本发明专利技术提供了一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体、设置于所述炉体内的沉积系统以及开设于所述炉体顶部的出气管道，还包括清料装置，所述清料装置包括：竖直设置的清料管(2)，所述清料管(2)与所述出气管道水平方向的管路竖直方向的管路的交叉处相通；贯穿所述清料管、并可以上下移动的清料杆(3)，所述清料杆(3)上端连接有手柄(1)，所述清料杆的下端连接有清料爪(5)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化学气相沉积装置
，具体涉及一种带有清料装置的化学气相沉积炉。
技术介绍
化学气相沉积(Chemical vapor deposit1n，简称CVD)是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相沉积是反应物质在真空状态下，两种或者两种以上的气态物质发生化学反应，生成固态物质，固态物质沉积在固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、沉积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。—般化学相沉积系统采用的化学气相沉积炉是化学气相沉积反应进行的场所，即两种或两种以上的气态原材料导入到化学气相沉积炉的沉积系统内，然后原材料间发生化学反应，沉积到沉积系统内的基材表面上，得到薄膜材料。但是，目前采用化学气相沉积炉制备薄膜材料时，沉积后产品的厚度较薄，影响了产品的性能，限定了产品的使用范围，同时也降低了产品的转化率，增加了生产成本。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术要解决的技术问题在于提供一种带有清料装置的化学气相沉积炉，采用本专利技术提供的化学气相沉积炉可以大大的提高产品的厚度，产品的转化率大大的得到提高。本专利技术提供了一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体(6)、设置于所述炉体内的沉积系统以及开设于所述炉体顶部的出气管道(7)，还包括清料装置，所述清料装置包括:竖直设置的清料管(2)，所述清料管(2)与所述出气管道水平方向的管路和所述出气管道竖直方向的管路的交叉处相通；贯穿所述清料管、并可以上下移动的清料杆(3)，所述清料杆(3)上端连接有手柄(I)，所述清料杆的下端连接有清料爪(5)。优选的，所述清料管(2)与所述炉体顶部的出气管道(7)通过密封法兰(4)连接。优选的，所述清料杆(3)可以0°?360°顺时针旋转或O°?360°逆时针旋转。优选的，所述清料管(2)的长度为200mm?2000mmo优选的，所述清料杆(3)的长度为250mm?2500mm。优选的，所述清料爪(5)在水平方向的尺寸<出气管道竖直方向的管路的直径。优选的，所述清料管(2)为焊接波纹管、成型波纹管或中空的不锈钢管。优选的，所述清料管(2)为焊接波纹管。优选的，所述焊接波纹管内设置有导向轴。优选的，所述清料爪为螺旋桨状、螺旋状、爪型、毛刷型或锯齿状。与现有技术相比，本专利技术提供了一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体、设置于所述炉体内的沉积系统以及开设于所述炉体顶部的出气管道，还包括清料装置，所述清料装置包括:竖直设置的清料管(2)，所述清料管(2)与所述出气管道水平方向的管路竖直方向的管路的交叉处相通；贯穿所述清料管、并可以上下移动的清料杆(3)，所述清料杆(3)上端连接有手柄(I)，所述清料杆的下端连接有清料爪(5)。本专利技术提供的带有清料装置的化学气相沉积炉在化学气相沉积的过程中，清料装置的清料杆可以沿清料管上下移动，通过不定时的操作，保证化学气相沉积过程中气路畅通，维持化学气相沉积炉内稳定的压力，从而得到大尺寸且较厚的化学气相沉积产品，大大的提高了产品的转化率和使用范围。结果表明，本专利技术提供的化学气相沉积炉制备的产品的厚度多35mm。【附图说明】图1为本专利技术提供的带有清料装置的化学气相沉积炉的结构示意图。【具体实施方式】本专利技术提供了一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体、设置于所述炉体内的沉积系统以及开设于所述炉体顶部的出气管道，还包括清料装置，所述清料装置的结构具体见图1，图1为本专利技术提供的带有清料装置的化学气相沉积炉的结构示意图，图1中，I为手柄，2为清料管，3为清料杆，4为密封法兰，5为清料爪，6为炉体，7为出气管道。具体的，所述清料装置包括:竖直设置的清料管(2)，所述清料管(2)与所述出气管道水平方向的管路和所述出气管道竖直方向的管路的交叉处相通；在本专利技术中，所述清料管(2)用于为所述清料杆(3)提供运动的路径并起到将清料装置与炉体进行密封的作用。本专利技术对所述清料管的种类并没有特殊限制，优选为焊接波纹管、成型波纹管或中空的不锈钢管，更优选为焊接波纹管。在本专利技术的一些实施例中，所述清料管(2)为焊接波纹管，所述焊接波纹管弹性好、伸缩量大、气密性好。为了防止所述波纹管变形，优选在所述焊接波纹管内设置导向轴。在本专利技术中，所述清料管与所述出气管道(7)优选通过密封法兰(4)连接，从而达到化学气相沉积炉的密封。在本专利技术中，所述清料管的材质优选为不锈钢。本专利技术提供的清料装置还包括贯穿所述清料管、并可以上下移动的清料杆(3)，所述清料杆(3)还可以进行O°?360°顺时针旋转或0°?360°逆时针旋转。在本专利技术的一些【具体实施方式】中，所述清料杆在沿所述清料管的中心轴线上下移动的同时，还可以以清料管(2)的中心轴线进行旋转。在本专利技术中，所述清料杆的材质优选为不锈钢。在本专利技术的一些【具体实施方式】中，所述清料杆的长度和清料管的长度需要根据炉体顶部的出气管道(7)竖直方向的管路的尺寸而确定，在本专利技术中，所述清料管(2)的长度优选为200mm?2000mm。所述清料杆(3)的长度优选为250mm?2500mm。在本专利技术的一些【具体实施方式】中，所述清料杆的长度为1230mm，清料管的长度为800mm ;在本专利技术的另一些【具体实施方式】中，所述清料杆的长度为1600mm，所述清料管的长度为1200mm ;在本专利技术的另一些【具体实施方式】中，所述清料杆的长度为1200_，所述清料管的长度为1150_。在本专利技术中，所述清料杆(3)上端连接有手柄(I)，所述手柄(I)的主要作用是在方便旋转和提拉清料杆(2)。此部分的设计主要考虑到方便操作，可以设计为圆饼状、圆环状或T字型。本专利技术提供的化学气相沉积炉的清料装置还包括与清料杆下端相连接的清料爪(5)ο所述清料爪(5)在水平方向的尺寸< 出气管道竖直方向的管路的直径2-40_。即本专利技术所述的清料爪用于清理炉体里面的粉尘，保持整个系统的畅通。本专利技术对所述清料爪的形式并没有特殊限制，能够实现清理炉体管道内粉尘的作用即可。在本专利技术中，所述清料爪优选为螺旋桨状、螺旋状、爪型、毛刷型或锯齿状。本专利技术提供的带有清料装置的化学气相沉积炉在化学气相沉积的过程中，清料装置的清料杆可以沿清料管上下移动，通当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带有清料装置的化学气相沉积炉，包括炉体(6)、设置于所述炉体内的沉积系统以及开设于所述炉体顶部的出气管道(7)，其特征在于，还包括清料装置，所述清料装置包括：竖直设置的清料管(2)，所述清料管(2)与所述出气管道水平方向的管路和所述出气管道竖直方向的管路的交叉处相通；贯穿所述清料管、并可以上下移动和360°自由旋转的清料杆(3)，所述清料杆(3)上端连接有手柄(1)，所述清料杆的下端连接有清料爪(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱刘，于金凤，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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