本发明专利技术公开了一种自动放行WAT PM探针卡的系统及方法，通过建立自动放行WAT PM探针卡的系统，可实时地抓取PM探针卡的数据检查结果存入数据库，并可根据系统内各个验收检查项目的设定值判断是否放行，待各项检查均符合规格值后，系统可自动对该PM探针卡的状态进行切换，并可通过内部邮件发出放行的指令；可有效地提高工作效率，减少PM探针卡放行的时间，同时也减少了工程师的工作量和工作时间，从长远来讲提高了探针卡可使用时间的比率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体微电子测试应用领域，更具体地，涉及一种自动放行WAT PM探针卡的系统及方法。
技术介绍
半导体晶圆制作完成后、进行封装前，为了确保晶圆的良率及避免封装的浪费，在半导体制程中需要进行晶圆验收测试(Wafer Acceptance Test，WAT)。WAT探针卡机台是广泛用于对晶圆进行电性测量的重要工具之一，是连接WAT测量仪器与晶圆之间的测试接口。其工作原理是将连接测量仪器的探针卡(Probe Card)的探针与待测芯片上的测试焊垫(PAD)或凸块电极直接接触，构成测量回路，通过探针向待测芯片馈入测试信号及回馈芯片信号，再配合测量仪器与软件控制筛选出电性不良的芯片，实现自动化检测。探针卡包括了用来与测试PAD接触的多个探针。电性测量是一项重要的监测步骤，采用探针卡扎到测试键的金属PAD上来进行测量。然而，随着探针卡扎针次数的增加，针尖会发生磨损、氧化或者粘污，针尖与PAD的接触电阻增大将会影响电性测量的准确性。同时，若探针卡针尖扎到PAD上的位置发生意外偏移，将会导致芯片内部金属导线短路，会极大影响量测的准确性。若探针卡有异常，针痕粘污或针痕PAD偏出时，则会造成测试异常，甚至扎坏wafer。因此，探针卡状况的好坏会直接影响WAT的测试结果，需要对探针卡进行定期维护(Per1dic maintenance，PM)。在WAT探针卡PM后，WAT工程师需要检查验收多项指标，包括RFID (射频识别)的牢固性、基座的完好、leakage (漏电)、针尖直径、prober angle (探针角度)等。待检查的各项指标均合格后，将检查的各项数据结果记录到相应的记录表单，发mail (邮件)通知MFG(制造工程师)该卡可以使用。在进行验收指标的检查时，由于要检查的项目较多，将检查的各项数据结果记录到相应的记录表单及修改需要花费大量时间(例如:一次性release4张PM探针卡需要花费5个小时，其中数据的记录及修改就要花费2个小时)，影响了 PM探针卡release (放行)的效率。为此设计一种可自动release WAT PM探针卡的系统，以有效提高工作效率，减少PM探针卡release的时间，从长远来讲提高探针卡可使用时间的比率，是一项非常值得开发的课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种自动放行WAT PM探针卡的系统及方法，以有效提高工作效率，减少PM探针卡release的时间。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下:—种自动放行WAT PM探针卡的系统，包括:存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库；判断模块，根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果；处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。优选地，所述处理模块包括邮件发送单元，并通过该邮件发送单元以内部邮件的方式发出是否放行的指令。优选地，还包括重置模块，在所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的扎针次数记录重置。优选地，还包括切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换。一种自动放行WAT PM探针卡的方法，包括:利用一存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库；利用一判断模块，根据针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果；利用一处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。优选地，通过所述处理模块的邮件发送单元，以内部邮件的方式发出是否放行的指令。优选地，利用一重置模块，在所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的扎针次数记录重置。优选地，利用一切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换。优选地，在全部的检查数据结果符合规格值时，通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式发出放行的指令。优选地，针对每一个不符合规格值的检查数据结果，通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式逐一发出不予放行的指令。从上述技术方案可以看出，本专利技术通过建立自动放行WAT PM探针卡的系统，可实时地抓取PM探针卡的数据检查结果存入数据库，并可根据系统内各个验收检查项目的设定值判断是否放行，待各项检查均符合规格值后，系统可自动对该PM探针卡的状态进行切换，并可通过内部邮件发出放行的指令。本专利技术可有效地提高工作效率，减少PM探针卡release的时间(release时间可节省40%以上)，同时也减少了工程师的工作量和工作时间，从长远来讲提高了探针卡可使用时间的比率。【附图说明】图1是本专利技术一较佳实施例的一种自动放行WAT PM探针卡的系统原理图；图2是本专利技术一种自动放行WAT PM探针卡的方法流程图。【具体实施方式】下面结合附图，对本专利技术的【具体实施方式】作进一步的详细说明。在以下本专利技术的【具体实施方式】中，请参阅图1，图1是本专利技术一较佳实施例的一种自动放行WAT PM探针卡的系统原理图。如图1所示，针对WAT PM探针卡，WAT工程师需要对各项验收检查项目进行检查。WAT工程师检查验收数据，可包括例如RFID (射频识别)的牢固性、基座的完好、leakage (漏电)、针尖直径、prober angle (探针角度)等。现有的方式是待检查的各项指标均合格后，将检查的各项数据结果记录到相应的记录表单，然后发mail (邮件)通知MFG(制造工程师)该卡可以使用。但由于要检查的项目较多，将检查的各项数据结果记录到相应的记录表单及修改需要花费大量时间(例如:一次性release 4张PM探针卡需要花费5个小时，其中数据的记录及修改就要花费2个小时)，影响了 PM探针卡release (放行)的效率。因此，可通过本专利技术的一种自动放行WAT PM探针卡的系统来自动release(放行)WAT PM探针卡，以有效提高工作效率，减少PM探针卡release的时间。本专利技术的一种自动放行WAT PM探针卡的系统(即图示的探针卡自动release系统)，包括存储模块、判断模块和处理模块。其中，存储模块用于通过实时抓取方式，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目(即RFID的牢固性、基座的完好、leakage、针尖直径、prober angle等)的数据检查结果实时存入相应记录表单的数据库；判断模块用于根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格(spec)值(例如PM卡漏电〈0.5pA)，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果；如图1所示，例如符合时为“pass”，并进行下一个检查结果的符合性判断；不符合时为“fail”，并显示“Wait EE” (即等待工程师处理，如果是RFID安装不牢固，则需要重新进行安装；如果是漏电，则需要重新PM);处理模块用于根据所述判断模块作出的判断结果，发出是否放行的指令。如图1所示，作为一可选的实施方式，所述处理模块可包括邮件发本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种自动放行WAT PM探针卡的系统，其特征在于，包括：存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库；判断模块，根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果；处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵朝珍，周波，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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