本实用新型专利技术涉及一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，主要包括管式炉(1)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(1)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。本实用新型专利技术提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，具有操作简单、易于控制和实验周期短等特点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种采用化学相沉积方法制备纳米材料试验样品的装置，尤其涉及一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，属于纳米材料制备领域。
技术介绍
纳米材料是指在三维空间中至少有一个维度的尺寸小于10nm或者由它们作为基本单元构成的材料。由于它的尺寸已经接近电子的相干长度，它的性质因为强相干所带来的自组织使得性质发生很大变化，如光学、热学、电学、磁学、力学以及化学方面的性质和块体材料相比将会有显著的不同。所以，纳米尺度和性能特异变化是纳米材料必须同时具备的两个基本特征。半导体纳米材料的量子尺寸效应和表面与界面等效应，使其表现出独特的光学特性，如光学发光性、吸收带边蓝移、激子发光等。尤其是I1-VI族一维纳米材料，它们是宽的直接带隙半导体材料，是典型的光电半导体材料。带隙半导体材料，是典型的光电半导体材料。以砸化镉为(CdSe)例，作为典型的光电半导体材料之一，本身具有独特的光电学性质，在作为光源、光吸收、光波导、光致发光和光电转换等方面有着广阔的应用前景。目前国内尚无成熟的专门用来制备半导体纳米材料相关样品的装置，也没有配套的测试仪器。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。本技术提供了一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，主要包括管式炉、调节控制室、气体输入室和尾气回收室，其中管式炉由衬底、石英管、陶瓷舟、热电偶和硅碳棒构成，所述石英管从衬底中间穿设而过，热电偶插设在衬底上方，在石英管两端各设置有一硅碳棒，调节控制室分别与两个硅碳棒连接，气体输入室和尾气回收室分别连接石英管的两端。优选的，上述陶瓷舟设置在石英管内部，热电偶设置在陶瓷舟的正上方，热电偶的底部接触石英管外壁。优选的，上述陶瓷舟内部装有药品。优选的，上述石英管两端开口，气体从石英管的一端进入，另一端排出。优选的，上述气体输入室和尾气回收室分别通过硅碳棒连接石英管的两端。 优选的，上述尾气回收室内装有NaOH溶液。本技术提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，具有操作简单、易于控制和实验周期短等特点。【附图说明】图1为本技术结构示意图。附图标记:1-管式炉；2-衬底；3_石英管；4_陶瓷舟；5_热电偶；6_娃碳棒；7-调节控制室；8_气体输入室；9_尾气回收室。【具体实施方式】为了便于本领域普通技术人员理解和实施本技术，下面结合附图及【具体实施方式】对本技术作进一步的详细描述。本技术提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，主要包括管式炉1、调节控制室7、气体输入室8和尾气回收室9，其中管式炉I由衬底2、石英管3、陶瓷舟4、热电偶5和硅碳棒6构成，石英管3从衬底2中间穿设而过，热电偶5插设在衬底2上方，在石英管3两端各设置有一娃碳棒5，调节控制室7分别与两个娃碳棒5连接，气体输入室8和尾气回收室9分别连接石英管3的两端。其中，陶瓷舟4设置在石英管3内部，热电偶5设置在陶瓷舟4的正上方，热电偶5的底部接触石英管3外壁。陶瓷舟4内部装有药品。石英管2两端开口，气体6从石英管2的一端进入，另一端排出。气体输入室8和尾气回收室9分别通过硅碳棒5连接石英管3的两端。尾气回收室9内装有NaOH溶液。本技术采用硅碳棒6加热，硅碳棒6所在的中心温区温度最高，升温速率可以通过调节控制室7的电压电流进行控制，且温区的分布近似高斯分布，即硅碳棒6对于石英管3的位置温度最高，石英管3内温度随着远离硅碳棒6而存在一定的温度梯度，石英管3两侧的温度接近室温。将装有药品和衬底的陶瓷舟4，放在石英管3内不同位置(原则上药品位于中心温区，衬底位于上下游)。在石英管3的上游通过气体输入室8通入氩氢混合气，下游连接装有NaOH溶液的尾气处理装置尾气回收室9当中。本技术提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，具有操作简单、易于控制和实验周期短等特点。以上所述之【具体实施方式】为本技术的较佳实施方式，并非以此限定本技术的具体实施范围，本技术的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本技术之形状、结构所作的等效变化均在本技术的保护范围内。【主权项】1.一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述基于化学气相沉积法制备样品的系统主要包括管式炉(I)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(I)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。2.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述陶瓷舟⑷设置在石英管⑶内部，热电偶(5)设置在陶瓷舟⑷的正上方，热电偶(5)的底部接触石英管(3)外壁。3.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述陶瓷舟(4)内部装有药品。4.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述石英管(2)两端开口，气体(6)从石英管(2)的一端进入，另一端排出。5.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述气体输入室⑶和尾气回收室(9)分别通过硅碳棒(5)连接石英管(3)的两端。6.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于:所述尾气回收室(9)内装有NaOH溶液。【专利摘要】本技术涉及一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，主要包括管式炉(1)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(1)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。本技术提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，具有操作简单、易于控制和实验周期短等特点。【IPC分类】G01N1/28, C23C16/44, B82Y40/00【公开号】CN204803403【申请号】CN201520388465【专利技术人】陈小梅 【申请人】陈小梅【公开日】2015年11月25日【申请日】2015年6月3日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于：所述基于化学气相沉积法制备样品的系统主要包括管式炉(1)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(1)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈小梅，
申请(专利权)人：陈小梅，
类型：新型
国别省市：福建;35
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