一种剥离装置和显示基板生产线制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种剥离装置和显示基板生产线。该剥离装置包括剥离腔室，剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，液刀机构包括供液管道和液刀头，供液管道用于将清洗液供应至液刀头，液刀头用于输出清洗液，供液管道设置在剥离腔室内，剥离液能使供液管道内的清洗液达到设定温度。该剥离装置能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；该剥离装置还能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约能耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体地，涉及一种剥离装置和显示基板生产线。
技术介绍
目前，在液晶面板制造领域的湿法剥离过程中，设备的主体结构及工序为前段在剥离腔室内通过使加热的药液与显示基板上的光刻胶进行反应，后段在清洗腔室内用常温或加热的清洗液对显示基板上剥离下来的光刻胶进行清洗。清洗过程中，通过设置在剥离腔室和清洗腔室连通处的液刀机构向显示基板上喷出清洗液对剥离下来的光刻胶进行冲洗。在此剥离工艺中，用常温清洗液进行清洗会使显示基板上残留的药液在后端相对低温的清洗液环境中析出，造成药液残留不良，同时用于在清洗中向显示基板上喷出清洗液的液刀头的刀口容易出现药液的结晶，导致液刀头刀口堵塞。另外，用加热清洗液的方法清洗剥离下来的光刻胶通常有两种方式:一种是在液刀头22下端供液管路上直接安装电阻丝5加热，如图1所示，此种方法加热路径有限，且液刀机构中清洗液交换快，且非循环使用，致使清洗液升温不均或来不及充分升温；此外需要额外消耗大量电能。另一种是安装额外的供液槽231，在供液槽231内安装加热管6，如图2所示，由于液刀机构的工作状态是有显示基板3从其下方经过时开启喷液，其余时间关闭，而以上两种加热方法皆是一直保持加热的常开状态，大大的损耗了电能，若清洗液加热与液刀头22喷液保持同步间歇开启，由于加热距离有限，液体流速快，所以加热会不够充分，且无法提供温度均一的清洗液。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种剥离装置和显示基板生产线。该剥离装置能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；还能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约能耗。本专利技术提供一种剥离装置，包括剥离腔室，所述剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，所述液刀机构包括供液管道和液刀头，所述供液管道用于将清洗液供应至所述液刀头，所述液刀头用于输出清洗液，所述供液管道设置在所述剥离腔室内，所述剥离液能使所述供液管道内的清洗液达到设定温度。优选地，所述剥离腔室内设置有喷头，所述喷头用于喷洒所述设定温度的剥离液；所述液刀头位于所述剥离腔室外，且所述液刀头连接在所述供液管道的一端端部。优选地，所述供液管道呈连续的S形曲线蜿蜒排布。优选地，所述供液管道包括两条或三条以上的子管道，两条或三条以上的所述子管道相互平行且依次首尾相接。优选地，所述供液管道呈螺旋曲线排布。优选地，所述供液管道平铺在所述剥离腔室底部或者悬挂在所述剥离腔室的侧壁。优选地，所述剥离腔室包括多个，多个所述剥离腔室相互贯通，所述供液管道连续布设在多个所述剥离腔室内。优选地，所述液刀机构还包括供应源，用于供应清洗液，所述供液管道的另一端端部连接所述供应源，所述供应源包括用于容纳所述清洗液的供液槽和用于将所述供液槽内的清洗液输入到所述供液管道内的压力栗。优选地，所述压力栗输出的压力与所述供液管道内所述清洗液的流速成正比，所述压力栗输出的压力能调节。优选地，还包括清洗腔室，所述清洗腔室与所述剥离腔室相互贯通，所述清洗腔室用于对所述显示基板上剥离下来的所述光刻胶进行清洗，所述液刀头设置在所述清洗腔室内。本专利技术还提供一种显示基板生产线，包括上述剥离装置。本专利技术的有益效果:本专利技术所提供的剥离装置，通过将供液管道设置在剥离腔室内，使清洗液流经能提供设定温度剥离液的剥离腔室，再从剥离腔室流出来，进入液刀头，经过剥离腔室内剥离液的加热，能使液刀头输出的清洗液达到设定温度，这使残留在显示基板上的剥离液及光刻胶能更好地溶解在设定温度的清洗液中，从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞；此外，与传统的在液刀机构供液管路下端单独加热的方法相比，该剥离装置能有效的利用剥离腔室内原有的热能，从而节约了能耗。本专利技术所提供的显示基板生产线，通过采用上述剥离装置，不仅改进了显示基板上光刻胶的剥离效果，而且节省了该显示基板生产线的能耗。【附图说明】图1为现有技术剥离装置中一种液刀机构加热清洗液的结构示意图；图2为现有技术剥离装置中另一种液刀机构加热清洗液的结构示意图；图3为本专利技术实施例1中剥离装置的结构示意图；图4为本专利技术实施例2中液刀机构的结构示意图。其中的附图标记说明:1.剥离腔室；11.喷头；2.液刀机构；21.供液管道；211.子管道；22.液刀头；23.供应源；231.供液槽；232.压力栗；3.显示基板；4.清洗腔室；5.电阻丝；6.加热管。【具体实施方式】为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本专利技术所提供的一种剥离装置和显示基板生产线作进一步详细描述。实施例1:本实施例提供一种剥离装置，如图3所示，包括剥离腔室1，剥离腔室I内用于提供设定温度的剥离液，剥离液对显示基板3上的光刻胶进行剥离；还包括液刀机构2，用于对剥离下来的光刻胶进行清洗，液刀机构2包括供液管道21和液刀头22，供液管道21用于将清洗液供应至液刀头22，液刀头22用于输出清洗液，供液管道21设置在剥离腔室I内，剥离液能使供液管道21内的清洗液达到设定温度。该剥离装置通过将供液管道21设置在剥离腔室I内，使清洗液流经能提供设定温度剥离液的剥离腔室1，再从剥离腔室I流出来，进入液刀头22，经过剥离腔室I内剥离液的加热，能使液刀头22输出的清洗液达到设定温度，这使残留在显示基板3上的剥离液及光刻胶能更好地溶解在设定温度的清洗液中，从而能有效地去除残留在显示基板3上的剥离液和光刻胶，避免剥离液在显示基板3上析出，进而避免剥离液结晶将液刀头22的输出口堵塞；此外，与传统的在液刀机构供液管路下端单独加热的方法相比，该剥离装置能有效的利用剥离腔室I内原有的热能，从而节约了能耗。其中，剥离腔室I内设置有喷头11，喷头11用于喷洒设定温度的剥离液；液刀头22位于剥离腔室I外，且液刀头22连接在供液管道21的一端端部，液刀头22输出的清洗液用于喷洒到显示基板3上，以对显示基板3上剥离下来的光刻胶进行冲洗。喷头11喷洒出的剥离液具有一定温度，剥离液能使剥离腔室I内的温度升高，从而使设置在剥离腔室I内的供液管道21内的清洗液的温度升高；经过加热的清洗液流出液刀头22对显示基板3进行清洗时，能够避免残留在显示基板3上的剥离液在显示基板3上析出，从而避免剥离液析出形成的结晶对液刀头22的输出口造成堵塞。本实施例中，供液管道21呈连续的S形曲线蜿蜒排布。供液管道21包括两条子管道211，两条子管道211相互平行且首尾相接，即两条子管道211相互连接为一整条供液管道21，供液管道21的长度为两条连续S形子管道211的总长度。如此设置，能使流过供液管道21在剥离腔室I内的排布长度足够长，从而使供液管道21内的清洗液在剥离液的作用下充分加热，从而使最终从液刀头22流出的清洗液具有设定温度。需要说明的当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种剥离装置，包括剥离腔室，所述剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液；还包括液刀机构，所述液刀机构包括供液管道和液刀头，所述供液管道用于将清洗液供应至所述液刀头，所述液刀头用于输出清洗液，其特征在于，所述供液管道设置在所述剥离腔室内，所述剥离液能使所述供液管道内的清洗液达到设定温度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张帆，胡伟，陈先好，刘剑钊，王建伟，刘祖宏，吴代吾，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11