一种新型多晶硅侧分层加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型多晶硅侧分层加热装置，其包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。本实用新型专利技术的新型多晶硅侧分层加热装置具有能耗低，热场设计合理，适用于大尺寸高品质硅锭生产等诸多优点。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本技术涉及一种铸锭炉的组成装置，具体涉及一种新型多晶硅侧分层加热装置，属于多晶硅生产设备
【
技术介绍
】随着国家对新能源产业支持的不断加大，光伏发电的成本问题越来越受到关注。目前主流的太阳能电池组件主要是由多晶硅制作，而多晶硅电池片的先道工序一铸锭的成本占总成本的200/『25%，因此控制其成本显得尤为重要，大规格的高效多晶锭就是解决这个问题最有效的方法。现在市场主流的单锭重量在500KG?800KG之间，可切数量为5x5、6x6 (行业俗称G5、G6)，采用4面或5面石墨加热器加热，通过提升隔热笼或降隔热底板方式来冷却，存在硅锭越大，热场控制越难，等温线越分布不平均，电池片转化效率不高等问题。因此，为解决上述技术问题，确有必要提供一种新型多晶硅侧分层加热装置，以克服现有技术中的所述缺陷。【
技术实现思路
】为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种能耗低，热场设计合理，适用于大尺寸高品质硅锭生产的新型多晶硅侧分层加热装置。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为:一种新型多晶硅侧分层加热装置，其包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。本技术的新型多晶硅侧分层加热装置进一步设置为:所述上铜电极和下铜电极内内置有冷却水管。本技术的新型多晶硅侧分层加热装置进一步设置为:所述顶加热器和侧上加热器采用一组电源供电；所述侧下加热器采用另一组电源供电；所述底加热器采用再一组电源供电。本技术的新型多晶硅侧分层加热装置进一步设置为:所述顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器均采用石墨R6500制作。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果:1.产量大，单锭产量可以达到1200kg，(现主流娃锭重量800kg)；2.能耗省，每公斤耗电量在6度电/kg，(现主流耗电量每公斤在7度以上)；3.优化的热场设计，在原先六面加热系统的长晶技术基础上，优化侧面加热器控制，使整体热场等温线更加平直，晶体生长更加垂直，晶粒大小更加均匀。【【附图说明】】图1是本技术的新型多晶硅侧分层加热装置的结构示意图。图2是本技术的新型多晶硅侧分层加热装置安装于铸锭炉后的结构示意图。【【具体实施方式】】请参阅说明书附图1和附图2所示，本技术为一种新型多晶硅侧分层加热装置，其由上铜电极1、顶加热器6、侧上石墨连接块5、侧上加热器3、侧下加热器4、四周连接块7、底加热器8以及下铜电极9等几部分组成。其中，所述上铜电极I的底部连接固定有所述顶加热器6。所述侧上石墨连接块5上端和顶加热器6连接，底端和侧上加热器3连接。所述侧下加热器4位于侧上加热器3下方。所述侧上加热器3、侧下加热器4的两端分别采用所述四周连接块7固定。所述底加热器8位于侧下加热器4的下方，并和顶加热器6相对设置。所述下铜电极9连接至底加热器8上。于所述上铜电极I和下铜电极9主要起到传递低压大电流的作用，其内内置有冷却水管2，冷却水管2用于冷却电极的发热。进一步的，所述顶加热器6和侧上加热器3采用一组电源(未图示)供电；所述侧下加热器4采用另一组电源供电(未图示)；所述底加热器8采用再一组电源(未图示)供电。所述顶加热器6、侧上石墨连接块5、侧上加热器3、侧下加热器4、四周连接块7、底加热器8均采用石墨R6500制作。铸锭过程分为加热，熔化，长晶，退火，冷却5个阶段。在加热和熔化阶段，本技术的新型多晶硅侧分层加热装置六面加热，使用温度控制。进入长晶阶段，关闭底部加热器8工作功率，使用顶加热器6、侧上加热器3和侧下加热器4，顶加热器6和侧上加热器3使用温度控制，下加热器4使用功率控制，并随着长晶过程逐渐调低功率设定值。退火阶段，顶加热器6、侧上加热器3和侧下加热器4使用温度控制，底部加热器8使用功率控制。冷却阶段，关闭所有加热器。本技术的新型多晶硅侧分层加热装置的设计特点如下:1.采用分层式侧面加热器，在原有六面加热的基础上，对侧面加热器实现上下分层控制。2.对长晶工艺重新优化，保留提升隔热笼和抽拉板技术，通过在长晶过程中设置侧上加热器与侧下加热器之间的功率比，实现对晶体生长的控制。以上的【具体实施方式】仅为本创作的较佳实施例，并不用以限制本创作，凡在本创作的精神及原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本创作的保护范围之内。【主权项】1.一种新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于:包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。2.如权利要求1所述的新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于:所述上铜电极和下铜电极内内置有冷却水管。3.如权利要求1所述的新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于:所述顶加热器和侧上加热器采用一组电源供电；所述侧下加热器采用另一组电源供电；所述底加热器采用再一组电源供电。4.如权利要求1所述的新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于:所述顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器均采用石墨R6500制作。【专利摘要】本技术涉及一种新型多晶硅侧分层加热装置，其包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。本技术的新型多晶硅侧分层加热装置具有能耗低，热场设计合理，适用于大尺寸高品质硅锭生产等诸多优点。【IPC分类】C30B29/06, C30B28/06【公开号】CN204779921【申请号】CN201520379493【专利技术人】朱卫锋, 孙海亮, 朱一鸣, 来迪文, 史冰冰 【申请人】浙江精功科技股份有限公司【公开日】2015年11月18日【申请日】2015年6月4日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型多晶硅侧分层加热装置，其特征在于：包括上铜电极、顶加热器、侧上石墨连接块、侧上加热器、侧下加热器、四周连接块、底加热器以及下铜电极；其中，所述上铜电极的底部连接固定有所述顶加热器；所述侧上石墨连接块上端和顶加热器连接，底端和侧上加热器连接；所述侧下加热器位于侧上加热器下方；所述侧上加热器、侧下加热器的两端分别采用所述四周连接块固定；所述底加热器位于侧下加热器的下方，并和顶加热器相对设置；所述下铜电极连接至底加热器上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱卫锋，孙海亮，朱一鸣，来迪文，史冰冰，
申请(专利权)人：浙江精功科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33