用于光配向的光罩及光配向方法技术

本发明专利技术提供一种用于光配向的光罩及光配向方法，通过设置所述光罩中组成第一光罩图形的第一透光图案的末端对齐，组成第二光罩图形的第二透光图案的前端对齐，使得在光配向过程中，所述第一基板单元的末端和第二基板单元的前端不存在未曝光或者曝光不足的区域，解决了传统的光配向制程中因存在未曝光或者曝光不足的区域导致的显示器亮度不均匀等问题，同时有利于缩小基板上第一基板单元与第二基板单元之间的距离，从而提高基板利用率。

【技术实现步骤摘要】
用于光配向的光罩及光配向方法
本专利技术涉及液晶显示器的制作领域，尤其涉及一种用于光配向的光罩及光配向方法。
技术介绍
液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如液晶电视、移动电话、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。现有的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组。通常液晶面板由一彩色滤光片基板(ColorFilter，CF)、一薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)以及一填充于两基板间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成，其工作原理是通过在CF基板和TFT基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，控制光的输出量，将背光模组的光线折射出来产生画面。在液晶显示面板的制作过程中，对配向膜进行配向是一项重要工艺，通过配向工艺来实现液晶分子按照特定的方向与角度排列。在TFT-LCD生产中，有两种配向方法：摩擦配向和光配向。摩擦配向为物理方法，会产生静电和颗粒的污染。光配向是一种非接触式的配向技术，利用线偏振光透过光罩照射在对光敏感的高分子聚合物配向膜上，在配向膜表面形成一定倾斜角度的配向微结构达到配向效果。目前，用于光配向的光罩的尺寸一般小于市场上液晶电视的尺寸，因此在实际生产中，需要将多个光罩组合起来同时工作，相邻两个光罩的重叠(overlap)区域会照两次光。为了最大限度的提高基板的利用率，设计将两种或两种以上尺寸规格的多个基板单元排列在一整块大基板上，通常称为MMG产品，在该大基板上涂覆配向膜，在光罩上设置不同的透光图案，以对不同尺寸的基板单元进行配向。如图1所示，为一涂覆有配向膜的基板100，所述基板100上设有多个基板单元，所述多个基板单元包括在基板100的第一行内的多个第一基板单元101，及在第二行内的多个第二基板单元102，其中，第一行的第一基板单元101与第二行的第二基板单元102之间的间距D设计的越小，基板100的利用率越高。如图2所示，为一种现有的用于光配向的光罩200，其包括光罩本体210、及设于所述光罩本体210上分别用于对上述第一基板单元101与第二基板单元102进行曝光的第一光罩图形300与第二光罩图形400；所述第一光罩图形300与第二光罩图形400在所述光罩本体210上沿第一方向DX排列且间隔一定距离；所述第一光罩图形300包括位于中间的第一本体310及位于所述第一本体310两侧的第一交接部320；所述第一本体310与第一交接部320均由沿与第一方向DX相垂直的第二方向DY排列的数个第一透光图案311组成；其中，组成所述第一本体310的数个第一透光图案311高度一致且两端对齐，组成所述第一交接部320的数个第一透光图案311的高度为从靠近第一本体310一侧向远离第一本体310一侧依次递减，且所述第一交接部320的上下两侧对称设置；所述第二光罩图形400包括位于中间的第二本体410及位于所述第二本体410两侧的第二交接部420；所述第二本体410与第二交接部420均由沿与第一方向DX相垂直的第二方向DY排列的数个第二透光图案411组成；其中，组成所述第二本体410的数个第二透光图案411高度一致且两端对齐，组成所述第一交接部320的数个第二透光图案411的高度为从靠近第二本体410一侧向远离第二本体410一侧依次递减，且所述第二交接部420的上下两侧对称设置。如图3所示，通常将数个图1所示的光罩200进行交错组合，以用于对图1所示的基板100进行曝光，所述数个光罩200进行交错组合后，相邻两个光罩200中的第一光罩图形300的第一交接部320交错重叠，第二光罩图形400的第二交接部420交错重叠，得到组合光罩500。如图4-9所示，为采用图3所示的组合光罩500对图1所示的基板100进行光配向处理的示意图，该光配向方法包括以下步骤：步骤1、如图4所示，提供涂覆有配向膜的基板100、组合光罩500、及光源600；将所述组合光罩500中的第一光罩图形300设于光源600的下方，光源600发出的光线穿过第一透光图案311；然后将所述基板100与组合光罩500进行对位；步骤2、如图5所示，将所述基板100沿第一方向DX逐渐平移至所述第一基板单元101位于组合光罩500的第一光罩图形300下方，光源600发出的光线穿过所述第一光罩图形300中的第一透光图案311对所有第一基板单元101进行曝光；步骤3、如图6及图7所示，当基板100平移至第一基板单元101的末端超过所述第一光罩图形300的末端，且所述第二光罩图形400的前端超过所述第二基板单元102的前端时，继续平移所述涂覆有配向膜的基板100，同时平移所述组合光罩500；步骤4、如图8所示，当所述组合光罩500平移至组合光罩500中的第二光罩图形400位于光源600的下方时，停止移动组合光罩500，如图9所示，继续沿第一方向DX平移所述基板100，光线透过第二透光图案411对基板1上的第二基板单元102进行曝光，从而完成对基板100中的所有第一基板单元101与第二基板单元102的曝光。如图7所示，上述光配向方法，在进行第一光罩图形300与第二光罩图形400的切换时，往往会在所述第一基板单元11的末端于所述第一交接部320重叠处的后方、以及所述第二基板单元102的前端于所述第二交接部42重叠处的前方形成一小块未曝光或者曝光不足的区域150，从而使后续采用第一基板单元101与第二基板单元102生产的显示面板中产生mura(液晶显示器亮度不均匀的现象)等问题。基于上述曝光过程中出现的技术问题，现有的解决方案是将所述基板100中的第一基板单元101与第二基板单元102之间的距离D拉大，从而在切换第一光罩图形300与第二光罩图形400时，使得第一基板单元101的末端完全被第一光罩图形300遮盖，所述第二基板单元102的前端完全被第二光罩图形400遮盖，避免了在第一基板单元101和第二基板单元102中形成曝光或曝光不足的区域，从而消除了mura问题，但是这种解决方案又会使基板上第一基板单元101与第二基板单元102之间的距离拉大，造成不利于产品设计、及基板利用率低的问题。因此，亟需一种新的解决方案，以解决现有的光配向制程造成的基板单元的mura问题和基板利用率低的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于光配向的光罩，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题，并提高基板的利用率。本专利技术的另一目的在于提供一种光配向方法，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题，并提高基板的利用率。为实现上述目的，本专利技术提供了一种用于光配向的光罩，包括光罩本体、及设于所述光罩本体上的第一光罩图形与第二光罩图形；所述第一光罩图形与第二光罩图形在所述光罩本体上沿第一方向排列且间隔一定距离；所述第一光罩图形包括位于中间的第一本体及位于所述第一本体两侧的第一交接部；所述第一本体与第一交接部均由沿与第一方向相垂直的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光配向的光罩，其特征在于，包括光罩本体(21)、及设于所述光罩本体(21)上的第一光罩图形(3)与第二光罩图形(4)；所述第一光罩图形(3)与第二光罩图形(4)在所述光罩本体(2)上沿第一方向(DX)排列且间隔一定距离；所述第一光罩图形(3)包括位于中间的第一本体(31)及位于所述第一本体(31)两侧的第一交接部(32)；所述第一本体(31)与第一交接部(32)均由沿与第一方向(DX)相垂直的第二方向(DY)排列的数个第一透光图案(313)组成；其中，组成所述第一本体(31)的数个第一透光图案(313)高度一致；组成所述第一交接部(32)的数个第一透光图案(313)的高度为从靠近第一本体(31)一侧向远离第一本体(31)一侧依次递减；并且组成所述第一本体(31)与第一交接部(32)的所有第一透光图案(313)在靠近第二光罩图形(4)的一端对齐；所述第二光罩图形(4)包括位于中间的第二本体(41)及位于所述第二本体(41)两侧的第二交接部(42)；所述第二本体(41)与第二交接部(42)均由沿第二方向(DY)排列的数个第二透光图案(413)组成；其中，组成所述第二本体(41)的数个第二透光图案(413)高度一致；组成所述第二交接部(42)的数个第二透光图案(413)的高度为从靠近第二本体(41)一侧向远离第二本体(41)一侧依次递减；并且组成所述第二本体(41)与第二交接部(42)的所有第二透光图案(413)在靠近第一光罩图形(3)的一端对齐。...

【技术特征摘要】
1.一种用于光配向的光罩，其特征在于，包括光罩本体(21)、及设于所述光罩本体(21)上的第一光罩图形(3)与第二光罩图形(4)；所述第一光罩图形(3)与第二光罩图形(4)在所述光罩本体(2)上沿第一方向排列且间隔一定距离；所述第一光罩图形(3)包括位于中间的第一本体(31)及位于所述第一本体(31)两侧的第一交接部(32)；所述第一本体(31)与第一交接部(32)均由沿与第一方向相垂直的第二方向排列的数个第一透光图案(313)组成；其中，组成所述第一本体(31)的数个第一透光图案(313)高度一致；组成所述第一交接部(32)的数个第一透光图案(313)的高度为从靠近第一本体(31)一侧向远离第一本体(31)一侧呈线性递减；并且组成所述第一本体(31)与第一交接部(32)的所有第一透光图案(313)在靠近第二光罩图形(4)的一端对齐；所述第二光罩图形(4)包括位于中间的第二本体(41)及位于所述第二本体(41)两侧的第二交接部(42)；所述第二本体(41)与第二交接部(42)均由沿所述第二方向排列的数个第二透光图案(413)组成；其中，组成所述第二本体(41)的数个第二透光图案(413)高度一致；组成所述第二交接部(42)的数个第二透光图案(413)的高度为从靠近第二本体(41)一侧向远离第二本体(41)一侧呈线性递减；并且组成所述第二本体(41)与第二交接部(42)的所有第二透光图案(413)在靠近第一光罩图形(3)的一端对齐。2.如权利要求1所述的用于光配向的光罩，其特征在于，组成所述第一本体(31)与第一交接部(32)的所有第一透光图案(313)的宽度一致；组成所述第二本体(41)与第二交接部(42)的所有第二透光图案(413)的宽度一致。3.如权利要求1所述的用于光配向的光罩，其特征在于，所述第一透光图案(313)、第二透光图案(413)均为长方形。4.如权利要求1所述的用于光配向的光罩，其特征在于，所述第一透光图案(313)、第二透光图案(413)均通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成。5.一种光配向方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供涂覆有配向膜的基板(1)、多个用于光配向的光罩(2)、及光源(6)；所述基板(1)包括沿第一方向排列成两行的多个第一基板单元(11)、及多个第二基板单元(12)，所述多个第一基板单元(11)在基板(1)上的第一行内沿与第一方向相垂直的第二方向排列，所述多个第二基板单元(12)在基板(1)上的第二行内沿第二方向排列；所述用于光配向的光罩(2)包括光罩本体(21)、设于所述光罩本体(21)上分别用于对所述第一基板单元(11)与第二基板单元(12)进行曝光的第一光罩图形(3)、及第二光罩图形(4)；所述第一光罩图形(3)、及第二光罩图形(4)在所述光罩本体(21)上沿第一方向排列且间隔一定距离；所述第一光罩图形(3)包括位于中间的第一本体(31)及位于所述第一本体(31)两侧的第一交接部(32)；所述第一本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩丙，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44