【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种新型的湿法刻蚀机台滚轮套筒，包括传动轴和套装在传动轴上的筒体，其特征在于：所述筒体为一对且相隔间距设置，该间距可调，所述筒体与传动轴之间具有间隙而使筒体活动安装在传动轴上，以便筒体触压在硅片上由硅片行进带动筒体转动从而实现对硅片的导向作用。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李奎，何大娟，郭辉，姜文明，
申请(专利权)人：晶澳扬州太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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