微材料扫描电子显微系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种微材料扫描电子显微系统，主要包括扫描发生器(1)、显像管(2)、放大变换器(3)、放大器(4)、收集器(5)、试样台(6)、灯丝(7)、多个透镜和微电脑(13)，所述放大器(4)分别与显像管(2)、收集器(5)和试样台(6)连接，多个透镜设置在灯丝(7)下方，所述微电脑(13)分别与扫描发生器(1)、放大变换器(3)和放大器(4)连接。本实用新型专利技术提供的微材料扫描电子显微系统，具有分辨率高、景深长，视野广、图像富有立体感等特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于观察分析新材料分子或原子量级大小的装置，尤其涉及 一种微材料扫描电子显微系统，属于显微电子设备领域。
技术介绍
纳米材料是指在三维空间中至少有一个维度的尺寸小于IOOnm或者由它们作为 基本单元构成的材料。由于它的尺寸已经接近电子的相干长度，它的性质因为强相干所带 来的自组织使得性质发生很大变化，如光学、热学、电学、磁学、力学以及化学方面的性质和 块体材料相比将会有显著的不同。所以，纳米尺度和性能特异变化是纳米材料必须同时具 备的两个基本特征。 半导体纳米材料的量子尺寸效应和表面与界面等效应，使其表现出独特的光学特 性，如光学发光性、吸收带边蓝移、激子发光等。尤其是II-VI族一维纳米材料，它们是宽的 直接带隙半导体材料，是典型的光电半导体材料。带隙半导体材料，是典型的光电半导体材 料。以硒化镉为（CdSe)例，作为典型的光电半导体材料之一，本身具有独特的光电学性质， 在作为光源、光吸收、光波导、光致发光和光电转换等方面有着广阔的应用前景。目前国内尚无成熟的专门用来制备半导体纳米材料相关样品的装置，也没有配套 的测试仪器。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产 品的不足。 本技术提供了一种微材料扫描电子显微系统，主要包括扫描发生器、显像管、 放大变换器、放大器、收集器、试样台、灯丝、多个透镜和微电脑，所述放大器分别与显像管、 收集器和试样台连接，多个透镜设置在灯丝下方，所述微电脑分别与扫描发生器、放大变换 器和放大器连接。 优选的，上述多个透镜包括第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜、第二 透镜和第三透镜均为电磁透镜，所述灯丝下方依次设置有栅极和阳极。 优选的，上述多个透镜依次从上到下放置，所述收集器和试样台对应设置。 优选的，上述微电脑还连接有一显示屏。 本技术提供的微材料扫描电子显微系统，具有分辨率高、景深长，视野广、图 像富有立体感等特点。【附图说明】 图1为本技术结构示意图。 附图标记：1_扫描发生器；2-显像管；3-放大变换器；4-放大器；5-收集器；6-试 样台；7-灯丝；8-栅极；9-阳极；10-第一透镜；11-第二透镜；12-第三透镜；13-微电脑； 14-显示器。【具体实施方式】 为了便于本领域普通技术人员理解和实施本技术，下面结合附图及具体实施 方式对本技术作进一步的详细描述。 本技术提供的微材料扫描电子显微系统，主要包括扫描发生器1、显像管2、 放大变换器3、放大器4、收集器5、试样台6、灯丝7、多个透镜和微电脑13,放大器4分别与 显像管2、收集器5和试样台6连接，多个透镜设置在灯丝7下方，微电脑13分别与扫描发 生器1、放大变换器3和放大器4连接。 其中，多个透镜包括第一透镜10、第二透镜11和第三透镜12,第一透镜10、第二透 镜11和第三透镜12均为电磁透镜，灯丝7下方依次设置有栅极8和阳极9。多个透镜依次 从上到下放置，收集器5和试样台6对应设置。微电脑13还连接有一显示屏14。 本技术提供的微材料扫描电子显微系统能够显示样品的各种图像，不同于电 磁透镜的放大成像，本技术的成像方式类似于电视的摄像成像。工作原理可以简单地 归纳为"光栅扫描，逐点成像"。具体为：从三级电子枪阴极发射电子束（一般为50 μπι)，经 过阴阳极间的加速电压（2~30kV)后，由聚光镜及物镜进行聚焦，形成电子束斑（约IOnm) 然后照射到样品表面。电子探针通过扫描线圈的作用，在样品表面做光栅状扫描（光栅线 条数目取决于行扫描和帧扫描速度），当入射电子打到样品表面时，将有99%以上的入射 电子能量转变成样品热能，约1 %的入射电子能量，将激发样品产生各种有用的信息，包括 二次电子、背散射电子和X射线等，不同的信息，从试样中所得到各种信息的强度和分布各 自同试样表面形貌、成分、晶体取向以及表面状态的一些物理性质（如电性质、磁性质等） 等因素有关。 如图1所示，为本技术的原理结构示意图，扫描图像的放大倍数定义为： L为显像管的荧光屏尺寸；1为电子束在试样上扫描距离。 本技术提供的微材料扫描电子显微系统具有以下特点：分辨率高、景深长，视 野广、图像富有立体感等。 以上所述之【具体实施方式】为本技术的较佳实施方式，并非以此限定本实用新 型的具体实施范围，本技术的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本技术 之形状、结构所作的等效变化均在本技术的保护范围内。【主权项】1. 一种微材料扫描电子显微系统，其特征在于：所述微材料扫描电子显微系统主要包 括扫描发生器（1)、显像管（2)、放大变换器（3)、放大器（4)、收集器（5)、试样台（6)、灯丝 (7)、多个透镜和微电脑（13)，所述放大器（4)分别与显像管（2)、收集器（5)和试样台（6) 连接，多个透镜设置在灯丝（7)下方，所述微电脑（13)分别与扫描发生器（1)、放大变换器 (3)和放大器⑷连接。2. 根据权利要求1所述的微材料扫描电子显微系统，其特征在于：所述多个透镜包括 第一透镜（10)、第二透镜（11)和第三透镜（12)，所述第一透镜（10)、第二透镜（11)和第三 透镜（12)均为电磁透镜，所述灯丝（7)下方依次设置有栅极（8)和阳极（9)。3. 根据权利要求2所述的微材料扫描电子显微系统，其特征在于：所述多个透镜依次 从上到下放置，所述收集器（5)和试样台（6)对应设置。4. 根据权利要求1-3之一所述的微材料扫描电子显微系统，其特征在于：所述微电脑 (13)还连接有一显示屏（14)。【专利摘要】本技术涉及一种微材料扫描电子显微系统，主要包括扫描发生器(1)、显像管(2)、放大变换器(3)、放大器(4)、收集器(5)、试样台(6)、灯丝(7)、多个透镜和微电脑(13)，所述放大器(4)分别与显像管(2)、收集器(5)和试样台(6)连接，多个透镜设置在灯丝(7)下方，所述微电脑(13)分别与扫描发生器(1)、放大变换器(3)和放大器(4)连接。本技术提供的微材料扫描电子显微系统，具有分辨率高、景深长，视野广、图像富有立体感等特点。【IPC分类】H01L21/66, H01J37/244, H01J37/28【公开号】CN204809185【申请号】CN201520388360【专利技术人】陈小梅 【申请人】陈小梅【公开日】2015年11月25日【申请日】2015年6月3日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微材料扫描电子显微系统，其特征在于：所述微材料扫描电子显微系统主要包括扫描发生器(1)、显像管(2)、放大变换器(3)、放大器(4)、收集器(5)、试样台(6)、灯丝(7)、多个透镜和微电脑(13)，所述放大器(4)分别与显像管(2)、收集器(5)和试样台(6)连接，多个透镜设置在灯丝(7)下方，所述微电脑(13)分别与扫描发生器(1)、放大变换器(3)和放大器(4)连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈小梅，
申请(专利权)人：陈小梅，
类型：新型
国别省市：福建;35