本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机电致发光显示装置。感光性树脂组合物可维持高灵敏度，并使耐化学品性变得良好，且进一步降低相对介电常数。该感光性树脂组合物包括：(A)含有满足(1)及(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有构成单元(a1)的聚合物及具有构成单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；在(A)聚合物成分中，包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元，或包含至少一种含有构成单元(a4)、且不含构成单元(a1)及构成单元(a2)的聚合物。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法、液晶显示装置及有机电致发光显示装置
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物(以下，有时简称为“本专利技术的组合物”)。另外，本专利技术涉及一种使用上述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、使感光性组合物硬化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各种图像显示装置。更详细而言，本专利技术涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光(OrganicElectroluminescence，有机EL)显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等的电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物、及使用其的硬化膜的制造方法。
技术介绍
在薄膜晶体管(以下，称为“TFT(ThinFilmTransistor)”)型液晶显示元件或磁头元件、集成电路元件、固体摄影元件等电子零件中，通常为了使配置成层状的配线之间绝缘而设置有层间绝缘膜。作为形成层间绝缘膜的材料，优选为用以获得所需的图案形状的步骤数少、且具有充分的平坦性的材料，因此广泛使用感光性树脂组合物(例如参照专利文献1～专利文献4)。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2011-221494号公报[专利文献2]日本专利特开2005-220360号公报[专利文献3]日本专利特开2004-46206号公报[专利文献4]日本专利特开2004-46098号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，要求一种可维持高灵敏度，并使耐化学品性变得良好，且进一步降低相对介电常数的感光性树脂组合物。本申请专利技术人进行研究的结果，认为在组合物中含有酸基由酸分解性基保护的基与交联性基的感光性树脂组合物中，为了使灵敏度比之前高，而增加感光性树脂组合物中所调配的酸分解性基或酸基的比例，但可知在该情况下耐化学品性会下降。另外，可知若为了弥补耐化学品性而提高交联基的比例，则相对介电常数会变得过高。本申请专利技术的目的在于解决上述课题，其目的在于提供一种可维持高灵敏度，并使耐化学品性变得良好，且进一步降低相对介电常数的感光性树脂组合物。解决问题的技术手段本申请专利技术人基于上述状况而进行研究的结果，发现通过向感光性树脂组合物中调配含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、含有交联性基的构成单元及含有内酯结构的构成单元，而可使耐化学品性变得良好、且也降低相对介电常数。进而，发现也可维持高灵敏度，从而完成了本专利技术。其理由虽然是推断，但可认为通过向感光性树脂组合物中调配含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元及含有交联性基的构成单元，并且调配含有内酯结构的构成单元，可一面维持高灵敏度一面抑制由具有显影性的基所引起的耐化学品性的下降，其结果，可使耐化学品性变得良好、且也进一步降低相对介电常数。具体而言，利用以下的解决手段<1>，优选为利用<2>～<15>来解决上述课题。<1>一种感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，或(2)具有上述构成单元(a1)的聚合物及具有上述构成单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；在上述(A)聚合物成分中，包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元，或包含至少一种含有上述构成单元(a4)、且不含上述构成单元(a1)及上述构成单元(a2)的聚合物。<2>根据<1>所述的感光性树脂组合物，其中上述含有内酯结构的构成单元(a4)含有由下述通式(1)所表示的基。通式(1)[化1](通式(1)中，RA1表示取代基，n1个RA1分别独立，可相同，也可不同。Z1表示含有-O-C(＝O)-的单环结构或多环结构。n1表示0以上的整数)<3>根据<1>或<2>所述的感光性树脂组合物，其中上述含有内酯结构的构成单元(a4)由以下的通式(2)表示。通式(2)[化2](通式(2)中，RX1表示氢原子或烷基。RA2表示取代基，n2个RA2分别独立，可相同，也可不同。A1表示单键或二价的连结基。Z2表示含有由-O-C(＝O)-所表示的基的单环结构或多环结构。n2表示0以上的整数)<4>根据<1>至<3>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述含有内酯结构的构成单元(a4)由以下的通式(3)表示。通式(3)[化3](通式(3)中，RX2表示氢原子或烷基。RA3表示取代基，n3个RA3分别独立，可相同，也可不同。A2表示单键或二价的连结基。Z3表示含有由-O-C(＝O)-所表示的基的单环结构或多环结构。n3表示0以上的整数。X1表示氧原子或-NR″-。R″表示氢原子或烷基)<5>根据<1>至<4>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述内酯结构为形成5元环或6元环的内酯结构。<6>根据<1>至<5>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述构成单元(a1)为含有羧基由缩醛的形式保护的基的构成单元。<7>根据<1>至<6>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述构成单元(a1)为由下述通式(1-11)所表示的构成单元。通式(1-11)[化4](通式(1-11)中，R1及R2分别表示氢原子、烷基或芳基，至少R1及R2的任一种为烷基或芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2与R3可连结而形成环状醚，R4表示氢原子或甲基，X表示单键或亚芳基)<8>根据<1>至<7>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述交联性基为选自环氧基、氧杂环丁烷基及-NH-CH2-OR(R为氢原子或碳数为1～20的烷基)中的至少一种。<9>根据<1>至<8>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述(B)光酸产生剂为肟磺酸酯化合物或鎓盐化合物。<10>根据<1>至<9>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述含有内酯结构的构成单元(a4)由以下的通式(4)～通式(7)表示。通式(4)通式(5)通式(6)通式(7)[化5]<11>根据<1>至<10>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中上述含有内酯结构的构成单元(a4)由以下的通式(4)表示。通式(4)[化6]<12>一种硬化膜的制造方法，其包括：(1)将根据<1>至<11>中任一项本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一种的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，或(2)具有所述构成单元(a1)的聚合物及具有所述构成单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；在所述(A)聚合物成分中，包含至少一种(a4)含有内酯结构的构成单元，或包含至少一种(3)含有所述构成单元(a4)、且不含所述构成单元(a1)及所述构成单元(a2)的聚合物。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.03.27 JP 2013-0668271.一种碱显影用正型感光性树脂组合物，其为层间绝缘膜形成用，其包括：含有满足下述1及下述2的至少一种的聚合物的聚合物成分A，
1：具有含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元a1、及含有交联性基的构成单元a2的聚合物，2：具有所述构成单元a1的聚合物及具有所述构成单元a2的聚合物；
光酸产生剂B；以及
溶剂C；
在所述聚合物成分A中，包含至少一种含有内酯结构的构成单元a4，或
包含至少一种含有所述构成单元a4、且不含所述构成单元a1及所述构成单元a2的聚合物，
所述构成单元a1为含有羧基由缩醛的形式保护的基的由下述通式1-11所表示的构成单元，
通式1-11
通式1-11中，R1及R2分别表示氢原子、烷基或芳基，至少R1及R2的任一种为烷基或芳基，R3表示烷基或芳基，R1或R2与R3能够连结而形成环状醚，R4表示氢原子或甲基，X表示单键或亚芳基，
所述含有内酯结构的构成单元a4由以下的通式4及通式5表示，
2.根据权利要求1所述的碱显影用正型感光性树脂组合物，...
【专利技术属性】
技术研发人员：山田悟，松田知树，霜山达也，山﨑健太，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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