在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线制造技术

本实用新型专利技术提供一种在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线。在切分张力下保持褶皱特性的该结构化锯线包括连续形成锯齿形形状的单元褶皱，其中所述单元褶皱包括第一部分和第二部分，该第二部分从所述第一部分弯曲并延伸，使得与由所述第一部分和所述第二部分形成的边缘邻接的虚构圆具有一半径或曲率半径，该半径或曲率半径是所述结构化锯线的横截面直径d的5至20倍。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术的一个或多个实施例涉及在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线，并且更具体地，涉及在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线，该结构化锯线即使在切分张力被施加到所述结构化锯线用于对待切割的材料进行切割时也呈现小的褶皱变形，保持褶皱特性，提高切割性能，防止结构化锯线两端处的品质下降，并且降低缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。
技术介绍
通常，在锯机中使用的锯线随着锯线移动并连同切割材料以合适的压力接触待切割的材料来对待切割的材料进行切割，在切割材料中，诸如碳化硅粉末、金刚石粉末等的研磨颗粒与油等混合。使用锯线切割诸如硅块之类的硬质材料的方法如下:锯线沿着多个辊中的多个槽卷绕，并且成排的锯线被驱动以将特定的力施加到硅块或待切割的材料。在该阶段，在成排的锯线和待切割的材料之间供应研磨颗粒以由于研磨颗粒的切割效应而将硅块切割成晶片。切割过程的效率和晶片的厚度品质取决于若干因素，诸如经受切割的硬质材料块的特性和锯线的速度。这些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在锯线中。用于切割硅块的每排锯线被常规地卷绕在辊上1000至3000次。该线沿着辊上制备的槽移动以切割硬质材料，并且当硬质材料被切割时，切割材料不仅研磨硬质材料并且研磨锯线，而且减小锯线的厚度，这是成问题的。在切割开始时，大量切割材料可能伴随有存在于锯线表面上的软质材料镀层；然而，随着镀层在硬质材料被切割时被移除，基层被露出并且包括切割材料的能力减弱。因此，有必要提高在锯线使用时包括切割材料的能力。在国际专利申请W090/12670中，提供一种锯线，该锯线良好地伴随切割材料。该特点通过改变锯线的外表面被实现。根据该专利申请的实施例，许多微腔位于锯线的表面上。而且，根据该专利申请的另一实施例，锯线沿圆周方向具有多个槽。这些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改变锯线的外表面通常是昂贵的和耗时的。
技术实现思路
本技术的一个或多个实施例通过提供一种在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线而解决上述问题，该结构化锯线即使在切分张力被施加到结构化锯线用于对待切割的材料进彳丁切割时也呈现小的裙皱变形，保持裙皱特性、提尚包括切割材料的能力并提高使用切割材料进行切割的能力，防止锯线两端处的品质下降，减少缺陷率并由此提高诸如晶片之类的最终产品的生产率。根据本技术的一个或多个实施例，在切分张力下保持褶皱特性的所述结构化锯线包括锯线，在所述锯线上形成有连续的褶皱，其特征在于，连续形成锯齿形形状的单元褶皱包括第一部分和从所述第一部分弯曲并延伸的第二部分，并且所述第二部分从所述第一部分弯曲为使得，当与由所述第一部分和所述第二部分形成的边缘邻接的虚构圆被考虑时，所述虚构圆的半径或曲率半径被形成为所述线的直径的5至20倍。根据本技术的一个或多个实施例，可取的是，齿状单元褶皱被形成为当该单元褶皱沿所述锯线的纵向方向移动时沿一个方向旋转。另外的方面将部分在以下说明书中陈述，部分将由说明书变明显，或者可通过实践所提出的实施例而被得知。根据本技术的一个或多个上述实施例，在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线即使在切分张力被施加到结构化锯线用于对待切割的材料进行切割时也可呈现小的褶皱变形并保持褶皱特性。因此，可增加由于褶皱造成的切割材料的量，并且可提高对待切割的材料进行切割的能力。【附图说明】由于结合附图对实施例进行的以下描述，这些和/或其它方面将变得明显且更易于理解。在附图中:图1是根据本技术的实施例的在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线的侧视图。图2是从图1中选择的主要部分的放大视图。图3是切分张力被施加到结构化锯线两端的状态下的结构化锯线的侧视图。图4是例示根据本技术的另一实施例的在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线的斜视图的概念图。【具体实施方式】现在将详细参照实施例，其示例在附图中例示，其中相同的附图标记始终指代相同的元件。在这点上，本实施例可具有不同的形式，并且不应当被解释为局限于在此陈述的说明书。因此，在下面仅通过参照附图描述实施例，以解释本说明书的方面。本技术包括在线锯机中使用并用于切割半导体、陶瓷、超硬合金等且将半导体、陶瓷、超硬合金等切成片的锯线。图1是根据本技术的实施例的在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线100的侧视图，图2是从图1中选择的主要部分的放大视图，图3是在切分张力被施加到锯线两端的状态下的结构化锯线100的侧视图。参见图1和图2，根据本技术的实施例的在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线100具有连续形成在其中的单元褶皱10，并具有一特征，借助该特征，单元褶皱10在切分张力被施加到结构化锯线100的两端用于对待切割的材料进行切割时保持性能。具体地，单元褶皱10包括连续形成锯齿形形状的第一部分11和第二部分12，其中第二部分12从第一部分11弯曲并延伸，使得与由第一部分11和第二部分形成的边缘邻接的虚构圆具有一半径或曲率半径，该半径或曲率半径是结构化锯线100的横截面直径d的5至20倍。具体地，单元褶皱10包括第一部分11和第二部分12。由第一部分11与第二部分12相交所形成的边缘的形状是锐利的。虽然边缘部分具有基本圆形形状，但是该边缘部分大体上被形成为锐利的。根据本技术的实施例，连续的单元褶皱10被形成在结构化锯线100中意味着，结构化锯线100本身被制造成具有锯齿形形状。如图2中例示的，与由第一部分11和第二部分12形成的边缘邻接的虚构圆C的曲率半径R是结构化锯线100的横截面直径d的5至20倍。曲率半径R是虚构圆C的半径。图1例示在切分张力被施加到其中连续形成有单元褶皱10的结构化锯线100之前的无张力状态，图3例示切分张力被施加到图1中的结构化锯线100的状态。如图3中例示的，结构化锯线100受到沿一方向的张力，其中单元褶皱10在拉动结构化锯线100两端的切分张力被施加时延长。因此，边缘的高度降低并且结构化锯线100大致变直。在本公开中，曲率半径R是结构化锯线100的横截面直径d的5至20倍，并且由此单元褶皱10的形状在切分张力被施加的状态下被保持。当曲率半径R小于结构化锯线100的横截面直径d的5倍时，这表示在第二部分12从第一部分11弯曲并延伸时第二部分12通过过度的弯曲当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在切分张力下保持褶皱特性的结构化锯线，所述结构化锯线包括连续形成锯齿形形状的单元褶皱，其中所述单元褶皱包括第一部分和第二部分，所述第二部分从所述第一部分弯曲并延伸，使得与由所述第一部分和所述第二部分形成的边缘邻接的虚构圆具有一半径或曲率半径，该半径或曲率半径是所述结构化锯线的横截面直径的5至20倍。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：林承镐，
申请(专利权)人：弘德产业株式会社，
类型：新型
国别省市：韩国;KR