金刚线切割机硅粉过滤系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种金刚线切割机硅粉过滤系统，属于金刚线切割技术领域，包括切割液收集装置、切割液喷出口和连通二者之间的第一过滤管路，所述第一过滤管路上设有过滤泵Ⅰ，在切割液收集装置和切割液喷出口之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路并列的连通管路；所述连通管路上设有阀门Ⅲ；所述第一过滤管路上还设有位于过滤泵Ⅰ的上游的阀门Ⅰ；所述第一过滤管路和连通管路的上游还设有硅粉的检测装置。本实用新型专利技术设计更加科学、合理，减少浪费、节约了能源。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及金刚线切割
，尤其涉及一种金刚线切割机硅粉过滤系统。
技术介绍
在金刚线切割中，切割液是回收再循环利用的，然而切割过程中，会因刀口切割而产生大量的硅粉，硅粉融入到切割液中，而硅粉在切割中起到阻碍切割的作用，使得金刚线切割力大受影响。随着切割的深入，切割液中硅粉含量越来越多，影响越来越大，造成硅片表面附着严重，难以清洗，并出现氧化、色斑等情况，因此，便需要对过滤系统的过滤栗进行清洗，然而，如果对过滤栗进行清洗，就需要将整台机器停机，将过滤栗摘下，浪费时间，使得工作不连续，影响工作效率。如图1所示，其为现有技术中的金刚线切割机硅粉过滤系统，切割液收集装置I收集切割液，通过第一过滤管路3输入到过滤栗5中，经过过滤栗5的过滤，然后通过输出管路将切割液输送至切割液喷出口 11，对硅片进行冷却、降温。工作过程中，需要对过滤栗5进行清理，将过滤栗5拆下，必须停机才能进行此项工作，因此，到导致工作的中止、暂停，影响工作的连续性，浪费工作时间，降低工作的效率。再者，在实际生产中，过滤栗刚刚进行清洗更换顾虑网后的一段时间内，回收的切割液中硅粉的含量并不高，并不会影响到切割质量，因此，在整个工作时间内，使得过滤栗均处于工作的状态，存在的能源的浪费。因此，如何研发一种在对过滤栗进行清洗的过程中，使得金刚线切割机工作连续、不停机，节约工作时间、提高工作效率，并且设计合理，节约能源的金刚线切割机硅粉过滤系统，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题，是提供一种金刚线切割机硅粉过滤系统，其设计更加科学、合理，减少浪费、节约了能源。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是:金刚线切割机硅粉过滤系统，包括切割液收集装置、切割液喷出口和连通二者之间的第一过滤管路，所述第一过滤管路上设有过滤栗I，在切割液收集装置和切割液喷出口之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路并列的连通管路；所述连通管路上设有阀门III ;所述第一过滤管路上还设有位于过滤栗I的上游的阀门I ;所述第一过滤管路和连通管路的上游还设有硅粉的检测装置。作为优选，所述切割液收集装置和切割液喷出口之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路和连通管路并列的第二过滤管路，所述第二过滤管路上设有过滤栗II和位于过滤栗II上游的阀门II。作为优选，所述阀门1、阀门II和阀门III均为电磁阀，还设有控制电磁阀打开和关闭的控制装置。作为优选，所述过滤栗I和过滤栗II内部设有目数为100-120的圆筒滤网及过滤袋。采用上述技术方案所产生的有益效果在于:1、本技术通过在原有的过滤管路上增加一条与原管路并列的没有过滤栗的新管路，并在两条管路上均设置阀门，在两条管路的上游设置硅粉的检测装置，以实现通过检测装置检测切割液中硅粉的含量，当硅粉含量较低，不会影响硅片质量时，启用不需要过滤的管路；当切割液中的硅粉含量较高，以至于影响硅片的切割质量时，关闭无过滤作用的新管路，打开过滤管路，对切割液中的硅粉进行过滤，以保证硅片表面的质量。这种系统设计，科学、合理，减少了浪费、节约了能源。2、本技术在上述两条管路的基础上，增加第二条过滤管路，此管路上设有第二过滤栗和阀门II，当第一过滤管路的过滤栗需要清洗时，关闭阀门I，同时打开阀门II，通过第二过滤栗进行过滤，此时可以摘下第一过滤栗进行清洗，而不影响工作的连续性。这种结构实现了当切割液的中硅粉含量较高，但是过滤栗又需要进行清洗的情况下，切割机工作的连续性，提高了工作效率。3、在上述结构的基础上，将所有阀门均设为电磁阀，通过控制装置对电磁阀的控制，实现了工作的自动化，提高了工作效率，节省了人力资源。【附图说明】图1为现有技术的过滤系统的结构示意图；图2为本技术一个实施例的结构示意图；各图号名称为:1 一切割液收集装置；2—硅粉检测装置；3—第一过滤管路；4一阀门I ;5—过滤栗I ;6—第二过滤管路；7—阀门II ；8一过滤栗II ；9一阀门111;10—连通管路；11一切割液喷出口。【具体实施方式】下面结合附图及实施例对本技术作进一步详细的说明。如图2所示，本技术包括切割液收集装置1、切割液喷出口 11和连通二者之间的第一过滤管路3，所述第一过滤管路3上设有过滤栗I 5，在切割液收集装置I和切割液喷出口 11之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路3并列的连通管路10 ;所述连通管路10上设有阀门III9;所述第一过滤管路3上还设有位于过滤栗I 5的上游的阀门I 4;所述第一过滤管路3和连通管路10的上游还设有硅粉的检测装置2。本技术的工作过程为，首先开机，此时的过滤栗处于过滤良好的状态，硅粉的检测装置2检测到切割液中的硅粉含量较低，不会影响硅片表面质量，此时关闭阀门I 4，第一过滤管路3不通，同时打开阀门III 9，切割液通过连通管路10，从切割液喷出口 11喷出，对硅片表面进行降温冷却；当工作一段时间后，硅粉的检测装置2检测到切割液中的硅粉含量较高，会影响硅片表面质量时，关闭阀门III 9，同时打开。采用上述结构的有益效果在于:系统结构设计科学、合理，减少了浪费、节约了能源，以最低的能源消耗保证了硅片表面的切割质量。进一步的，所述切割液收集装置I和切割液喷出口 11之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路3和连通管路10并列的第二过滤管路6，所述第二过滤管路6上设有过滤栗II 8和位于过滤栗II 8上游的阀门II 7。本技术在上述两条管路的基础上，增加第二条过滤管路6，此管路6上设有第二过滤栗8和阀门II 7，当第一过滤管路3的过滤栗5需要清洗时，关闭阀门I 4，同时打开阀门II 7，通过第二过滤栗8进行过滤，此时可以摘下第一过滤栗5进行清洗，而不影响工作的连续性。采用上述结构的有益效果在于:实现了当切割液的中硅粉含量较高，但是过滤栗又需要进行清洗的情况下，切割机工作的连续性，提高了工作效率。进一步的，所述阀门I 4、阀门II 7和阀门III9均为电磁阀，还设有控制电磁阀打开和关闭的控制装置。采用上述结构的有益效果在于:将所有阀门均设为电磁阀，通过控制装置对电磁阀的控制，实现了工作的自动化，提高了工作效率，节省了人力资源。进一步的，所述过滤栗I 5和过滤栗II 8内部设有目数为100-120的圆筒滤网及过滤袋。采用上述结构的有益效果在于:可以提高过滤栗的过滤效果，延长过滤栗的使用时间，降低切割液中硅粉的含量，保证硅片的切割质量。【主权项】1.金刚线切割机硅粉过滤系统，包括切割液收集装置(I)、切割液喷出口(11)和连通二者之间的第一过滤管路(3)，所述第一过滤管路(3)上设有过滤栗I (5)，其特征在于:在切割液收集装置(I)和切割液喷出口(11)之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路(3)并列的连通管路(10);所述连通管路(10)上设有阀门111(9);所述第一过滤管路(3)上还设有位于过滤栗I (5)的上游的阀门I (4);所述第一过滤管路(3)和连通管路(10)的上游还设有硅粉的检测装置(2 )。2.根据权利要求1所述的金刚线切割机硅粉过滤系统，其特征在于:所述切割液收集装置(I)和切割液喷出口( 11)之间还设有连通二者的且本文档来自技高网...

【技术保护点】
金刚线切割机硅粉过滤系统，包括切割液收集装置（1）、切割液喷出口（11）和连通二者之间的第一过滤管路（3），所述第一过滤管路（3）上设有过滤泵Ⅰ（5），其特征在于：在切割液收集装置（1）和切割液喷出口（11）之间还设有连通二者的且与所述第一过滤管路（3）并列的连通管路（10）；所述连通管路（10）上设有阀门Ⅲ（9）；所述第一过滤管路（3）上还设有位于过滤泵Ⅰ（5）的上游的阀门Ⅰ（4）；所述第一过滤管路（3）和连通管路（10）的上游还设有硅粉的检测装置（2）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，何京辉，李立伟，张立涛，史彪，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13