一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜技术

本发明专利技术实施例公开了一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜，该方法包括：根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版；将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上；将带有目标图案的掩膜版固定在预设尺寸的衬底之上；将预设重量的驻极体材料溶于预设体积的溶剂中，充分搅拌后得到配置好的驻极体溶液；将配置好的驻极体溶液倒入喷胶机的液体压力罐中；在液体喷管周围设置多个气体管道，多个气体管道通过气体压力阀连接气体压力泵；启动喷胶机，同时打开气体压力阀和液体压力阀，以使驻极体溶液均匀分布在衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜。实施本发明专利技术实施例，可以提高驻极体薄膜的存储电荷能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子材料领域，具体涉及一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜。
技术介绍
驻极体薄膜是一种具有持久性极化的固体电介质薄膜，在对驻极体薄膜进行充电后，驻极体薄膜能够存储电荷。驻极体薄膜以其轻便、价格低廉的优点，广泛用于驻极体传声器、驻极体麦克风等电子器件中。目前制作驻极体薄膜的方式主要采用旋涂方法，旋涂方法具体步骤为:首先将包含驻极体材料的驻极体溶液置于衬底表面，然后旋转衬底，使驻极体溶液均匀涂布于衬底表面，最后待驻极体溶液挥发后在衬底上留下一层驻极体薄膜。在旋转衬底之后，由于驻极体溶液粘稠度较低，大部分的驻极体溶液被甩出衬底，使得衬底上的驻极体薄膜厚度很薄，导致采用旋涂方法得到的驻极体薄膜的存储电荷能力较弱。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种驻极体薄膜制备方法及驻极体薄膜，可以提高驻极体薄膜的存储电荷能力。本专利技术实施例第一方面，提供了一种驻极体薄膜制备方法，包括:根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版；将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上；将所述带有目标图案的掩膜版固定在所述预设尺寸的衬底之上；称量预设重量的驻极体材料，将所述预设重量的驻极体材料溶于预设体积的溶剂中，充分搅拌后得到配置好的驻极体溶液；将所述配置好的驻极体溶液倒入喷胶机的液体压力罐中，所述液体压力罐通过液体压力阀连接液体管道一端，所述液体管道另一端连接液体喷管，所述液体喷管位于所述带有目标图案的掩膜版上方；在所述液体喷管周围设置多个气体管道，所述多个气体管道通过气体压力阀连接气体压力栗；设定所述液体压力罐的液压值和所述气体压力栗的吹扫气压值；根据目标驻极体薄膜的厚度设置喷胶次数，根据所述溶剂的沸点设置加热板温度；启动喷胶机，同时打开所述气体压力阀和所述液体压力阀，以使所述驻极体溶液均匀分布在所述衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜。本专利技术实施例第一方面的第一种可能的实现方式中，所述启动喷胶机，同时打开所述气体压力阀和所述液体压力阀，以使所述驻极体溶液均匀分布在所述衬底表面，得到所述目标驻极体薄膜，包括:启动喷胶机，同时打开所述气体压力阀和所述液体压力阀，以使所述驻极体溶液与气体混合，形成二流体，以使所述二流体均匀分布在所述衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜；其中，所述二流体为所述驻极体溶液与所述气体的混合物。结合本专利技术实施例第一方面，在本专利技术实施例第一方面的第二种可能的实现方式中，所述掩膜版为铝片或钢片。结合本专利技术实施例第一方面，在本专利技术实施例第一方面的第三种可能的实现方式中，所述驻极体材料为环烯烃类共聚物，所述溶剂为二甲苯。结合本专利技术实施例第一方面，在本专利技术实施例第一方面的第四种可能的实现方式中，所述液体压力罐的液压值小于所述气体压力栗的吹扫气压值。本专利技术实施例第二方面，提供了一种根据本专利技术实施例第一方面或本专利技术实施例第一方面的任一种可能的实现方式制作的驻极体薄膜，包括:环烯烃类共聚物薄膜，所述环烯烃类共聚物薄膜包含气泡。本专利技术实施例第二方面的第一种可能的实现方式中，所述环烯烃类共聚物薄膜具有I?50 μm的厚度。本专利技术实施例中，根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版；将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上；将带有目标图案的掩膜版固定在预设尺寸的衬底之上；称量预设重量的驻极体材料，将预设重量的驻极体材料溶于预设体积的溶剂中，充分搅拌后得到配置好的驻极体溶液；将配置好的驻极体溶液倒入喷胶机的液体压力罐中，液体压力罐通过液体压力阀连接液体管道一端，液体管道另一端连接液体喷管，液体喷管位于带有目标图案的掩膜版上方；在液体喷管周围设置多个气体管道，多个气体管道通过气体压力阀连接气体压力栗；设定液体压力罐的液压值和气体压力栗的吹扫气压值；根据目标驻极体薄膜的厚度设置喷胶次数，根据溶剂的沸点设置加热板温度；启动喷胶机，同时打开气体压力阀和液体压力阀，以使驻极体溶液均匀分布在衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜。采用本专利技术，可以在驻极体薄膜中形成小气泡，从而在驻极体薄膜中形成许多十分细小的电子阱，从而可以提高驻极体薄膜的存储电荷能力。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例公开的一种驻极体薄膜制备方法的流程图；图2是本专利技术实施例公开的另一种驻极体薄膜制备方法的流程图；图3是本专利技术实施例公开的一种驻极体薄膜的结构示意图；图4是本专利技术实施例公开的一种驻极体薄膜表面电压衰减曲线图。【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式是本专利技术的一部分实施方式，而不是全部实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施方式，都应属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种驻极体薄膜及其制备方法，可以提高驻极体薄膜的存储电荷能力。以下分别进行详细说明。请参阅图1，图1是本专利技术实施例公开的一种驻极体薄膜制备方法的流程图。如图1所示，本实施例中所描述的驻极体薄膜制备方法，包括步骤:S101，根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版。本专利技术实施例中，使用数控切割机根据预设程序切割掩膜版，数控切割机可以为激光切割机，也可以为等离子切割机等其他切割机，本专利技术实施例不做限定。本专利技术实施例中的掩膜版可以为铝片、钢片等金属材质的掩膜版，目标图案可以为激光切割机精度范围内的任意图案，举例来说，若切割机为激光切割机，掩膜版为不锈钢片，根据不锈钢片的大小和目标图案，设定激光切割机控制系统中预设程序的参数，将不锈钢片置于激光切割机的切割台上，设定好预设程序后，启动激光切割机，以使激光切割机根据预设程序对不锈钢片进行切割加工，程序跑完后，即得到带有目标图案的不锈钢片。S102，将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上。本专利技术实施例中，衬底可以为硅片，也可以为氧化硅、三氧化二铝、玻璃、蓝宝石等，喷胶机包括主机、加热板、液体压力罐、液体压力阀、液体管道、液体喷管、气体管道、气体压力栗、气体压力阀等。衬底可以通过粘合剂固定在喷胶机的加热板之上，也可以通过螺纹连接固定在喷胶机的加热板之上。将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上之前，可以对预设尺寸的衬底进行清洗，例如，若衬底为半径为4英寸硅片，可以当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驻极体薄膜制备方法，其特征在于，包括：根据预设程序切割掩膜版，得到带有目标图案的掩膜版；将预设尺寸的衬底固定在喷胶机的加热板之上；将所述带有目标图案的掩膜版固定在所述预设尺寸的衬底之上；称量预设重量的驻极体材料，将所述预设重量的驻极体材料溶于预设体积的溶剂中，充分搅拌后得到配置好的驻极体溶液；将所述配置好的驻极体溶液倒入喷胶机的液体压力罐中，所述液体压力罐通过液体压力阀连接液体管道一端，所述液体管道另一端连接液体喷管，所述液体喷管位于所述带有目标图案的掩膜版上方；在所述液体喷管周围设置多个气体管道，所述多个气体管道通过气体压力阀连接气体压力泵；设定所述液体压力罐的液压值和所述气体压力泵的吹扫气压值；根据目标驻极体薄膜的厚度设置喷胶次数，根据所述溶剂的沸点设置加热板温度；启动喷胶机，同时打开所述气体压力阀和所述液体压力阀，以使所述驻极体溶液均匀分布在所述衬底表面，得到包含气泡的目标驻极体薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汪飞，罗安信，邓杨，张绍达，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：广东;44