光控制设备制造技术

光控制设备包括第一、第二光波导、具有第一输入侧信号电极的第一控制用信号电极、具有第二输入侧信号电极的第二控制用信号电极、信号电极间接地电极、第一接地电极以及第二接地电极。基板具有设置在第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极之间的第一槽部、设置在第一输入侧信号电极与第一接地电极之间的第二槽部、设置在第二输入侧信号电极与信号电极间接地电极之间的第三槽部以及设置在第二输入侧信号电极与第二接地电极之间的第四槽部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光控制设备。
技术介绍
在下述专利文献I中记载有应用于光调制器等的光波导元件。该文献所记载的光波导元件具有:多个光波导部分，在基板上彼此靠近且平行地配置；以及多个调制用电极，用于对该光波导部分各自施加基于独立的调制信号(控制信号)的电场。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009-53444号公报专利文献2:日本特开2010-237593号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在具有在基板上彼此靠近且平行地配置的多个光波导部分以及用于对该光波导部分各自施加独立的调制信号的多个调制用电极的光调制器等光控制设备中，由于多个光波导部分彼此靠近，因此多个调制用电极中的对该多个光波导部分施加电场的部分(作用电极部)间的分隔距离变短。因此，多个调制用电极中的各作用电极部间的串扰(在一个作用电极部内传递的调制信号的一部分转移到在另一个作用电极部内传递的调制信号的现象)成为问题。在上述专利文献I所记载的光波导元件中，通过在基板的主面中的各作用电极部间的区域形成槽，从而抑制多个调制用电极中的各作用电极部间的串扰。通常，在设置有多个调制用电极的光控制设备中，各调制用电极具有如上所述的作用电极部以及使从外部输入的调制信号传递到作用电极部的输入侧信号电极。并且，通常容易使多个调制用电极中的各输入侧信号电极间的距离比各作用电极部间的分隔距离大。因此，在本领域技术人员之间认识到各调制用电极间的串扰(在某调制用电极内传递的调制信号的一部分转移到在其他调制用电极内传递的调制信号的现象)是在分隔距离短的各作用电极部间产生的现象。并且，提出了例如上述专利文献I所记载的方法那样的抑制各作用电极部间的串扰的各种方法。但是，本专利技术人发现，各调制用电极间的串扰有时在比各作用电极部间的分隔距离分隔得更大的各输入侧信号电极间中也可能成为问题。在上述专利文献I中，对于在各输入侧信号电极间产生串扰的情况(各输入侧信号电极间的串扰即在某输入侧信号电极内传递的调制信号的一部分转移到在其他输入侧信号电极内传递的调制信号的现象)以及抑制各输入侧信号电极间的串扰的方法没有任何记载。在上述专利文献2中虽然公开了抑制具有配线折回的弯曲部的输入侧信号电极间的串扰的方法，但是在该方法中，需要使在光调制器中使用的基板的厚度极薄到30 μπι?100 μπι。另外，在具有多个控制信号电极的集成型光控制设备的情况下，通常在输入侧信号电极包括信号延迟电路或阻抗转换电路。在这种设备中，需要使各输入侧信号电极的长度变长，而且各输入侧信号电极包含弯曲部、曲折部、信号电极宽度的变更部、信号电极-接地电极间隔的变更部等结构变更部的情况较多。因此，本专利技术人发现，在这种设备中，由于控制信号(调制信号)的传播不稳定，因此特别容易引起各输入侧信号电极间的控制信号的串扰。本专利技术鉴于这种课题而完成，其目的在于，提供一种具有多个调制用电极的光控制设备，不需要使基板的厚度变薄就能够抑制各调制用电极的各输入侧信号电极间的串扰。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本专利技术的一方式的光控制设备，具有:基板；第一光波导及第二光波导，设置于基板并沿该基板的主面延伸；第一控制用信号电极，为了根据从外部供给的第一电信号使在第一光波导内传播的光的折射率变化而设置在基板的主面上，第一控制用信号电极具有第一作用电极部以及第一输入侧信号电极，第一作用电极部以能够对第一光波导施加电场的方式沿该第一光波导延伸，第一输入侧信号电极以将第一电信号传递到第一作用电极部的方式沿基板的主面延伸；第二控制用信号电极，为了根据从外部供给的第二电信号使在第二光波导内传播的光的折射率变化而设置在基板的主面上，第二控制用信号电极具有第二作用电极部以及第二输入侧信号电极，第二作用电极部以能够对第二光波导施加电场的方式沿该第二光波导延伸，第二输入侧信号电极以将第二电信号传递到第二作用电极部的方式沿基板的主面延伸；信号电极间接地电极，以在俯视视角中在第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极之间位于与第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的主面上；第一接地电极，以在俯视视角中在隔着第一输入侧信号电极与信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与该第一输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的主面上；以及第二接地电极，以在俯视视角中在隔着第二输入侧信号电极与信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与该第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的所述主面上，基板具有在俯视视角中设置在第一输入侧信号电极与信号电极间接地电极之间的第一槽部、设置在第一输入侧信号电极与第一接地电极之间的第二槽部、设置在第二输入侧信号电极与信号电极间接地电极之间的第三槽部以及设置在第二输入侧信号电极与第二接地电极之间的第四槽部。在本专利技术的一方式的光控制设备中，由于基板具有第一槽部和第二槽部，因此与基板不具有这些槽部的情况相比，能够缩小第一接地电极的一端与信号电极间接地电极的一端的沿着第一方向的分隔距离。在该分隔距离较小的情况下，还能够缩小第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的分隔距离。由此，由于能够减少第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散，因此能够使从第一输入侧信号电极朝向第一接地电极和信号电极间接地电极的电力线更有效地终止。即，即使第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极间的分隔距离不大，由于基板具有第一槽部和第二槽部，从而也更有效地终止从第一输入侧信号电极产生的电力线，因此即使不使基板的厚度变薄，也能够减少在第一输入侧信号电极内传递的控制信号对在第二输入侧信号电极内传递的控制信号产生串扰的情况。同样地，由于基板具有第三槽部和第四槽部，因此与基板不具有这些槽部的情况相比，能够缩小第二接地电极的一端与信号电极间接地电极的一端的沿着第一方向的分隔距离。在该分隔距离较小的情况下，还能够缩小第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的分隔距离。由此，由于能够减少第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散，因此能够使从第二输入侧信号电极朝向第二接地电极和信号电极间接地电极的电力线更有效地终止。即，即使第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极间的分隔距离不大，由于基板具有第三槽部和第四槽部，从而也更有效地终止从第二输入侧信号电极产生的电力线，因此即使不使基板的厚度变薄，也能够减少在第二输入侧信号电极内传递的控制信号对在第一输入侧信号电极内传递的控制信号产生串扰的情况。其结果是，根据本专利技术的一方式的光控制设备，能够抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。进而，在本专利技术的一方式的光控制设备中，也可以是，所述第一槽部、所述第二槽部、所述第三槽部以及所述第四槽部的深度为2 μπι以上。由此，特别是能够抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。进而，在本专利技术的一方式的光控制设备中，可以是，信号电极间接地电极具有主体部、设置成比该主体部靠所述第一槽部侧且比该主体部薄的第一薄壁部和/或设置成比该主体部靠第三槽部侧且比该主体部薄的第二薄壁部，和/或，第一接地电极具有主体部以及设置成比该主体部靠所述第二槽部侧且比该主体部薄的薄壁部，和/或，第二接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光控制设备，具有：基板；第一光波导及第二光波导，设置于所述基板并沿该基板的主面延伸；第一控制用信号电极，为了根据从外部供给的第一电信号使在所述第一光波导内传播的光的折射率变化而设置在所述基板的所述主面上，所述第一控制用信号电极具有第一作用电极部以及第一输入侧信号电极，所述第一作用电极部以能够对所述第一光波导施加电场的方式沿该第一光波导延伸，所述第一输入侧信号电极以将所述第一电信号传递到所述第一作用电极部的方式沿所述基板的所述主面延伸；第二控制用信号电极，为了根据从外部供给的第二电信号使在所述第二光波导内传播的光的折射率变化而设置在所述基板的所述主面上，所述第二控制用信号电极具有第二作用电极部以及第二输入侧信号电极，所述第二作用电极部以能够对所述第二光波导施加电场的方式沿该第二光波导延伸，所述第二输入侧信号电极以将所述第二电信号传递到所述第二作用电极部的方式沿所述基板的所述主面延伸；信号电极间接地电极，以在俯视视角中在所述第一输入侧信号电极与所述第二输入侧信号电极之间位于与所述第一输入侧信号电极和所述第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在所述基板的所述主面上；第一接地电极，以在俯视视角中在隔着所述第一输入侧信号电极与所述信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与所述第一输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在所述基板的所述主面上；以及第二接地电极，以在俯视视角中在隔着所述第二输入侧信号电极与所述信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与所述第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在所述基板的所述主面上，所述基板具有在俯视视角中设置在所述第一输入侧信号电极与所述信号电极间接地电极之间的第一槽部、设置在所述第一输入侧信号电极与所述第一接地电极之间的第二槽部、设置在所述第二输入侧信号电极与所述信号电极间接地电极之间的第三槽部以及设置在所述第二输入侧信号电极与所述第二接地电极之间的第四槽部。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：片冈利夫，本谷将之，市川润一郎，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP