用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法技术

本发明专利技术的实施例提供了一种用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法。所述坩埚包括主体和设置在主体上的内板。在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法。
技术介绍
随着人们对更高品质的显示产品的追求，OLED成为了最具潜力的替代LCD液晶显示的新兴技术，OLED技术正处于快速发展的阶段。国内外普遍采用有机材料蒸镀的方式生产OLED显示产品，RGB像素的色偏、效率等取决于蒸镀膜层均匀性等特性，而在蒸镀过程中，用于蒸发源的坩埚作为蒸镀中的重要部件，直接决定着蒸镀膜层的均匀性。然而，现有技术中用于OLED蒸发源的坩埚为平底结构，加之有机材料本身粘性较大和液化后表面张力作用，导致有机材料在坩埚中的分布不均匀。蒸镀过程中会出现部分露底，影响有机材料蒸镀的均匀性。有鉴于此，确有需要提供一种能够至少部分地解决上述问题的新的用于OLED蒸发源的坩埚及其制造方法。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在解决现有技术中存在的上述问题和缺陷的至少一个方面。根据本专利技术的一个方面，提供了一种用于OLED蒸发源的坩埚，所述坩埚包括主体和设置在主体上的内板，其中：在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大。在一个示例中，在垂直于主体的长度方向的横截面中所述主体的底部设置成V形、U形或者它们的组合的形状。在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成单个V形、两个相连的V形或更多个相连的V形。在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成单个U形、两个相连的U形或更多个相连的U形。在一个示例中，在所述横截面中所述主体的底部设置成相连的V形和U形的组合形状。在一个示例中，所述内板被设置成在所述横截面中具有与所述主体的底部相匹配的形状。在一个示例中，所述内板上设置有成预定排布形式的多个孔，使得在坩埚内的蒸发材料能够穿过所述孔沉积在放置在所述坩埚上或上方的OLED器件的基板上。在一个示例中，所述内板上的孔在垂直于主体的高度方向的水平面上的投影中是均匀分布的。在一个示例中，以主体的长度方向为X坐标轴，以主体的宽度方向为Y坐标轴，以主体的高度方向为Z坐标轴建立的坐标系中，所述内板的孔在XY平面上的投影中是均匀分布的。在一个示例中，在所述XY平面上的投影中，在Y轴方向上设置以第一间距彼此间隔开的多排孔，在每一排孔中的多个孔沿X轴方向延伸并且相邻的两个孔以第二间距彼此间隔开。在一个示例中，所述第一间距等于第二间距。在一个示例中，相邻的两排孔中的孔彼此对准。在一个示例中，在相邻的两排孔中的孔不彼此对准时，将其中的一排孔中的每个孔与另一排孔中的与之相邻的两个孔的连接直线的中心对准。在一个示例中，中间部，所述中间部上设置有所述孔。在一个示例中，所述内板还包括位于中间部两侧的侧部，所述侧部用于盖设在主体的顶部上。根据本专利技术的另一方面，提供了一种制造根据权利要求1所述的用于OLED蒸发源的坩埚的方法，包括以下步骤：提供一具有主体的坩埚，在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大；将内板盖设在坩埚的主体的上端上。本专利技术的实施例通过对坩埚结构(具体是坩埚底部的结构)改善或优化，可以提高蒸镀的均匀性和材料使用率及由于基底用量过少对蒸镀膜层均匀性的影响，使蒸镀膜层的性能大大提高。附图说明本专利技术的这些和/或其他方面和优点从下面结合附图对优选实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1a和1b是现有技术中的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于宽度方向的横截面的示意图和垂直于长度方向的横截面的示意图；图2a和2b是根据本专利技术的第一实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；图3a和3b是根据本专利技术的第二实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；图4a和4b是根据本专利技术的第三实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的沿垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；图5a和5b是根据本专利技术的第四实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图和坩埚的内板的俯视图；图6是根据本专利技术的第五实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图；图7是根据本专利技术的第六实施例的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于长度方向的横截面的示意图。具体实施方式下面通过实施例，并结合附图1-7，对本专利技术的技术方案作进一步具体的说明。在说明书中，相同或相似的附图标号指示相同或相似的部件。下述参照附图对本专利技术实施方式的说明旨在对本专利技术的总体专利技术构思进行解释，而不应当理解为对本专利技术的一种限制。参见图1a和1b，其示出了现有技术的用于OLED蒸发源的坩埚的垂直于宽度方向的横截面示意图和垂直于坩埚的纵长方向或长度方向的横截面示意图。具体地，坩埚10包括主体12和设置在主体12上的内板14。如图所示，主体12的底部设计成平底结构；内板14设置成平板形式，并且其上设置有孔，以使得将材料通过所述孔蒸镀到设置在内板上或上方的玻璃基底(即用于OLED器件的基底)上。当蒸镀材料的剩余料不充足时，主体12的底部有些地方会出现露底，造成材料蒸镀到在内板14上方的玻璃基底上的均匀性不好，所以有些时候为了保证基底(base)量，而加入较多的材料，同时造成了材料的浪费。图1a示出了内板14的长度L，图1b示出了坩埚主体12的宽度W和高度H。本专利技术的主要构思在于将现有的坩埚底部设置成曲率较小的弧形结构或锥形结构，保证当有机材料较少时，既能够保证长边方向(长度方向)上分布的均匀性，也能最大限度地保证短边方向(宽度方向)上分布的均匀性。这样，本专利技术所提供的新型的坩埚能够用于有机材料液化后流动性一般的有机材料，相比，现有技术中的坩埚不能用于这样的液化后流动性不够好的有机材料。对于OLED器件，现在量产成熟的技术都采用真空物理气相沉积工艺来制备相应的器件。就是将制作好的背板或基底放置于真空腔内利用热蒸发的方式将每一层有机材料蒸镀在背板上形成OLED器件。蒸镀工艺是生产OLED的一种重要的技术路线，使用蒸镀工艺，坩埚又是必不可少的治具。坩埚的结构设计对有机材料成膜品质和生产效率有重要影响。通常将有机材料装入坩埚内，待温度达到材料蒸发温度时，有机材料以气体的方式逸出到坩埚上方的开口，沉积在背板表面形成致密的蒸镀薄膜。最后本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于OLED蒸发源的坩埚，所述坩埚包括主体和设置在主体上的内板，其特征在于：在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐渐变大。

【技术特征摘要】
1.一种用于OLED蒸发源的坩埚，所述坩埚包括主体和设置在主
体上的内板，其特征在于：
在垂直于主体的长度方向的横截面中，所述主体的底部从下至上逐
渐变大。
2.根据权利要求1所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
在垂直于主体的长度方向的横截面中所述主体的底部设置成V形、
U形或者它们的组合的形状。
3.根据权利要求2所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
在所述横截面中所述主体的底部设置成单个V形、两个相连的V形
或更多个相连的V形。
4.根据权利要求2所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
在所述横截面中所述主体的底部设置成单个U形、两个相连的U形
或更多个相连的U形。
5.根据权利要求2所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
在所述横截面中所述主体的底部设置成相连的V形和U形的组合形
状。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其
特征在于，
所述内板被设置成在所述横截面中具有与所述主体的底部相匹配的

\t形状。
7.根据权利要求6所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
所述内板上设置有成预定排布形式的多个孔，使得在坩埚内的蒸发
材料能够穿过所述孔沉积在放置在所述坩埚上或上方的OLED器件的基
板上。
8.根据权利要求7所述的用于OLED蒸发源的坩埚，其特征在
于，
所述内板上的孔在垂直于主体的高度方向的水平面上的投影中是均
匀分布的。...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴凤巍，刘锋，刘科雷，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11