一种晶圆片储放盒制造技术

一种晶圆片储放盒包括： 储放晶圆片的盒体，所述盒体具有一个底盘；以及 可盖合于所述盒体上的盒盖，在所述盒盖内设置有固定机构； 其特征在于，所述固定机构包含： 固定在所述盒盖内侧的导片，在所述导片上开设有斜槽； 具有突起的推杆，所述推杆上的突起伸入到所述导片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑动； 柔性推板，与所述推杆相连。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶圆片储放盒，尤其涉及一种利用斜槽结构对储存、收藏的晶圆片进行定位及固定，使之在卡式晶圆片槽中妥善的收藏和固定以达到安全的储存的晶圆片储放盒。目前已知的相关技术，有以下方法，如中国专利ZL972210474，其揭示了一种就是采用一个利用五连杆结构的晶圆片固定机构。由于其在设计采用了五连杆结构，在其工作时，会使固定机构在对晶圆片进行定位的过程中，施加给晶圆片片与之互相垂直的力。而对晶圆片来说，这个垂直于晶圆片平面的力，有可能造成晶圆片的破损。而且这种五连杆结构也较复杂。在其他类似的的设计中，也都存在零件过多，结构复杂等问题。而且由于结构的复杂化，同时也会带来易产生粉尘的不良后果。根据上述目的，根据本技术构思的晶圆片储放盒包括储放晶圆片的盒体，所述盒体具有一个底盘；以及可盖合于所述盒体上的盒盖，在所述盒盖内设置有固定机构；其特征在于，所述固定机构包含固定在所述盒盖内侧的导片，在所述导片上开设有斜槽；具有突起的推杆，所述推杆上的突起伸入到所述导片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑动；柔性推板，与所述推杆相连。在如上所述的晶圆片储放盒中，在所述导片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。如上所述，由于本技术的晶圆片储放盒抛弃了连杆结构，采用滑槽结构，大大简化了固定机构的构造，有利于降低成本，同时减少产生的粉尘。下面将参照图2、图3和图4详细描述固定机构50的结构。如图3所示，固定机构50由三个零件构成，即导片51、推杆52和柔性推板53。在导片51上开设有斜槽54。在推杆52上，设置有突起55。如图4所示，推杆52上的突起55与导片51上的斜槽54相对应，可以伸入到斜槽54内，且可沿斜槽54移动。另外，柔性推板53与推杆52相连接，可以随着推杆52的移动而移动。如图2所示，该固定机构50固定在盒盖20的内侧面，即通过导片51与盒盖20的内侧面固定，柔性推板53邻近放置在盒体10内的晶圆片30。图2、图5和图6分别示出了盒盖20盖入到盒体10的各个过程。如图2和图5所示，当盒盖20盖入到盒体10上时，首先推杆52与底盘40接触，使推杆52沿导片51上的斜槽54移动。由于斜槽54的斜度，使推杆52向图中的左侧移动，从而带动与之相连的柔性推板53向左移动，柔性推板53与晶圆片30接触，从而在移动的过程中，推动晶圆片30排列在盒体10中，并使之整体排放。随着盒盖20的进一步下降，推杆52进一步向左移动，直至斜槽54的顶端，盒盖20与盒体10密封，此时柔性推板53也被推到最左侧，固定住晶圆片30，使之不能移动。在整个推动过程中，柔性推板53的设计是与晶圆片30边缘线接触(最小的接触面积)，且无垂直方向的移动，减小了晶圆片受损的可能。另外，如图7所示，还可以将斜槽54的上端设计成垂直槽，即保留一部分非斜槽(例如3mm，该尺寸是可以根据需要而变化的)，这样，当盒盖20与底盘40的盖合剩下最后的一段时，由于该段垂直槽的设计，推杆52停止向左侧移动，保持在此位置至晶圆盒完全密封，从而可靠地完成晶圆片的定位、对齐和保持固定的功能。综上所述，本技术是以一种独特的设计，简化的固定机构的结构，同时达到了对晶圆片在卡式晶圆槽内的定位、固定功能，使晶圆片在晶圆盒内安全的储臧，并减少粉尘的产生和污染。权利要求1.一种晶圆片储放盒包括储放晶圆片的盒体，所述盒体具有一个底盘；以及可盖合于所述盒体上的盒盖，在所述盒盖内设置有固定机构；其特征在于，所述固定机构包含固定在所述盒盖内侧的导片，在所述导片上开设有斜槽；具有突起的推杆，所述推杆上的突起伸入到所述导片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑动；柔性推板，与所述推杆相连。2.如权利要求1所述的晶圆片储放盒，其特征在于，在所述导片上的斜槽的上端具有一段垂直槽。专利摘要本技术涉及一种晶圆片储放盒。传统的晶圆片储放盒存在着结构复杂的问题。本技术的储放盒包括储放晶圆片的盒体，所述盒体具有一个底盘；以及可盖合于所述盒体上的盒盖，在所述盒盖内设置有固定机构；其特征在于，所述固定机构包含固定在所述盒盖内侧的导片，在所述导片上开设有斜槽；具有突起的推杆，所述推杆上的突起伸入到所述导片上的斜槽中，可沿所述斜槽滑动；柔性推板，与所述推杆相连。文档编号B65D85/90GK2587800SQ0226044公开日2003年11月26日 申请日期2002年9月29日 优先权日2002年9月29日专利技术者崔慧生 申请人:崔慧生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔慧生，
申请(专利权)人：崔慧生，
类型：实用新型
国别省市：