本实用新型专利技术公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本实用新型专利技术具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种扩散栗，特别是涉及一种大口径高真空油扩散栗，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。
技术介绍
高真空油扩散栗属于射流真空栗的一种，它工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽作为工作介质。栗的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到栗出口排除的过程。它由栗体、栗芯组件、加热器、挡油装置等组件组成。栗体大都采用碳钢或不锈钢制造；栗芯组件是由喷嘴及导流管组成，栗芯组件是高真空油扩散栗的关键部件，材料主要有铝或不锈钢；加热器由金属外壳、高温耐热陶瓷盘及加热组件组成；排气口处装有挡油装置，防止油雾进入真空设备，降低了对真空设备的污染。油扩散栗除了在一般工业中有广泛应用外，特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如:真空冶金，真空热处理设备及真空镀膜的设备等。传统的高真空油扩散栗根据栗体的形状主要分为两种，为直腔和凸腔两种，其口径在100-1000毫米之间，由于加工难度及整体结构的限制，使得目前市面上没有口径大于1000毫米的更大口径的高真空油扩散栗。由于传统技术结构的高真空油扩散栗无法生产更大口径的真空栗，使其应用领域受到限制。传统的高真空油扩散栗的抽速小，原有抽气速率最大仅能达到32000L/S，极限真空低，极限真空度最高为7X10 5Pa,达到极限真空时间长，返油率高，耗电量大。
技术实现思路
本技术就是为了解决上述技术问题，而提供的一种大口径高真空油扩散栗，它具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。为了达到上述目的，本技术是通过下述技术方案试下的:高真空油扩散栗，它包括栗体、设置在栗体内的栗芯组件，其中加热器设置在栗体底部、栗体的排气口内设有挡油装置，栗体采用了凸腔结构，栗芯组件垂直安装在栗体内的中心油槽内，栗芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。上述栗体的凸腔的中间体直径尺寸是进气口径尺寸的1.25倍，栗体的内外焊缝处采用两面焊接结构，栗体进气口径处的法兰采用碳钢整体结构。上述的栗体外设有全水套冷却外套，冷却外套为水套式冷却外套或水冷却铜管式冷却外套。上述的水套式冷却外套的水套壁采用为不锈钢板，内部由圆钢缠绕栗体外部形成水流导向结构；水冷却铜管式冷却外套的结构为冷却铜管缠绕栗体外壁，冷却水在冷却铜管内流动，冷却铜管采用紫铜管，冷却铜管与栗体外壁接触处采用铜焊点焊，然后采用锡焊满焊结构。上述的栗芯组件的上部通过支撑架组件与栗体内壁支撑紧固，支撑架组件结构如下:支撑套焊接在位于中间的支撑环上，支撑杆通过螺纹与支撑套连接。上述的栗体的下部设有观察窗和测温电阻，其中观察窗由不锈钢制造，观察窗结构为是第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰并用不锈钢六角头螺、螺母、平垫圈连接紧固件，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰通过不锈钢六角头螺栓、螺母、平垫圈连接紧固。上述的栗芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为55-65度，喷射喷嘴的喷射角度为11-14度。上述的栗芯组件的具体结构为:一级导流管下部和一级导流管上部连接紧固；三级导流管和二级导流管通过三级支撑套连接在一起；二级导流管与一级导流管上部用二级支撑套安装连接；三级间隙垫安装在三级导流管上部；三级喷嘴帽放置在三级导流管上；二级间隙垫安装在二级导流管上；二级喷嘴帽与一级导流管上部接触连接；一级间隙垫放置在一级喷嘴座的中间位置；一级喷嘴帽通过螺栓与一级喷嘴座安装于一体，一级喷嘴座与一级导流管上部通过螺纹旋拧结构安装在一级导流管上。上述的加热器的结构如下:金属外壳的底部安装有万向脚轮，金属外壳内由下自上依此设置有炉底、耐热绝缘板、耐热陶瓷盘、镍铬合金加热丝。上述的挡油装置垂直安装在栗体的排气口处，挡油装置它是由位于中心的挡油杆及挡油杆上由下自上间隔、交错排列的半圆形挡板构成。由于采用上述技术方案，使得本技术具有如下优点和效果:为满足市场对大口径大抽速高真空油扩散栗的要求，本申请人设计出国内规格比较大型的KT1200-2000毫米大口径的较大型高真空油扩散栗，其特点在于比同行业中的栗抽气速率提高40%以上，设计抽速为60000-180000 L/s。本技术扩散栗的加热时间短为用户提高了工作效率，减少了抽气时间，缩短了生产工艺过程的操作时间，并降低了用电量成本。本技术大口径高真空油扩散栗结构紧凑，便于安装、操作、运输、维修。栗体的结构采用了凸腔形式，凸腔的中间体直径尺寸是口径尺寸的1.25倍，经过试验验证为了更好的得到较高的抽气速率指标，采用栗体的中间体直径尺寸是口径尺寸的1.25倍的设计能达到最佳的抽气速率。栗体采用碳钢制造，内外焊缝处两面焊接，经过了初抛光除锈、抛光、精抛光繁琐的抛光除锈工艺，使栗体内部达到了设计真空设备较高要求。外部采用了冷却效果较好的全水套式冷却结构，外部水套壁采用为不锈钢板避免了栗在长期使用工作中由于水质的问题导致栗水套的腐蚀问题，大大提高扩散栗的使用寿命，内部由圆钢缠绕栗体外部形成水流导向模式，最大限度的提供冷却水与栗体的接触面积和水流量，充分降低了栗体内表面的温度，减少栗工作液在栗体内部表面附着时间，避免栗液的二次蒸发，减少了返油量，降低了对真空室的污染提高了真空室产品的质量。栗体法兰采用优质碳钢整体加工制造结构，合理的工艺，精密的加工设备，保证了法兰密封表面所要求的粗糙度，对真空设备的密封起到了作用。在栗体中设计安装油位观察装置，由不锈钢制造，其作用便于使用和观察栗液的使用情况，易于向栗体内注油和清洗时放油，清晰的视镜可随时观察栗油使用情况，整体为不锈钢金属法兰密封，形式为金属刀口密封法兰，其特点在高温状态下，使用时间长，不易泄漏，安装维修方便等。安装了栗油测温装置，将栗液工作的温度通过油温数显表表示出来，便于观察栗的使用工作情况。栗芯组件结构采用的是整体式结构，利于在安装调试时的整体性，在结构中设有挡油板，避免工作油液在高温加热过程中所产生的爆炸、沸腾现象时，工作油液跟随高速的油蒸汽所携带走，降低了对真空室污染等。栗芯组件的材料采用了价格较高昂的镜面不锈钢板材料制造，保证了栗芯组件零部件表面的光洁度，使栗工作油液快速下滑，减少了栗油液在栗芯组件零件表面上的附着时间，大大降低了对真空室的栗液返油率的污染，对真空室中的产品当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其特征在于加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林森，林峰，周丹，
申请(专利权)人：辽宁真龙真空设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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