一种多组合式样品靶架制造技术

技术编号:12625896 阅读:102 留言:0更新日期:2015-12-31 19:31
本发明专利技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多组合式样品靶架,包括基板和设置在基板上的靶座,所述靶座由多个薄片样品靶座和不同孔径的孔形靶座排列在基板组成,克服现有的样品靶架装载量少,而且靶座结构单一的问题,利用将多种靶座同时组合排列在基板上,形成组合式样品靶架,能同时对多种样品进行实验,避免了多次更换试验样品,一定程度上确保样品室的密封性,有利于实验分析结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多组合式样品靶架
技术介绍
激光剥蚀技术因可以实现几十微米的原位微区采样技术,与电感耦合等离子体质谱联用,可以进行样品的主微量元素和同位素组成的原位微区分析。近年来在地质、材料、生物、化学、考古等研究领域得到了广泛的应用。激光剥蚀技术将激光器产生的激光经过特殊设计的光路聚焦至待研究样品表面,破坏样品的键能产生细微的样品粒子,然后通过载气将剥蚀出的样品粒子(气溶胶)运送到等离子体质谱中进行微量元素或同位素组成的分析。影响激光剥蚀分析技术分析准确度的一个关键因素是样品在剥蚀和传输过程产生的分馏效应,该分馏效应主要产生于样品剥蚀池中。传统的样品室由于存在剥蚀位置不同而导致剥蚀产生气溶胶及气溶胶传输过程不尽相同,且有些位置存在涡流,导致剥蚀气溶胶不能完全传输至后续分析系统中,从而影响分析结果的正确性。样品靶架是激光剥蚀技术中不可或缺的一个部件,用于装载样品,传统的样品靶架靶座一般比较单一,而且装载量少,在实验中经常需要将靶架从样品室中拿出来更换样品,这样就可能会引入空气(特别是氧气)导致后续等离子体离子源的不稳定性,并改变空间电荷效应,从而影响了分析结果的准确性。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有的样品靶架装载量少,而且靶座结构单一的问题。为此,本专利技术提供了一种多组合式样品靶架,包括基板和设置在基板上的靶座,所述靶座由多个薄片样品靶座和不同孔径的孔形靶座排列在基板组成。所述孔形靶座贯穿基板,由上部的靶座孔和下部的定位孔同轴连通组成,所述定位孔的内径大于靶座孔的内径,靶座孔的顶端安装有定位挡圈。所述定位孔内壁设置有螺纹,定位环通过螺纹旋接在定位孔内。所述基板的前侧面中心位置开设有螺孔。所述螺孔中通过螺纹活动固定有带外螺纹的把手。本专利技术的有益效果:本专利技术提供的这种多组合式样品靶架,并且了传统靶架结构的单一性,利用将多种靶座同时组合排列在基板上,形成组合式样品靶架,能同时对多种样品进行实验,避免了多次更换试验样品,一定程度上确保样品室的密封性,有利于实验分析结果的准确性。以下将结合附图对本专利技术做进一步详细说明。【附图说明】图1是单一靶座的结构示意图。图2是孔形靶座内部结构示意图。图3是不同孔径的孔形靶座组合结构示意图。图4是不同祀座组合结构示意图。附图标记说明:1、基板;2、薄片样品靶座;3、孔形靶座;4、靶座孔;5、定位孔;6、定位挡圈;7、定位环;8、螺孔。【具体实施方式】实施例1: 一种多组合式样品靶架,包括基板I和设置在基板I上的靶座,所述靶座由多个薄片样品靶座2和不同孔径的孔形靶座3排列在基板I组成。如图1、图3、图4所示,本专利技术设计的这种组合靶架可以有多种组合方式,可以是单一的孔形靶架,如图1和3所示,这种靶架适用于对多个锆石等样品进行实验;可以是孔形靶架与薄片样品靶架的组合,这种靶架适用于同时对锆石等样品和地质薄片样品进行实验。实施例2: 本实施例中,薄片样品靶座2是传统的结构,对于孔形靶座3,如图2所示,孔形靶座3贯穿基板1,由上部的靶座孔4和下部的定位孔5同轴连通组成,所述定位孔5的内径大于靶座孔4的内径,靶座孔4的顶端安装有定位挡圈6,所述定位孔5内壁设置有螺纹,定位环7通过螺纹旋接在定位孔5内。装载样品的时候,将样品从定位孔5放入,然后继续在定位孔5中旋入定位环7,旋紧定位环7的过程中,样品会被带到靶座孔4中,最终抵住定位挡圈6固定,这样就完成了样品的装载。实施例3: 在基板I的前侧面中心位置开设有螺孔8,螺孔8中通过螺纹活动固定有带外螺纹的把手。在需要取出更换样品靶架的时候,只需要用一个带外螺纹的手柄旋进螺孔8,然后拉动手柄便可以将样品靶架轻松取出。本实施例没有具体描述的部分都属于本
的公知常识和公知技术,如有需要我们可提供参考资料。以上例举仅仅是对本专利技术的举例说明,并不构成对本专利技术的保护范围的限制,凡是与本专利技术相同或相似的设计均属于本专利技术的保护范围之内。【主权项】1.一种多组合式样品靶架,包括基板(I)和设置在基板(I)上的靶座,其特征在于:所述靶座由多个薄片样品靶座(2)和不同孔径的孔形靶座(3)排列在基板(I)组成。2.如权利要求1所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述孔形靶座(3)贯穿基板(1),由上部的靶座孔(4)和下部的定位孔(5)同轴连通组成,所述定位孔(5)的内径大于靶座孔(4)的内径,革E座孔(4)的顶端安装有定位挡圈(6)。3.如权利要求2所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述定位孔(5)内壁设置有螺纹,定位环(7)通过螺纹旋接在定位孔(5)内。4.如权利要求1所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述基板(I)的前侧面中心位置开设有螺孔(8)。5.如权利要求1所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述螺孔(8)中通过螺纹活动固定有带外螺纹的把手。【专利摘要】本专利技术可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多组合式样品靶架,包括基板和设置在基板上的靶座,所述靶座由多个薄片样品靶座和不同孔径的孔形靶座排列在基板组成,克服现有的样品靶架装载量少,而且靶座结构单一的问题,利用将多种靶座同时组合排列在基板上,形成组合式样品靶架,能同时对多种样品进行实验,避免了多次更换试验样品,一定程度上确保样品室的密封性,有利于实验分析结果的准确性。【IPC分类】H01J37/20【公开号】CN105206490【申请号】CN201410275047【专利技术人】袁洪林 【申请人】西安福安创意咨询有限责任公司【公开日】2015年12月30日【申请日】2014年6月19日本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种多组合式样品靶架,包括基板(1)和设置在基板(1)上的靶座,其特征在于:所述靶座由多个薄片样品靶座(2)和不同孔径的孔形靶座(3)排列在基板(1)组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:袁洪林
申请(专利权)人:西安福安创意咨询有限责任公司
类型:发明
国别省市:陕西;61

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