高速摄像方法和高速摄像装置制造方法及图纸

不依赖摄像机的摄像特性、高速地对工件进行摄像。具体而言，在一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动一边对该工件进行摄像的摄像过程中，根据摄像机的台数将移动速度调整为比由线传感器的分辨率和扫描频率所决定的最佳移动速度快的速度，根据摄像机的台数均等地分割扫描频率，将该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且将摄像机的曝光时间调整到各扫描频率内的循环，一边对所述工件进行摄像，并根据由摄像机取得的亮度值对工件的图像进行重构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对玻璃、半导体晶片以及电子基板等工件进行摄像的高速摄像方法和高速摄像装置。
技术介绍
提出并实施有一种摄像方法，该方法如下所述:在沿扫描方向移动面型图像传感器的过程中，交替地重复进行在与移动方向垂直的水平方向上向与移动轨迹上的规定的位置错开1/2个像素的位置的移动，同时进行摄像(专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特许第3907560号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，作为摄像对象的工件，例如半导体器件等，为了增加单位时间的制造数量，在基于图像分析处理的检查装置等中要求高生产量。这里，为了缩短每张基板所花费的检查时间，提出有如下的方式:使对工件进行保持的保持台的移动高速化，或者配置多台摄像机。使保持台的移动高速化很容易。然而，当进行超过摄像机的扫描频率的高速摄像时，会输出与本应取得的图像数据不同的图像。即，存在以下问题:无法超过由摄像机的分辨率和扫描频率决定的最佳移动速度而对工件进行摄像。本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其主要目的在于提供一种高速摄像方法和高速摄像装置，不受摄像机的扫描频率限制、能够高速地对工件进行摄像。用于解决课题的手段本专利技术为了达成这样的目的，采用如下的结构。S卩，作为对工件进行摄像的高速摄像方法的一个实施方式，其特征在于，所述尚速摄像方法具有:摄像过程，一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对所述工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动，一边对该工件进行摄像；以及图像重构过程，根据由所述各摄像机所取得的亮度值对工件的图像进行重构，在所述摄像过程中，根据摄像机的台数将所述移动速度调整为比最佳移动速度快的速度，所述最佳移动速度由线传感器的分辨率和扫描频率决定，根据所述摄像机的台数均等地分割扫描频率，将分割后的该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且在各扫描频率内调整摄像机的曝光时间的循环，一边对所述工件进行摄像。(作用.效果)根据该方法，按照摄像机的台数均等地分割扫描频率，对多台摄像机轮流分配该分割后的扫描频率，在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启。此时，摄像机的曝光时间被调整到每个分割后的扫描频率。对原始的扫描频率进行分割，重复通过多台摄像机利用分割后的扫描频率而进行的一个循环的摄像来对工件进行摄像。因此，在以超过摄像机的最佳移动速度的速度对工件进行摄像的过程中，由于从后方追随的摄像机对未通过先行的摄像机完成摄像的区域的图像进行摄像，因此，能够取得作为目标的摄像区域整体的图像数据。此外，由于各摄像机的线传感器的曝光时间不重复，因此只要将根据各摄像机的输出信号而求得的亮度值合成就能够重构工件的图像。换言之，通过能够调整快门开启的摄像机使得曝光时间成为比分割后的扫描频率短的时间，能够很好地实施上述高速摄像方法。并且，其他的实施方式的高速摄像方法具有:摄像过程，一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对所述工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动，一边对该工件进行摄像；以及图像重构过程，根据由所述各摄像机所取得的亮度值对工件的图像进行重构，在所述摄像过程中，根据摄像机的台数将所述移动速度调整为比最佳移动速度快的速度，所述最佳移动速度由线传感器的分辨率和扫描频率决定，根据所述摄像机的台数均等地分割扫描频率，将分割后的该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且使摄像机的曝光时间在超过分割后的扫描频率后终止、而使先行的摄像机和后行的摄像机的曝光时间重叠的循环，一边对所述工件进行摄像，将针对每个摄像机按照像素数对在多个像素的范围中取得的亮度值进行平均化而得到的亮度值保存到存储部中，在所述图像重构过程中，按照取得的顺序从存储部读出所述亮度值，使运算时刻的像素的亮度值放大到平均化前的亮度值，根据从刚计算出的像素的亮度值减去当前时刻的放大后的亮度值而得到的亮度值，对工件的图像进行重构。根据该方法，由于使先行和后行的摄像机的曝光时间重叠而进行摄像，因此从各摄像机输出的亮度值相互合成，然而，使运算时刻的像素的亮度值放大到平均化前的亮度值，求出从刚计算出的像素的亮度值减去当前时刻的放大后的亮度值而得到的亮度值，能够根据该亮度值对工件的图像进行重构。因此，即使是不能调整曝光时间的平价的摄像机，也能够不受摄像机自身的扫描频率限制、高速地取得工件的图像。进一步地，在其他的实施方式中，高速摄像方法具有:摄像过程，一边使具备多台具有相同的多个线传感器的摄像机的摄像单元和对所述工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动，一边对该工件进行摄像；以及图像重构过程，根据由所述各摄像机所取得的亮度值对工件的图像进行重构，在所述摄像过程中，根据摄像机的线传感器，将所述移动速度调整为比最佳移动速度快的速度，所述最佳移动速度由线传感器的分辨率和扫描频率决定，根据所述摄像机具有的线传感器的数量均等地分割扫描频率，在每台所述摄像机中将分割后的扫描频率轮流分配给线传感器，一边重复以在各扫描频率的起始点进行快门开启、并且使得对各线传感器的曝光时间在分割后的扫描频率内终止的方式进行调整的循环，一边对所述工件进行摄像，在该过程中，—边重复将先行的摄像机和后行的摄像机的摄像定时错开并且交替地使相同部位重叠的摄像循环，一边对所述工件进行摄像，通过积分延迟电路将在每个摄像机中在多个线传感器的范围中取得的多个像素的亮度值作为一个像素的亮度值保存到存储部中，在所述图像重构过程中，按照取得的顺序读出所述亮度值，使运算时刻的像素的亮度值放大到平均化前的亮度值，根据从刚计算出的像素的亮度值减去当前时刻的放大后的亮度值而得到的亮度值，对工件的图像进行重构。根据该方法，由于一台摄像机具有多个线传感器，因此能够扩大每台摄像机的摄像范围。并且，根据摄像机的台数对扫描频率进行分割，能够以将分割后的扫描频率分配至各线传感器的状态进行工件的摄像。这里，由于通过积分延迟电路在每台摄像机中将在多个线传感器的范围中取得的多个像素的亮度值作为一个像素的亮度值进行输出，因此，能够利用合并功能高速地对工件进行摄像。此外，虽产生先行的摄像机和后行的摄像机摄像的范围重复的部分，但通过按照取得的顺序读出所述亮度值、将运算时刻的像素的亮度值放大到平均化前的亮度值、根据从刚计算出的像素的亮度值减去当前时刻的放大后的亮度值而得到的亮度值对工件的图像进行重构，由此，能够对去除了重复部分的亮度值的鲜明的工件的图像进行重构。进一步地，在上述各实施方式中，优选高速摄像方法具有:检测过程，对多台摄像机的每一台与保持台的相对的位置关系进行检测；以及运算过程，根据在检测过程中求得的所述位置关系来求出摄像机之间的相对的偏移量；在图像重构过程中，一边根据在运算过程中求得的偏移量对取得图像数据的位置进行校正，一边对图像进行重构。根据该方法，由于各摄像机的位置偏移被抵消，因此能够省去进行微小的位置调整的麻烦并且容易地进行准确的对位，能够对图像进行重构。并且，本专利技术为了达成如上的目的，采用如下的构成。S卩，作为对工件进行摄像的高速摄像装置的一个实施方式，其特征在于，所述高速摄像装置具有:保持台，其对所述工件进行保持；照明单元，其朝向载置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高速摄像方法，对工件进行摄像，其特征在于，所述高速摄像方法具有：摄像过程，一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对所述工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动，一边对该工件进行摄像；以及图像重构过程，根据由所述各摄像机所取得的亮度值对工件的图像进行重构，在所述摄像过程中，根据摄像机的台数将所述移动速度调整为比最佳移动速度快的速度，所述最佳移动速度由线传感器的分辨率和扫描频率决定，根据所述摄像机的台数均等地分割扫描频率，将分割后的该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且在各扫描频率内调整摄像机的曝光时间的循环，一边对所述工件进行摄像。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：大久保宪治，井中千草，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP