废气的燃烧式净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种废气的燃烧式净化装置，可抑制或者防止通气性的侧面壁的裂纹、崩解、缺口等，该装置具有如下结构：为了防止固体颗粒状氧化物堆积于燃烧室内的侧面壁，因而将侧面壁设为具有通气性陶瓷壁的侧面壁，介由该通气性的侧面壁将含氧气体喷出到燃烧室。在如前述那样的废气的燃烧式净化装置中，设置用于对作为燃烧室的侧面壁的陶瓷壁从背后以及下方进行支撑的金属支撑体。或者，将燃烧室的侧面壁的上部设为通气性陶瓷壁，将燃烧室的侧面壁的下部设为通气性的金属壁。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧而去除的燃烧式净化装置。更具体涉及一种燃烧式净化装置，其通过在火焰以及氧气的存在下在高温下使由半导体制造工序排出的有害成分进行接触、燃烧，从而变成无害的物质或者可容易无害化的物质。
技术介绍
伴随着近年的半导体工业的发展，在半导体制造工序中使用了非常多种类的气体。然而，这些气体中，对于人体以及环境而言有害的物质多，必须在排出到工厂外之前进行净化。将这些气体(有害成分)进行燃烧而分解处理的燃烧式净化方法是无论废气的组成、物性皆可适用的便利方法，特别是在高浓度、大流量的情况下，与干式净化方法、湿式净化方法相比较而言是高效的。在燃烧式净化方法中进行如下的处理：通过将包含有害成分的废气以及丙烷、LPG、LNG等燃料气体、空气或者氧气、根据需要的非活性气体在燃烧室中混合、燃烧，将有害成分转化为无害的氧化物或者可容易无害化的物质。历来使用的一般的燃烧式净化装置由如下部件构成：用于使有害成分进行燃烧的燃烧室，用于将包含处理对象的有害成分的废气、燃料气体、空气等含氧气体导入到燃烧室的各配管、喷嘴，以及用于将燃烧后的气体从燃烧室排出的配管等。另外，有时候会在燃烧室的气体排出口附近具有用于喷出冷却水而冷却高温度的废气的喷雾喷嘴。利用这样结构的燃烧式净化装置，有害成分燃烧，将燃烧处理后的废气从排出口排出并释放到大气中，或者送向下一个处理装置。然而，在处理对象的有害成分是例如硅烷、磷化氢、胂、二硼烷那样的气体的情况下，通过燃烧而各自生成硅、磷、砷、硼的固体颗粒状氧化物(粉化物)，大部分通过于燃烧室内，由后续工序进行处理，但是一部分堆积于燃烧室内的侧面壁，其附着面积、厚度伴随着燃烧时间的经过而增加。其结果，妨碍有害成分与燃料气体、空气、氧气等的均匀混合从而阻碍完全燃烧，不仅发生燃烧温度的降低、处理对象的有害成分的分解率的降低，而且在粉化物的堆积量多的情况下有可能发生失火。因此，如专利文献1～5那样开发了一种燃烧式净化装置，其中，将燃烧室的侧面设为由陶瓷、烧结金属等形成的通气性的材料，在其外周设置空气、非活性气体等的压力气体流路，介由侧面壁将该压力气体喷出到燃烧室，从而防止固体颗粒状氧化物堆积于燃烧室的侧面壁。专利文献1：日本特开平10-54534号公报专利文献2：日本特开平10-61934号公报专利文献3：日本特开2005-98680号公报专利文献4：日本特开2006-194544号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的问题如前述那样的燃烧式净化装置中，在将燃烧室的侧面壁制成通气性的陶瓷的情况下，可制成对火焰的耐热性、对有害成分的耐腐蚀性相比于金属等其它材料而言优异的侧面壁。但是，陶瓷存在有脆弱的缺点，受到火焰等的影响而产生裂纹(裂缝、破裂)，发生崩解或者缺口，因而有时会对燃烧式净化装置自身、后续工序的装置造成不良影响。因此，本专利技术想要解决的问题在于提供：在使用了通气性的陶瓷作为燃烧室的侧面壁的燃烧式净化装置中，可抑制或者防止燃烧室的侧面壁的裂纹、崩解、缺口等的方案等。用于解决问题的方案本专利技术人为了解决这些问题而进行了深入研究，结果发现了如下内容，从而完成了本专利技术的第1实施方式的废气的燃烧式净化装置：在如前述那样的燃烧式净化装置中，通过设置用于从背后以及下方支撑陶瓷壁的金属支撑体，从而使得由热导率低的陶瓷形成的燃烧室的侧面全体的温度与不设置金属支撑体的情况相比而言均匀化，使得因装置的长期使用而导致的裂纹、崩解、缺口等的发生进程变迟缓，并且即使在产生了崩解、缺口的情况下，也可利用金属支撑体而抑制或者防止陶瓷壁的破片的流出，可减少对燃烧式净化装置、后续工序的装置造成的不良影响。另外，本专利技术人等发现了如下内容，从而完成了本专利技术的第2实施方式的燃烧式净化装置：陶瓷壁在反复长期受到了基于火焰的高温化和基于从喷雾喷嘴喷出的冷却水的低温化的影响的情况下，容易生成裂纹、崩解、缺口等，特别是，通过将接触于冷却水的可能性高的侧面壁的下部表面由通气性陶瓷壁更换为通气性的金属壁，从而不损害燃烧室的侧面壁全体的耐热性，即可减少裂纹、崩解、缺口等。即，本专利技术是一种废气的燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；将火焰导入到该燃烧室的喷嘴；将废气导入到该燃烧室的喷嘴；构成该燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁；设置于该陶瓷壁的外周的含氧气体流路；将含氧气体导入于该流路的含氧气体导入口；以及将燃烧处理后的气体向外部排出的排出口，其特征在于，该废气的燃烧式净化装置通过设置对构成燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁从背后以及下方进行支撑的金属支撑体而成。另外，本专利技术是一种废气的燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；将火焰导入到该燃烧室的喷嘴；将废气导入到该燃烧室的喷嘴；该燃烧室的侧面壁；设置于该侧面壁的外周的含氧气体流路；将含氧气体导入于该流路的含氧气体导入口；以及燃烧处理后的气体的排出口和喷雾喷嘴，其特征在于，燃烧室的侧面壁的上部表面是通气性陶瓷壁，燃烧室的侧面壁的下部表面是通气性的金属壁。专利技术的效果在本专利技术的第1实施方式的废气的燃烧式净化装置中，由于在构成燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁的背面设置热导率高的金属支撑体，因而可使得通气性陶瓷壁的温度与不设置金属支撑体的情况相比变得均匀，可延缓因火焰的影响而导致的陶瓷壁的劣化。其结果，可抑制或者防止陶瓷壁的裂纹、崩解、缺口等的发生进程。另外，即使在产生了陶瓷壁的崩解、缺口的情况下，也可通过金属支撑体而抑制或者防止陶瓷壁的破片的流出，可抑制或者防止对燃烧式净化装置、后续工序的装置造成的不良影响。在本专利技术的第2实施方式的废气的燃烧式净化装置中，要求耐热性的侧面壁的上部表面由通气性陶瓷壁构成，但是关于侧面壁的下部表面，代替耐开裂性存在弱点的陶瓷，由耐开裂性优异的金属壁构成，因而不损害燃烧室的侧面壁的耐热性，即可抑制或者防止由与冷却水的接触导致的裂纹、崩解、缺口等。其结果，可抑制或者防止陶瓷壁的破片的流出，可抑制或者防止对燃烧式净化装置、后续工序的装置造成的不良影响。本专利技术特别是在为了实现装置小型化而在燃烧处理后立即需要进行气体的冷却的燃烧式净化装置方面发挥效果。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气的燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；将火焰导入到该燃烧室的喷嘴；将废气导入到该燃烧室的喷嘴；构成该燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁；设置于该陶瓷壁的外周的含氧气体流路；将含氧气体导入于该流路的含氧气体导入口；以及将燃烧处理后的气体向外部排出的排出口，其特征在于，该废气的燃烧式净化装置通过设置对构成燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁从背后以及下方进行支撑的金属支撑体而成。

【技术特征摘要】
2014.05.12 JP 2014-098561;2014.06.27 JP 2014-132081.一种废气的燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工
序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；将火焰导入
到该燃烧室的喷嘴；将废气导入到该燃烧室的喷嘴；构成该燃烧
室的侧面的通气性陶瓷壁；设置于该陶瓷壁的外周的含氧气体流
路；将含氧气体导入于该流路的含氧气体导入口；以及将燃烧处
理后的气体向外部排出的排出口，其特征在于，该废气的燃烧式
净化装置通过设置对构成燃烧室的侧面的通气性陶瓷壁从背后以
及下方进行支撑的金属支撑体而成。
2.根据权利要求1所述的废气的燃烧式净化装置，其中，陶
瓷壁是圆筒的形状。
3.根据权利要求1所述的废气的燃烧式净化装置，其中，含
氧气体流路是环状的。
4.根据权利要求1所述的废气的燃烧式净化装置，其中，从
陶瓷壁的背后支撑的金属支撑体由通气性的金属板形成。
5.根据权利要求1所述的废气的燃烧式净化装置，进一步在
陶瓷壁的下部的燃烧室侧表面，设置从燃烧室侧支撑陶瓷壁的金
属支撑体。
6.根据权利要求1所述的废气的燃烧式净化装置，其中，陶
瓷壁由具有针孔的陶...

【专利技术属性】
技术研发人员：荒川秩，秋山敏雄，及川祐司，水野健太，长井一贵，
申请(专利权)人：日本派欧尼株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP