一种相变型氧化钒材料及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种相变型氧化钒材料及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。后续可选择性地通过进一步退火来调整氧化钒中注入气泡的形成情况，进一步调整应力应变及相变温度。本发明专利技术的相变型氧化钒材料的制备方法步骤简单，工艺重复性好，灵活性强，通过改变气体离子的注入剂量，可以连续调节氧化钒的相变温度。同时，本发明专利技术兼容性好，可与其它相变温度方法相结合，实现更大的相变温度调节范围。本发明专利技术还可实现区域相变温度调节，为氧化钒器件的制备提供了一个新的方向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于功能材料领域，涉及。
技术介绍
金属钒与氧气反应可形成复杂的钒氧化物系统，化学计量比具有多种形式。其中大多数钒氧化物在热激励作用下可发生绝缘体-金属的转变，且具有不同的相变温度。在所有钒的氧化物中，二氧化钒(VO2)由于在68°C附近具有显著且可逆的金属-绝缘体(MIT)相变特性，且相变温度最接近室温，而受到科研工作者的广泛关注。在相变过程中，二氧化钒的晶体结构在单斜结构(低温时)与四方金红石结构(高温时)之间转变。与此同时，二氧化钒的许多物理性质都发生了突变，如电阻率、透射率、磁化率等，尤其是在红外波段的光学透过率/反射率的变化最为明显，而电阻率的突变会达到4-5个量级。正是由于二氧化钒的相变温度接近室温且相变前后其物理性质发生了巨大的突变，使其具有非常广泛的应用前景。但真正实用化往往需要调节其温度到某一个特定的温度以符合应用的需求。特别是在智能窗、光电开关、红外探测、太赫兹等领域，二氧化钒高于室温的相变温度成为其实际应用的最大阻碍，如何降低二氧化钒的相变温度成了一个亟待解决的问题。研究者们发现，通过对二氧化钒进行金属离子掺杂、引入外/内应力以及控制微观形貌/缺陷等都可以调控二氧化钒的相变温度。比如在二氧化钒中掺杂钨离子就可以显著的降低二氧化钒的相变温度。然而，目前的调节氧化钒相变温度的方法工艺复杂、温度调节范围小、不能实现连续调节，同时也不能实现区域相变温度的调节。因此，如何提供以解决上述问题，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供，用于解决现有技术中氧化钒材料的相变温度调节过程复杂，温度调节范围小、不能实现连续调节及不能实现材料的区域相变温度调节的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种相变型氧化钒材料的制备方法，包括如下步骤:提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。可选地，所述气体离子包括O、N、H、He、Ne、Ar及Xe中的至少一种。可选地，通过调整气体离子的注入剂量来调控所述预设相变温度。可选地，所述氧化钒基材为薄膜、图形化纳米结构或块体。可选地，对所述氧化钒基材进行气体离子注入得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料之后，将所述相变型氧化钒材料研磨为粉体。可选地，利用掩膜版对所述氧化钒基材进行气体离子注入，在所述氧化钒基材的局部区域得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。可选地，所述氧化钒基材的材料包括V02、W、V2O3或V 205。可选地，所述氧化钒基材的材料为纯相氧化钒或掺杂氧化钒。可选地，所述氧化钒基材为通过磁控溅射法、离子束辅助沉积法、化学气相沉积法、真空热蒸发法、电子束蒸发法、激光脉冲沉积法或溶液凝胶法制备于衬底上的二氧化钒薄膜。可选地，所述衬底为石英玻璃、普通玻璃、蓝宝石、T12衬底、云母片或硅片。可选地，所述氧化钒基材为二氧化钒薄膜，其中，在制备所述二氧化钒薄膜的过程中，通过掺杂溅射靶材或者改变制备过程中的氧压对所述二氧化钒薄膜的相变温度进行预调控。可选地，对所述氧化钒基材进行气体离子注入得到具有预设相变温度的相变型氧化隹凡材料之后，进一步对所述相变型氧化银材料进行退火。可选地，退火温度范围是25?1000°C，退火气氛包括02&Ar中的至少一种。可选地，气体离子注入能量范围是50eV?IMeV，气体离子注入剂量范围是IEl?lE20cm 2，气体离子注入温度范围是-100?1000°C。本专利技术还提供一种采用上述任意一种方法制备的相变型氧化钒材料。如上所述，本专利技术的相变型氧化钒材料及其制备方法，具有以下有益效果:(I)灵活性强:本专利技术通过对氧化钒基材进行气体离子注入，改变氧化钒基材内部的应力应变的状况，促使氧化钒相变温度向理想的方向调节。通过改变气体离子的注入剂量，可以连续调节氧化钒的相变温度。(2)兼容其它相变温度调节方式:本专利技术是一种后处理过程，进行气体离子注入的氧化钒基材材料既可以是纯相的氧化钒，也可以是经过掺杂或者经过其他各种处理的氧化钒。由于进行气体离子注入的是已经制备好的氧化钒基材，因而可以与在制备氧化钒基材过程中采用掺杂溅射靶材或者改变氧压等调节相变温度的方法兼容。本专利技术与其他相变温度调节方法相结合，能够实现的相变温度调节范围会更大。(3)可实现区域相变温度调节:由于本专利技术是采用气体离子注入调节相变温度，因而可以在整个氧化钒基材需要进行相变温度调节的区域利用掩膜版进行气体离子注入，从而实现氧化钒基材的区域相变温度调节，为氧化钒器件的制备提供了一个新的方向。(4)步骤简单:由于本专利技术整个工艺流程只需要气体离子注入这一步，没有复杂的工艺过程，操作简便，工艺重复性好。当然，后续可通过进一步退火来调整氧化钒中注入气泡的形成情况，进一步调整应力应变及相变温度。【附图说明】图1显示为本专利技术的相变型氧化钒材料的制备方法中对形成于衬底上的二氧化钒薄膜进行气体离子注入的示意图。图2显示为二氧化钒薄膜在不同Ne离子注入剂量前后的电阻-温度曲线图。图3显示为二氧化钒薄膜的相变温度与离子注入剂量的关系曲线。图4显示为利用掩膜版局部改变二氧化钒薄膜的相变温度的示意图。元件标号说明I 衬底2 二氧化钒薄膜3 掩膜版【具体实施方式】以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图式中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。实施例一本专利技术提供一种相变型氧化钒材料的制备方法，包括如下步骤:提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。具体的，所述氧化钒基材可以为薄膜形态，也可以为图形化纳米结构、块体等形式。所述氧化钒基材的材料可以为V02，也可以为其它钒的低价氧化物V0、V203或V 205，其都存在半导体-金属相变特性。作为示例，以二氧化钒薄膜作为所述氧化钒基材。如图1所示，首先在衬底I上制备二氧化钒薄膜2，再对所述二氧化钒薄膜2进行气体离子注入。所述二氧化钒薄膜2的制备方法包括但不限于磁控溅射法、离子束辅助沉积法、化学气相沉积法、真空热蒸发法、电子束蒸发法、激光脉冲沉积法或溶液凝胶法。所述衬底I包括但不限于石英玻璃、普通玻璃、蓝宝石、T12衬底、云母片或硅片。注入的所述气体离子包括但不限于0、N、H、He、Ne、Ar及Xe中的至少一种。具体的，气体离子的注入能量及注入的气体离子种类与薄膜厚度有关，一般为50eV?IMeV，气体离子注入剂量范围是IEl?lE20cm 2，气体离子注入温度范围是-100?100tC。具体的注入剂量可根据需要达到的相变温度进行调整，此处不应过分限制本专利技术的保护范围。本专利技术通过对氧化钒基材进行离子注入实现相变温度的改变，其机理主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种相变型氧化钒材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供氧化钒基材，对所述氧化钒基材进行气体离子注入，得到具有预设相变温度的相变型氧化钒材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧欣，贾棋，黄凯，王曦，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31