用于硅片的多线切割机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可以提高硅片切割质量的用于硅片的多线切割机。该多线切割机包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置在切割过程中，砂浆沿砂浆供给管进入盒体内并将其注满，砂浆继续供给会沿侧板的边缘溢出至切割箱内，由于金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度，因此，金属线会被压辊压入盒体内的砂浆中，这种浸入式的砂浆供给装置可以使得金属线表面沾满砂浆并实现均匀的附着，可以大大提高硅片的切割质量。适合在切割设备领域推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及切割设备领域，尤其是一种用于硅片的多线切割机。
技术介绍
多线切割是切割硅片非常有效的方法之一。多线切割以其极高的生产效率和出片率，所切硅片具有弯曲度小、翘曲度小、平行度好、总厚度公差(TTV)离散性小、刃口切割损耗小、表面损伤层浅、硅片表面粗糙度小等特点；其切割材料涵盖各类半导体材料，如硅、锗、铌酸锂、砷化镓、磷化铟、人造宝石、碳化硅等，因此多线切割技术的应用也越来越广泛。多线切割中必须使用一种具有流动性的混合研磨剂-切割砂浆(以下简称砂浆)。实际切割过程中，砂浆被往复运动的钢线带到切割区，被带入的砂浆决定硅片的切割质量；而钢线所带砂浆中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是决定切割材料成品片表面光洁程度和切割能力的关键。若碳化硅微粉的粒型规则，切出来的成品片表面光洁度就会很好；碳化硅微粉的粒度分布均匀，会提高切割机的切割能力。现有的用于硅片的多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆栗，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，在切割时，砂浆桶内的砂浆在砂浆栗的作用下先进入热交换器中进行换热使其砂浆的温度达到一定的温度，然后砂浆沿第二砂浆管进入砂浆供给装置，砂浆供给装置将砂浆附着到金属线表面以便切割硅棒，切割硅棒后产生的废砂浆通过切割箱底部的砂浆收集孔沿砂浆收集孔流回砂浆桶以便再次利用，现有的砂浆供给装置大都采用喷淋的方式实现，即在金属线上方设置喷嘴，喷嘴与第二砂浆管相连，砂浆是否能够均匀的附着在金属线表面对于硅片的切割质量有很大的影响，现有的砂浆喷淋方式虽然可以实现砂浆的附着，但是由于供应至砂浆喷嘴的砂浆流量有波动，砂浆喷嘴喷出的砂浆不够均匀，这样就无法保证喷到金属线上的砂浆能够均匀的附着在金属线上，使得硅片的切割质量不能达到最好，有时还会出现切割的硅片出现质量问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种可以提高硅片切割质量的用于硅片的多线切割机。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:该用于硅片的多线切割机，包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，所述第一砂浆管上设置有第一砂浆栗，所述切割箱体内设置有两根互相平行的线辊，线辊表面设置有多个环形线槽，金属线设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊绷紧，所述第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置，切割箱底部设置有砂浆收集口，砂浆收集口上连接有砂浆收集管，砂浆收集管的末端与砂浆桶相连，所述砂浆供给装置包括设置在两个线辊之间的盒体，所述盒体由底板和位于底板四周的侧板组成，所述盒体上连接有砂浆供给管，所述砂浆供给管的末端与第二砂浆管连通，所述盒体的左右两侧的侧板顶端分别设置有第一支撑辊、第二支撑辊，所述盒体上方设置有压辊，所述压辊和盒体分别位于上层金属线的上下两侧，所述第一支撑辊、第二支撑辊分别位于压辊的左右两侧，所述盒体长度方向与金属线的运动方向互相垂直且盒体的长度大于线辊的长度，所述金属线依次绕过第一支撑辊、压辊、第二支撑辊呈V形，所述金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度。进一步的是，所述盒体内设置有微型搅拌器。进一步的是，所述砂浆桶内设置有搅拌装置，所述搅拌装置包括设置在砂浆桶中央的旋转轴，所述旋转轴上设置有多个搅拌叶片。进一步的是，所述金属线的直径为0.1mm。进一步的是，所述金属线为钢线。本技术的有益效果是:在切割过程中，砂浆沿砂浆供给管进入盒体内并将其注满，砂浆继续供给会沿侧板的边缘溢出至切割箱内，由于金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度，因此，金属线会被压辊压入盒体内的砂浆中，金属线在运动过程中会自动在金属线表面沾满砂浆，这种方式不会受到砂浆波动的影响，而且这种浸入式的砂浆供给装置可以使得金属线表面沾满砂浆并实现均匀的附着，可以大大提高硅片的切割质量。【附图说明】图1本技术用于硅片的多线切割机的结构示意图；图2本图1的A局部放大图；图中标记说明:切割箱体1、砂浆桶2、热交换器3、金属线4、第一砂浆管5、第二砂浆管6、第一砂浆栗7、线辊8、砂浆供给装置9、盒体901、底板9011、侧板9012、砂浆供给管902、第一支撑辊903、第二支撑辊904、压辊905、微型搅拌器906、砂浆收集口 10、砂浆收集管11、搅拌装置22、旋转轴2201、搅拌叶片2202。【具体实施方式】下面结合附图对本技术进一步说明。如图1、2所示，该用于硅片的多线切割机，包括切割箱体1、砂浆桶2、热交换器3、金属线4，砂浆桶2与热交换器3的进口之间通过第一砂浆管5连通，热交换器3的出口连接有第二砂浆管6，所述第一砂浆管5上设置有第一砂浆栗7，所述切割箱体I内设置有两根互相平行的线辊8，线辊8表面设置有多个环形线槽，金属线4设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊8绷紧，所述第二砂浆管6的末端连接有用于将砂浆附着到金属线4表面的砂浆供给装置9，切割箱底部设置有砂浆收集口 10，砂浆收集口 10上连接有砂浆收集管11，砂浆收集管11的末端与砂浆桶2相连，所述砂浆供给装置9包括设置在两个线辊8之间的盒体901，所述盒体901由底板9011和位于底板9011四周的侧板9当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于硅片的多线切割机，包括切割箱体(1)、砂浆桶(2)、热交换器(3)、金属线(4)，砂浆桶(2)与热交换器(3)的进口之间通过第一砂浆管(5)连通，热交换器(3)的出口连接有第二砂浆管(6)，所述第一砂浆管(5)上设置有第一砂浆泵(7)，所述切割箱体(1)内设置有两根互相平行的线辊(8)，线辊(8)表面设置有多个环形线槽，金属线(4)设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊(8)绷紧，所述第二砂浆管(6)的末端连接有用于将砂浆附着到金属线(4)表面的砂浆供给装置(9)，切割箱底部设置有砂浆收集口(10)，砂浆收集口(10)上连接有砂浆收集管(11)，砂浆收集管(11)的末端与砂浆桶(2)相连，其特征在于：所述砂浆供给装置(9)包括设置在两个线辊(8)之间的盒体(901)，所述盒体(901)由底板(9011)和位于底板(9011)四周的侧板(9012)组成，所述盒体(901)上连接有砂浆供给管(902)，所述砂浆供给管(902)的末端与第二砂浆管(6)连通，所述盒体(901)的左右两侧的侧板(9012)顶端分别设置有第一支撑辊(903)、第二支撑辊(904)，所述盒体(901)上方设置有压辊(905)，所述压辊(905)和盒体(901)分别位于上层金属线(4)的上下两侧，所述第一支撑辊(903)、第二支撑辊(904)分别位于压辊(905)的左右两侧，所述盒体(901)长度方向与金属线(4)的运动方向互相垂直且盒体(901)的长度大于线辊(8)的长度，所述金属线(4)依次绕过第一支撑辊(903)、压辊(905)、第二支撑辊(904)呈V形，所述金属线(4)与压辊(905)的接触点与底板(9011)之间的距离小于侧板(9012)的高度。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉豪，耿荣军，冯加保，陈辉，
申请(专利权)人：乐山新天源太阳能科技有限公司，深圳市拓日新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51