本实用新型专利技术公开了一种用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，属于光学元件检测技术领域中用于检测CCD感光线性度的检测装置，其目的在于提供一种检测精度高的用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，检测误差可溯源。其包括光纤激光器、光纤、光纤准直器、第一劈板、第一激光功率计、电动平移台和科学级CCD，光纤激光器产生的入射激光依次通过光、光纤准直器后照射到第一劈板上；一部分激光透过第一劈板形成透射激光并照射到第一激光功率计上；另一部分激光在第一劈板上产生反射照射至科学级CCD上；第一劈板与科学级CCD之间的光路上还设置有第二激光功率计或/和衰减装置。本实用新型专利技术适用于检测CCD感光线性度的检测装置。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于光学元件检测
，设及一种用于检测CCD感光线性度的检 测装置，尤其设及一种用于检测科学级CCD感光线性度的检测装置。
技术介绍
近四十年来，CCD器件及其应用技术的研究取得了惊人的进展，特别是在图像传感 和非接触测量领域的发展更为迅速。无论是科学级的数码相机、民用的数码相机还是常见 的摄像头，其都是WCCD为光信号接受器件的仪器。虽然几者的成像基本原理一致，但他们 各有不同的应用领域，尤其是科学级数码相机技术的飞速发展，使科学级数码相机广泛应 用于生命科学研究、天文观测、医学检测新仪器的开发、卫星监测、环境监测W及新型武器 装备等
由于科学级数码相机的应用领域的特殊性，因而对科学级数码相机使用的科学级 CCD提出了更高的要求。科学级CCD的感光线性度是衡量CCD在激光参数测量过程中的一 个重要指标，科学级CCD的感光线性度的优良将直接关系到激光束的近场调制度、对比度、 光束有效面积等测量的准确性。常规的CCD的感光线性度检测通常使用积分球加衰减片、 法柏标准器等两种主要方式进行检测。采用积分球对CCD进行感光线性度进行检测时，CCD 忍片将整体感光，因此检测出的CCD的感光线性度反映的是整个CCD忍片的感光线性度。由 于积分球也存在非标准件，相对于标准的积分球而言，部分积分球也仍将存在误差，且还没 有一家机构能够认定积分球所存在的误差，因而采用积分球进行检测时因积分球的误差未 知而无法消除因积分球所带来的检测误差，即检测误差的可溯源性较差，CCD的感光线性度 检测精度较低。采用法柏标准器进行感光线性度进行检测时，虽然减少了衰减片的数量，但 是由于法柏标准器各点输出的位置不同，因此确定CCD同一点的感光线性度较为复杂，CCD 的感光线性度检测精度较低。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于：针对现有技术存在的问题，提供一种检测精度高的 用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，检测误差可溯源。 阳〇化]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为： 一种用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，包括光纤激光器、光纤、光纤准 直器、第一劈板、第一激光功率计、电动平移台和科学级CCD，所述科学级CCD设置在电动平 移台上并可沿电动平移台的水平方向、竖直方向移动；所述光纤激光器产生的入射激光依 次通过光、光纤准直器后照射到第一劈板上；一部分激光透过第一劈板形成透射激光，且该 透射激光照射到第一激光功率计上；另一部分激光在第一劈板上产生反射形成反射激光， 且该反射激光照射至科学级CCD上；所述第一劈板与科学级CCD之间的光路上还设置有第 二激光功率计或/和衰减装置。 作为本技术的优选方案，所述电动平移台在背光一侧还设置有同步器，所述 同步器分别对应与科学级CCD、第一激光功率计电连接。 作为本技术的优选方案，还包括第二劈板，所述第一劈板反射后的反射激光 经第二劈板再次反射后照射至科学级CCD上。 作为本技术的优选方案，所述科学级CCD的感光忍片与照射到感光忍片上的 反射激光相互垂直。 作为本技术的优选方案，所述衰减装置选用3片IOX衰减片。 综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是： 1、本技术中，光纤激光器产生的入射激光在第一劈板上产生透射、反射并形 成透射激光、反射激光，在进行检测之前先用经过检定的第一激光功率计、经过检定的第二 激光功率计标定入射激光的分光系数，检测时将衰减装置替换第二激光功率计，透射激光 经衰减装置后照射到科学级CCD上，然后暗场条件下触发科学级CCD感光并记录感光图案 作为背景图像，然后在激光器发出激光并记录激光的输出功率值、衰减装置的衰减倍率和 科学级CCD的感光图像，通过移动电动平移台上的科学级CCD实现科学级CCD的全口径扫 描，对应位置点的科学级CCD的感光图案的灰度值减去背景图像的灰度值，负值置零并计 算置零后的图像全幅灰度积分值，该图像全幅灰度积分值除W对应的输出功率值与衰减装 置倍率倒数之积得到该位置点的感光度，通过计算所有位置点的感光度的标准方差作为科 学级CCD的感光均匀性，最后W输出功率值与衰减装置倍率倒数之积作为横坐标，W科学 级CCD感光度作为纵坐标，回执函数曲线，并通过线性拟合的方式拟合函数曲线，其拟合度 即为科学级CCD的感光线性度；该检测装置的结构简单、合理，采用该检测装置进行科学级 CCD的感光线性度检测时，由于第一激光功率计和第二激光功率计都是经过检定的，其误差 值均已知，因而在检测时的检测误差可溯源，有效避免因检测装置中的部件自身的误差未 知而造成的科学级CCD感光线性度的检测误差，该检测装置的检测误差较小，从而提高了 该检测装置的检测精度。 2、本技术中，检测装置中还设置有同步器，该同步器分别与科学级CCD、第一 激光功率计电连接；当科学级CCD、第一激光功率计需要记录感光图像、激光的输出功率 时，同步器分别向科学级CCD、第一激光功率计发出信号，科学级CCD、第一激光功率计同时 采集对应信息，从而可有效避免因科学级CCD、第一激光功率计在不同时间点采集信息时因 不同时间点的激光的输出功率不同而造成的检测误差，有效提高该检测装置的检测精度。 3、本技术中，在第一劈板与科学级CCD之间的光路中还设置第二劈板，第一 劈板反射后的反射激光经第二劈板再次反射后照射至科学级CCD上，因而可有效缩短第一 劈板与科学级CCD之间距离，使该检测装置的结构更加简单、合理，检测装置占用的空间更 小。 4、本技术中，衰减装置选用3片IOX衰减片，因而通过调节激光的输出功率可 实现0.OOl~1倍最大灰度之间动态范围的调节，提高该检测装置的检测精度。【附图说明】 图1为本技术检测前标定分光系数时的结构示意图； 图2为本技术检测时的结构示意图； 其中，附图标记为：1一光纤激光器、2-光纤、3-光纤准直器、4-第一劈板、5-第 一激光功率计、6-同步器、7-电动平移台、8-科学级CCD、9-第二激光功率计、10-第二 劈板、11-衰减装置。【具体实施方式】 下面结合附图，对本技术作详细的说明。 为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，W下结合附图及实施 例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用W解释本 技术，并不用于限定本技术。 阳OW实施例1 一种用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，该检测装置用于科学级CCD的 感光线性度的检测。该检测装置包括光纤激光器1、光纤2、光纤准直器3、第一劈板4、第一 激光功率计5、第二激光功率计9、衰减装置11、电动平移台7、科学级CCD8和同步器6，且该 第一激光功率计5和第二激光功率计9均是经过检定的激光功率计，第一激光功率计5和 第二激光功率计9均具有对应的误差值。该光纤激光器1产生的入射激光依次经光纤2、光 纤准直器3后照射至第一劈板4,且该入射激光在第一劈板4上发生反射和投射。入射到第 一劈板4处的部分入射激光投射过第一劈板4形成透射激光，且该透射激光最终将照射至 第一激光功率计5上。入射到第一劈板4处的另一部分入射激光在第一劈板4上产生反射 形成反射激光，本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于科学级CCD感光线性度检测的检测装置，其特征在于：包括光纤激光器（1）、光纤（2）、光纤准直器（3）、第一劈板（4）、第一激光功率计（5）、电动平移台（7）和科学级CCD（8），所述科学级CCD（8）设置在电动平移台（7）上并可沿电动平移台（7）的水平方向、竖直方向移动；所述光纤激光器（1）产生的入射激光依次通过光纤（2）、光纤准直器（3）后照射到第一劈板（4）上；一部分激光透过第一劈板（4）形成透射激光，且该透射激光照射到第一激光功率计（5）上；另一部分激光在第一劈板（4）上产生反射形成反射激光，且该反射激光照射至科学级CCD（8）上；所述第一劈板（4）与科学级CCD（8）之间的光路上还设置有第二激光功率计（9）或/和衰减装置（11）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：巴荣声，姜宏振，郑垠波，陈波，袁静，周信达，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川;51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。