米.纳米气泡的发生装置包括分别吸引气体和液本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种微米·纳米气泡发生方法,在该方法中,采用通过从两个以上的喷射口,分别喷射包含溶解气体的溶液,使其相互碰撞的方式而产生的水冲力。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:橘良昭,橘甲輔,原田薰,笹嶋崇三,玉橋邦裕,本間恭子,松本悠希,
申请(专利权)人:希玛科技有限公司,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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