【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液体有机废水的生物-化学处理专利技术背景一般而言,本专利技术涉及处理由用于制造电子部件的制造工艺产生的废水的系统和方法。更具体而言,本专利技术涉及用于去除来自由光电子部件如薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的制造产生的废水的各种组分如但不限于四甲基氢氧化铵((CH3)4NOH,TMAH)的系统和方法。随着光电子和半导体工业中的制造工艺发展,由这样的工艺产生的废水的组成也变得更加复杂。例如,这样的废水可能同时包含有机碳化合物和有机含氮化合物,其可能是有毒的、腐蚀性的和对环境富营养的。薄膜晶体管液晶显示器是LCD的一种类型,其使用薄膜晶体管技术来提供有源矩阵LCD。TFT-LCD用于多种消费产品,如电视机、电脑显示器、移动电话、导航系统等。特别地,TFT-LCD的生产产生大量的含高强度有机氮的废水。这样的废水可以包含多种污染物如TMAH-用作TFT-LCD生产中的显像剂,单乙醇胺(C2H5ONH2,MEA)和二甲基亚砜((CH3)2SO,DMSO)-用作生产中的汽提剂,以及螯合剂。在TFT-LCD制造的光刻工艺中,TMAH经常用作正光致抗蚀剂显像剂的组分。TMAH、MEA和DMSO通常被视为缓慢可生物降解的有机化合物,其在降解期间典型地释放氨,导致在所处理的废水中的高氨浓度和潜在的硝化。从历史角度看,半导体和电子部件制造工厂将其废水排放至当地公众拥有的处理工厂(POTW)系统。然而,由于半导体工业近期发展所致增加的负荷连同对用于从废水去除有机和氮化合物的POTW施加的更严格排放规章限制了任何这样的POTW充分地处理这样的排放物的能力。现有技术中已显示,多种微 ...
【技术保护点】
一种用于处理包含液体有机废物和有毒化学物质的废水的生物和化学处理系统,所述系统包括:有氧反应器,所述有氧反应器接收包含待处理的废水的流入物;与所述有氧反应器串联的第一分离模块,所述第一分离模块接收所述有氧反应器的输出作为输入,所述第一分离模块分离所述废水的液体和固体组分;与所述第一分离模块串联的氧化模块,所述氧化模块接收所述第一分离模块的输出作为输入,所述氧化模块硝化任何游离氨并从所述废水去除有机物质;和与所述氧化模块串联的后‑无氧反应器,所述后‑无氧反应器接收所述氧化模块的输出作为输入,所述后‑无氧反应器对所述废水的至少一部分脱硝化,并输出流出物。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.02.01 US 13/757,0301.一种用于处理包含液体有机废物和有毒化学物质的废水的生物和化学处理系统,所述废水产生自薄膜晶体管液晶显示器的生产,所述废水包含四甲基氢氧化铵((CH3)4NOH,“TMAH”),所述系统包括:有氧反应器,所述有氧反应器接收包含待处理的废水的流入物,所述有氧反应器被配置成导致所述流入物中至少90%的TMAH降解为NH4-N(“氨”);与所述有氧反应器串联的第一分离模块,所述第一分离模块接收所述有氧反应器的输出作为输入,所述第一分离模块分离所述废水的液体和固体组分;与所述第一分离模块串联的氧化模块,所述氧化模块接收所述第一分离模块的输出作为输入,所述氧化模块硝化任何游离氨并使用高级氧化工艺系统从所述废水去除有机物质,所述高级氧化工艺系统利用臭氧(O3)和过氧化氢(H2O2)的输入来氧化从所述第一分离模块接收的所述废水;和与所述氧化模块串联的后-无氧反应器,所述后-无氧反应器接收所述氧化模块的输出作为输入,所述后-无氧反应器对所述废水的至少一部分脱硝化,并输出流出物;其中与所述流入物相比,所述流出物具有超过90%的总有机碳(“TOC”)和总氮(“TN”)的减少。2.权利要求1所述的系统,其中所述第一分离模块是澄清器,在其中发生污泥的沉淀。3.权利要求1所述的系统,其中所述第一分离模块是利用微滤或超滤膜分离所述液体和固体组分的膜生物反应器。4.权利要求1所述的系统,其中所述第一分离模块输出活性污泥,并且其中所述流入物还包含来自所述第一分离模块的活性污泥。5.权利要求1所述的系统,其中所述氧化模块包括氨汽提塔。6.权利要求1所述的系统,所述系统还包括:与所述后-无氧反应器串联的第二分离模块,所述第二分离模块接收所述后-无氧反应器的输出作为输入,所述第二分离模块分离所述废水的液体和固体组分。7.权利要求6所述的系统,其中所述第二分离模块是澄清器,在其中发生污泥的沉淀。8.权利要求6所述的系统,其中所述第二分离模块是利用微滤或超滤膜分离所述液体和固体组分的膜生物反应器。9.权利要求6所述的系统,其中所述第二分离模块输出活性污泥,并且其中将来自所述第二分离模块的活性污泥的至少一部分作为输入提供给所述后-无氧反应器。10.权利要求1所述的系统,其中到所述氧化模块的输入包含氨,并且其中所述氧化模块导致所述氨的至少一些氧化为NO3-N(“硝酸盐”)。11.权利要求10所述的系统,其中所述氧化模块导致所述氨基本上完全氧化为硝酸盐。12.权利要求10所述的系统,其中到所述后-无氧反应器的输入包含硝酸盐,并且其中所述后-无氧反应器导致所述硝酸盐的至少一些降解为N...
【专利技术属性】
技术研发人员:梅赫塔·苏尼尔,纳班·乔杜里,里夏德·乌巴尔迪,芭芭拉·席林,安东尼奥·劳,布鲁诺·海尼格,
申请(专利权)人:茵菲科狄高曼公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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