本发明专利技术的目的在于提供一种能够抑制以基板发生翘曲等的变形为起因而产生的印刷不良的网板印刷装置。具备：下承受箱(12)，在与基板(PB)的下表面接触的顶板部(12a)设有第一吸引孔(21)及第二吸引孔(22)；鼓风吸引用配管(23)，与下承受箱(12)的内部空间(12S)连通而在下承受箱(12)的外部延伸；鼓风吸引源(24)，通过鼓风吸引用配管(23)而吸出空气，在第一吸引孔(21)产生鼓风吸引力；真空吸引用配管(27)，与第二吸引孔(22)连结，通过下承受箱(12)的内部空间(12S)而向下承受箱(12)的外部延伸；及控制阀(28)，通过真空吸引用配管(27)而向第二吸引孔(22)供给真空压力。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过使刮板在与基板接触的掩膜上滑动从而通过设于掩膜的图案孔而向基板上印刷糊剂的网板印刷装置。
技术介绍
在网板印刷装置中，作为用于防止掩膜与基板之间的位置错动的基板的保持方法，优选基于真空吸引的方法。以往，已知有在与基板的下表面接触的构件设置吸引孔而将其与真空吸引用配管连结，向真空吸引用配管供给真空压力的结构(例如，专利文献I)。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献I】日本特开2003-224395号公报【专利技术要解决的课题】然而，在通过真空吸引来保持基板的结构中，在基板存在翘曲等变形而发生泄漏的情况下，吸引力极端下降，存在基板的保持力变弱而可能发生印刷不良这样的问题点。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制以基板的翘曲等变形为起因而产生的印刷不良的网板印刷装置。【用于解决课题的方案】本专利技术的网板印刷装置使刮板在与基板接触的掩膜上滑动，由此通过设置于所述掩膜的图案孔而向所述基板上印刷糊剂，其中，所述网板印刷装置具备:箱状构件，在与所述基板的下表面接触的顶板部设置有第一吸引孔及第二吸引孔；鼓风吸引用配管，与所述箱状构件的内部空间连通而在所述箱状构件的外部延伸；鼓风吸引源，通过所述鼓风吸引用配管而吸出空气，在所述第一吸引孔产生鼓风吸引力；真空吸引用配管，与所述第二吸引孔连结，通过所述箱状构件的所述内部空间而向所述箱状构件的外部延伸；及真空压力供给单元，通过所述真空吸引用配管而向所述第二吸引孔供给真空压力。【专利技术效果】根据本专利技术，能够抑制以基板发生翘曲等变形为起因而产生的印刷不良。【附图说明】图1是本专利技术的一实施方式的网板印刷装置的侧视图。图2是表示本专利技术的一实施方式的网板印刷装置的控制系统的框图。图3是本专利技术的一实施方式的网板印刷装置具备的下承受箱及吸引机构的结构图。图4是本专利技术的一实施方式的网板印刷装置具备的下承受箱的俯视图。图5是表示本专利技术的一实施方式的网板印刷装置具备的操作面板上显示的操作画面的一例的图。图6是本专利技术的一实施方式的网板印刷装置的侧视图。【标号说明】I网板印刷装置2 掩膜2h图案孔3b 刮板12下承受箱(箱状构件)12S内部空间12a顶板部21第一吸引孔22第二吸引孔23鼓风吸引用配管24鼓风吸引源27真空吸引用配管28控制阀(真空压力供给单元)PB 基板Pst 糊剂【具体实施方式】以下，参照附图，说明本专利技术的实施方式。图1示出本专利技术的一实施方式的网板印刷装置I。网板印刷装置I具备掩膜2、刮板头3及基板保持移动部4。网板印刷装置I的各部的动作控制由控制装置5进行(图2)。掩膜2保持为水平姿势，向上表面供给糊剂Pst。在掩膜上形成有与基板PB的电极配置对应的图案孔2h。刮板头3具备通过刮板升降工作缸3a而升降的刮板3b。刮板头3由头移动机构3M驱动而沿水平方向移动。基板保持移动部4由保持基板PB的基板保持机构部4a、使基板保持机构部4a向水平面内方向及上下方向移动的移动机构部4b构成。基板保持机构部4a具备搬运输送设备11、下承受箱12、夹紧件13及吸引机构14。搬运输送设备11对基板PB进行搬运并定位，下承受箱12在上表面从下方承受搬运输送设备11定位了的基板PB。夹紧件13从侧方夹紧下承受箱12从下方承受的基板PB。吸引机构14吸引下承受箱12从下方承受的基板PB而保持于下承受箱12的上表面。在图3中，作为箱状构件的下承受箱12由上表面与基板PB的下表面接触的顶板部12a和保持顶板部12a的支撑部12b构成。顶板部12a相对于支撑部12b成为拆装自如。在顶板部12a设有多个第一吸引孔21和多个第二吸引孔22。第一吸引孔21是用于对基板PB和掩膜2进行鼓风吸引的孔。因此，第一吸引孔21设置在与由夹紧件13夹紧的基板PB的下表面相对的位置及与基板PB的切口部K相对的位置(也参照图4)。在图4中，设置在与基板PB的下表面相对的位置上的第一吸引孔21由标号21a表示，设置在与基板PB的切口部K相对的位置上的第一吸引孔21由标号21b表示。另一方面，第二吸引孔22是用于对基板PB进行真空吸引的孔。因此，第二吸引孔22设置在由夹紧件13夹紧的基板PB的下表面中的避开与切口部K相对的位置的位置(也参照图4)。吸引机构14由鼓风吸引用配管23、鼓风吸引源24、多个真空吸引用配管27及控制阀28构成。在图3中，鼓风吸引用配管23与下承受箱12的内部空间12S连通，在下承受箱12的外部延伸。鼓风吸引源24与鼓风吸引用配管23连接。鼓风吸引源24构成包括:通过鼓风吸引用配管23吸出空气，在第一吸引孔21产生鼓风吸引力的电动机25 ;及通过变更向电动机25供给的电源的频率而使电动机25的转速变化的逆变器26。在图3中，各真空吸引用配管27从顶板部12a的下表面侧连结于各第二吸引孔22。上述的真空吸引用配管27穿过下承受箱12的内部空间12S而通过下承受箱12的侧面的开口部(该开口部被密封)，向下承受箱12的外部延伸。多个真空吸引用配管27与真空源29连接。控制阀28夹装在真空吸引用配管27与真空源29之间。控制阀28由控制装置当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种网板印刷装置，使刮板在与基板接触的掩膜上滑动，由此通过设置于所述掩膜的图案孔而向所述基板上印刷糊剂，所述网板印刷装置的特征在于，具备：箱状构件，在与所述基板的下表面接触的顶板部设置有第一吸引孔及第二吸引孔；鼓风吸引用配管，与所述箱状构件的内部空间连通而在所述箱状构件的外部延伸；鼓风吸引源，通过所述鼓风吸引用配管而吸出空气，在所述第一吸引孔产生鼓风吸引力；真空吸引用配管，与所述第二吸引孔连结，通过所述箱状构件的所述内部空间而向所述箱状构件的外部延伸；及真空压力供给单元，通过所述真空吸引用配管而向所述第二吸引孔供给真空压力。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：堀江勲，末安祐介，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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