基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备制造技术

技术编号:12492157 阅读:88 留言:0更新日期:2015-12-11 14:33
本实用新型专利技术公开了一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置,机架内部设置有扩散泵,所述机架一侧设置有电控机构,所述电控机构一侧设置有机械泵,所述机架上方设置有真空室,所述真空室内部设置有挡油板,所述挡油板上方设置有蒸发源,所述蒸发源连接着所述蒸发电极,所述蒸发源上方设置有挡板,所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极,所述挡板上方设置有基片,所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。有益效果在于:该设备镀膜过程无喷溅,薄膜致密均匀,能有效地提高镀膜品质,应用范围广,经济价值高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于太阳能集热管
,具体涉及一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备
技术介绍
真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面,属于物理气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜,故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中,以塑料最为常见,其次,为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料,塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势,因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料,大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜,即可赋予塑料锃亮的金属外观,合适的金属源还可大大增加材料表面耐磨性能,大大拓宽了塑料的装饰性和应用范围。目前的真空镀膜设备不能精确控制镀膜厚度,镀膜过程有喷溅,难以达到理想的真空度,不利于提高镀膜品质。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:—种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置,机架内部设置有扩散栗,所述机架一侧设置有电控机构,所述电控机构一侧设置有机械栗,所述机架上方设置有真空室,所述真空室内部设置有挡油板,所述挡油板上方设置有蒸发源,所述蒸发源连接着所述蒸发电极,所述蒸发源上方设置有挡板,所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极,所述挡板上方设置有基片,所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。上述结构中,启动镀膜设备,所述电控机构用于实现自动控制、保护、监视、测量功能,所述真空室是承受外部压力的容器,所述蒸发源用于使镀膜材料气化,所述挡板用于遮挡所述蒸发源使其放气不污染所述基片。为了进一步提高其工作性能,所述扩散栗安装在所述机架内部,所述电控机构与所述机架连接。为了进一步提高其工作性能,所述机械栗与所述电控机构连接,所述真空室与所述机架连接。为了进一步提高其工作性能,所述蒸发源与所述蒸发电极连接,所述蒸发源和所述基片之间适当位置安装有所述挡板。为了进一步提高其工作性能,所述挡油板安装在所述蒸发源下方,所述基片烘烤加热装置安装在所述基片上方。本技术的有益效果在于:该设备镀膜过程无喷溅,薄膜致密均匀,能有效地提高镀膜品质,应用范围广,经济价值高。【附图说明】图1是本技术所述基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备的整体视图。1、扩散栗;2、挡油板;3、蒸发电极;4、蒸发源;5、挡板;6、基片烘烤加热装置;7、基片;8、离子轰击电极;9、真空室;10、机架;11、电控机构;12、机械栗。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作进一步说明:如图1所示,一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,包括蒸发电极3、离子轰击电极8和基片烘烤加热装置6,机架10内部设置有扩散栗1,机架10用于支撑机器的重量和负荷,避免机器晃动,扩散栗I用于获得高真空,机架10 —侧设置有电控机构11,电控机构11的作用是顺序控制和安全保护控制,电控机构11 一侧设置有机械栗12,机械栗12利用机械方法对被抽容器进行抽气而获得真空,机架10上方设置有真空室9,真空室9内部设置有挡油板2,挡油板2上方设置有蒸发源4,蒸发源4连接着蒸发电极3,蒸发源4上方设置有挡板5,挡板5 —侧设置有离子轰击电极8,离子轰击电极8施加负高压,对基片7表面产生轰击,清除基片7表面的污染,挡板5上方设置有基片7,基片7上方设置有基片烘烤加热装置6。上述结构中,启动镀膜设备,电控机构11用于实现自动控制、保护、监视、测量功能,真空室9是承受外部压力的容器,蒸发源4用于使镀膜材料气化,挡板5用于遮挡蒸发源4使其放气不污染基片7。为了进一步提高其工作性能,扩散栗I安装在机架10内部,电控机构11与机架10连接,机械栗12与电控机构11连接,真空室9与机架10连接,蒸发源4与蒸发电极3连接,蒸发源4和基片7之间适当位置安装有挡板5,挡油板2安装在蒸发源4下方,基片烘烤加热装置6安装在基片7上方。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。【主权项】1.一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置,机架内部设置有扩散栗,所述机架一侧设置有电控机构,所述电控机构一侧设置有机械栗,所述机架上方设置有真空室,所述真空室内部设置有挡油板,所述挡油板上方设置有蒸发源,所述蒸发源连接着所述蒸发电极,所述蒸发源上方设置有挡板,所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极,所述挡板上方设置有基片,所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。2.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:所述扩散栗安装在所述机架内部,所述电控机构与所述机架连接。3.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:所述机械栗与所述电控机构连接,所述真空室与所述机架连接。4.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:所述蒸发源与所述蒸发电极连接,所述蒸发源和所述基片之间适当位置安装有所述挡板。5.根据权利要求1所述的基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:所述挡油板安装在所述蒸发源下方,所述基片烘烤加热装置安装在所述基片上方。【专利摘要】本技术公开了一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置,机架内部设置有扩散泵,所述机架一侧设置有电控机构,所述电控机构一侧设置有机械泵,所述机架上方设置有真空室,所述真空室内部设置有挡油板,所述挡油板上方设置有蒸发源,所述蒸发源连接着所述蒸发电极,所述蒸发源上方设置有挡板,所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极,所述挡板上方设置有基片,所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。有益效果在于:该设备镀膜过程无喷溅,薄膜致密均匀,能有效地提高镀膜品质,应用范围广,经济价值高。【IPC分类】C23C14/28, C23C14/24【公开号】CN204849007【申请号】CN201520633127【专利技术人】饶伟雄 【申请人】梅州市南粤新能源有限公司【公开日】2015年12月9日【申请日】2015年8月21日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备,其特征在于:包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置,机架内部设置有扩散泵,所述机架一侧设置有电控机构,所述电控机构一侧设置有机械泵,所述机架上方设置有真空室,所述真空室内部设置有挡油板,所述挡油板上方设置有蒸发源,所述蒸发源连接着所述蒸发电极,所述蒸发源上方设置有挡板,所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极,所述挡板上方设置有基片,所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:饶伟雄
申请(专利权)人:梅州市南粤新能源有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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