一种硅晶棒切割用料板托架,包括托板和两组提手机构,托板的中部设置有浅槽,托板的边部和浅槽中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A和螺栓孔B,所述提手机构由紧固梁、连接杆和手柄组成,且紧固梁两端的连接头与托板的两边部连接,连接杆设置在紧固梁上,其与紧固梁平行,手柄设置在连接杆的中部位置。本实用新型专利技术通过在托板上设置两组螺栓孔,这两组螺栓孔的位置与两种料板上的螺栓孔位置相匹配,从而通过连接螺栓将料板固定在托板上,工人在转运时双手提起手柄即可完成转运,具有结构简单、制作成本低、安全可靠等优点,提高了工人的工作效率,并避免了安全隐患。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到半导体制造领域中的硅晶棒,具体的说是一种硅晶棒切割用料板托架。
技术介绍
在半导体娃晶片制造过程中,先将待切晶棒粘接在料板上(有两种尺寸,如附图1和附图2),然后才使用NTC-442DM线切割切割粘接好的晶棒。待晶棒切割完毕要用取棒小车将晶棒连同料板取下,这时需要使用人工双手抱着料板将晶棒从小车上取下,由于刚切割后料板上有砂浆比较滑,用手抱料板经常出现料板连同切割后晶棒脱落的事故发生,甚至出现砸到脚的安全隐患;另外,NTC线切有两种料板,一种是粘接(100)晶向晶棒的料板(见图1),另一种是粘接(111)晶棒的料板(见图2),若针对两种料板制作托板,则需要相应两种料板托板,操作上会存在混用用错,非常不方便。
技术实现思路
为解决现有技术中切割后料板容易滑落的问题,本技术提供了一种硅晶棒切割用料板托架,而且该料板托架同时适合于两种尺寸的料板。本技术为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种硅晶棒切割用料板托架,包括托板和两组提手机构,托板的中部设置有浅槽,托板的边部和浅槽中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A和螺栓孔B,所述提手机构由紧固梁、连接杆和手柄组成,且紧固梁两端的连接头与托板的两边部连接,连接杆设置在紧固梁上,其与紧固梁平行,手柄设置在连接杆的中部位置;所述浅槽上设置有与紧固梁平行的加强筋,加强筋的两端分别与浅槽的两侧壁固定连接。所述托板上还设置有连接件,该连接件的两端固定在托板的两侧边缘,从而增强托板的强度和整体性。所述托板的两侧边设置有滑槽,紧固梁两端的连接头设置在两侧的滑槽内,并由螺栓固定在特定的某几个位置,从而调整两组提手机构的位置。有益效果:本技术通过在托板上设置两组螺栓孔,这两组螺栓孔的位置与两种料板上的螺栓孔位置相匹配,从而通过连接螺栓将料板固定在托板上,工人在转运时双手提起手柄即可完成转运,具有结构简单、制作成本低、安全可靠等优点,提高了工人的工作效率,并避免了安全隐患。【附图说明】图1为切割(111)晶向晶棒用料板;图2为为切割(100 )晶向晶棒用料板;图3为本技术的结构示意图;图4为提手机构的结构示意图;附图标记:1、托板,101、螺栓孔A,2、浅槽,201、螺栓孔B,3、提手机构,301、手柄,302、连接杆,303、紧固梁,304、连接头,4、连接件,5、加强筋。【具体实施方式】如图所示,一种硅晶棒切割用料板托架,包括托板I和两组提手机构3,托板I的中部设置有浅槽2,托板I的边部和浅槽2中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔AlOl和螺栓孔B201,所述提手机构3由紧固梁303、连接杆302和手柄301组成,且紧固梁303两端的连接头304与托板I的两边部连接,连接杆302设置在紧固梁303上,其与紧固梁303平行,手柄301设置在连接杆302的中部位置;所述浅槽2上设置有与紧固梁303平行的加强筋5,加强筋5的两端分别与浅槽2的两侧壁固定连接。以上为本技术的基本实施方式,可在以上基础上做进一步的改进或限定:如,所述托板I上还设置有连接件4,该连接件4的两端固定在托板I的两侧边缘;又如,所述托板I的两侧边设置有滑槽,紧固梁303两端的连接头304设置在两侧的滑槽内,并由螺栓固定在特定的某几个位置,从而实现提手机构3位置的调整。【主权项】1.一种硅晶棒切割用料板托架,其特征在于:包括托板(I)和两组提手机构(3),托板(O的中部设置有浅槽(2),托板(I)的边部和浅槽(2)中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A(1l)和螺栓孔B (201),所述提手机构(3 )由紧固梁(303 )、连接杆(302 )和手柄(301)组成,且紧固梁(303)两端的连接头(304)与托板(I)的两边部连接,连接杆(302)设置在紧固梁(303)上,其与紧固梁(303)平行,手柄(301)设置在连接杆(302)的中部位置;所述浅槽(2)上设置有与紧固梁(303)平行的加强筋(5),加强筋(5)的两端分别与浅槽(2)的两侧壁固定连接。2.根据权利要求1所述的一种硅晶棒切割用料板托架,其特征在于:所述托板(I)上还设置有连接件(4),该连接件(4)的两端固定在托板(I)的两侧边缘。【专利摘要】一种硅晶棒切割用料板托架,包括托板和两组提手机构,托板的中部设置有浅槽,托板的边部和浅槽中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A和螺栓孔B,所述提手机构由紧固梁、连接杆和手柄组成,且紧固梁两端的连接头与托板的两边部连接,连接杆设置在紧固梁上,其与紧固梁平行,手柄设置在连接杆的中部位置。本技术通过在托板上设置两组螺栓孔,这两组螺栓孔的位置与两种料板上的螺栓孔位置相匹配,从而通过连接螺栓将料板固定在托板上,工人在转运时双手提起手柄即可完成转运,具有结构简单、制作成本低、安全可靠等优点,提高了工人的工作效率,并避免了安全隐患。【IPC分类】B28D5/04, B28D7/00【公开号】CN204844528【申请号】CN201520475624【专利技术人】李战国, 史舸, 寇文杰, 王晓飞 【申请人】麦斯克电子材料有限公司【公开日】2015年12月9日【申请日】2015年7月6日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种硅晶棒切割用料板托架,其特征在于:包括托板(1)和两组提手机构(3),托板(1)的中部设置有浅槽(2),托板(1)的边部和浅槽(2)中分别设有与两种尺寸料板对应的螺栓孔A(101)和螺栓孔B(201),所述提手机构(3)由紧固梁(303)、连接杆(302)和手柄(301)组成,且紧固梁(303)两端的连接头(304)与托板(1)的两边部连接,连接杆(302)设置在紧固梁(303)上,其与紧固梁(303)平行,手柄(301)设置在连接杆(302)的中部位置;所述浅槽(2)上设置有与紧固梁(303)平行的加强筋(5),加强筋(5)的两端分别与浅槽(2)的两侧壁固定连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李战国,史舸,寇文杰,王晓飞,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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