本发明专利技术提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能够应用于在线测量的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法。表面特性检查装置(1)具备交流电源(10)、交流桥电路(20)以及评价装置(30)，交流桥电路(20)由分配比(γ)可变的可变电阻(21)、基准检测器(22)以及检查检测器(23)构成。检查检测器(23)具备卷绕成与被检体(M)的表面特性检查区域相向的线圈(23b)，通过对线圈(23b)供给来自交流电源(10)的交流电力而在被检体(M)中激发涡电流。由此，能够检测被检体(M)的电磁特性，根据来自交流桥电路(10)的输出信号来检查表面特性。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种无损地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处 理材料的表面处理状态的好坏的表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查 方法。
技术介绍
在汽车部件等所使用的齿轮、轴等钢材料产品中，为了提高耐磨损性、提高疲劳强 度等，而进行了基于热处理、氮化处理等的表面硬化、喷丸处理等表面处理。 以往，通过抽样的破坏性检查对这些产品的表面处理后的残留应力、硬度等表面 特性进行了评价。因此，存在无法对所有产品直接进行检查这样的问题、由于是破坏性检查 因此检查过的产品不能再使用这样的问题等。 因此，开发能够无损地检查产品的表面特性的装置的需求高涨。作为这样的装置， 例如在专利文献1中公开了如下一种喷丸处理面的无损检查装置：针对配置于喷丸处理面 上方的具备线圈的检查电路，在使频率变化的同时输入交流信号，利用检查电路中的阻抗 的频率响应特性来检查检查对象上的残留应力的产生状态。 专利文献1 :日本特开2008-2973号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题 但是，由于表面处理而发生变化的磁导率、导电率等电磁测量的要素受到环境变 化的影响，因此在日本特开2008-2973号公报所记载的装置中存在如下问题：在测量作为 基准的检查体的环境与测量被检体的环境不同的情况下、尤其是在产生了温度变化的情况 下，容易产生测量误差。由此，难以用于在线测量。另外，由于是局部的测量，因此容易产生 涡电流集中所导致的发热的影响，如果想要检查表面处理部整体则需要非常多的时间。并 且，在使用接触式的检测器的情况下，必须针对每个被检体准备与其形状相应的检测器，无 法成为通用性高的装置。 因此，本专利技术的目的在于提供一种能够减小检查环境的温度变化的影响地高精度 地检查实施过喷丸处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材料的表面处理状态并且能 够应用于在线测量的。用于解决问题的方案 为了达成上述目的，使用以下技术方案，即，第1专利技术所记载的专利技术是一种用于检 查实施过表面处理的被检体的表面特性的表面特性检查装置，该表面特性检查装置具备： 交流桥电路；交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其根据来自上 述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，其中，上述交流桥电路具有：可 变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场 产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述 检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检 测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，上述评价装置根据在对上述交流桥电路供 给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基 准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。 根据第1专利技术所记载的专利技术，能够通过检查检测器的线圈在被检体中激发涡电 流，根据从交流桥电路输出的输出信号来对被检体的表面特性进行评价。由此，能够通过简 单的电路结构进行高精度的表面状态的检查。另外，由于采用在被检体中激发涡电流来检 查表面特性的方式，因此能够减小检查环境的温度变化的影响。在此，表面特性是指"从被 检体的最外表面到内表面的影响层为止的特性"。 在第2专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，即，在第1专利技术所记载的表面特 性检查装置中，以包围被检体的表面特性检查区域的方式卷绕上述线圈，通过向上述线圈 供给交流电力而在上述表面特性检查区域中激发涡电流。 根据第2专利技术所记载的专利技术，能够稳定地向被检体供给磁，并且能够一次性地检 查被检体的表面特性检查区域。另外，由于能够使涡电流分散来抑制被检体表面的发热，因 此能够减小被检体的温度变化，从而能够进行精度更高的检查。 在第3专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，S卩，在第2专利技术所记载的表面特 性检查装置中，上述表面特性检查装置是被嵌入于进行喷丸处理来作为上述表面处理的表 面处理装置中的表面特性检查装置，上述表面特性检查装置还具备移动机构，该移动机构 通过输送来使上述被检体或上述检查检测器移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器 的上述线圈的内侧的评价位置。 根据第3专利技术所记载的专利技术，表面特性检查装置通过被嵌入于进行喷丸处理来作 为表面处理的表面处理装置中并具备移动机构，能够迅速地检查喷丸处理后的被检体。另 外，由于能够将检查装置封装于表面处理装置（喷丸装置）来提供给顾客，因此能够提高表 面处理装置（喷丸装置）的价值，提高顾客满意度。 在第4专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，即，在第2专利技术所记载的表面特 性检查装置中，还具备：第一输送机构，其能够上下地驱动上述被检体，将上述被检体输送 到位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置以及该评价位置的上方侧和下方侧 中的一方或双方的位置；以及定位部，其对上述被检体在水平面内的位置进行定位，其中， 以由进行喷丸处理来作为上述表面处理的喷丸装置进行的表面处理工序中的在线或离线 的方式对被检体的表面特性进行评价。 根据第4专利技术所记载的专利技术，由于设置有进行被检体的定位的定位部和第一输送 机构，因此能够在评价表面特性时使被检体位于适当的位置，因此能够进行高精度的可靠 的检查。另外，能够通过该定位部和第一输送机构来实现自动化，从而能够进行在线的检 查。在此，"在线"的检查是指由机器人等自动地进行喷丸处理前后的被检体的输送作业 (被检体被搬入和搬出于喷丸装置、被搬入和搬出于评价位置）的检查，表示与喷丸处理生 产线的生产工时一致的检查。另外，"离线"的检查是指手动地进行喷丸处理前后的被检体 的输送作业的检查，表示与喷丸处理生产线的生产工时不一致的检查。不需要在喷丸装置 之前配置检查装置而在生产线外的场所进行检查也是离线检查。 在第5专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，S卩，在第3专利技术或第4专利技术所记 载的表面特性检查装置中，上述检查检测器构成为在具备齿轮部的被检体中激发涡电流。 例如，像齿轮那样的具备齿轮部的构件很难通过接触式的检测器检查整体，但是 在本专利技术的表面特性检查装置中，能够容易地进行检查，从而能够较佳地使用。 在第6专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，S卩，在第5专利技术所记载的表面特 性检查装置中，上述检查检测器还具备磁屏蔽件，该磁屏蔽件在上述线圈的外侧以包围被 检体的方式配置，屏蔽外部磁。 根据第6专利技术所记载的专利技术，由于能够通过磁屏蔽件屏蔽外部磁，因此能够提高 电磁特性的检测灵敏度，从而与表面处理状态对应的电磁特性的检测灵敏度得到提高，因 此能够更高精度地评价被检体的表面处理状态。 在第7专利技术所记载的专利技术中，使用以下技术方案，S卩，在第6专利技术所记载的表面特 性检查装置中，还具备温度测量单元，该温度测量单元检测上述被检体的表面的温度，在由 上述温度测量单元检测出的温度在规定范围内的情况下，上述评价装置判断上述被检体的 表面处理状态的好坏，在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围外的情况下，上述 评价装置不进行上述被检体的表面处理状态的好坏判断。 根据第7专利技术所记载的专利技术，由于能够在由温度测量单元检测出的温度影响检查 的精度那样的情况下不进行被检体的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种表面特性检查装置，用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性，该表面特性检查装置的特征在于，具备：交流桥电路；交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其根据来自上述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，其中，上述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，上述评价装置根据在对上述交流桥电路供给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：牧野良保，加贺秀明，
申请(专利权)人：新东工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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