用于确定流体供应容器的终点的装置和方法，其中当建立流体流动时采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道。终点确定可用于终止来自所述流体供应容器的流体供应和/或从一个流体耗尽供应容器切换至一个新容器，以继续或更新流体供应操作。所述装置和方法适用于与例如离子植入器的流体利用装置一同使用。
【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 本申请是于2013年1月18日进入中国国家阶段的国际申请日为2011年6月18 日、国家申请号为201180036342. 3 (国际申请号为PCT/US2011/041013)、名称为"用于毛细 管辅助的流动控制的终点确定"的专利技术专利申请的分案申请。 相关申请的交叉引用 根据美国法典第35篇第119节，在此要求2010年6月18日提交的第61/356, 451 号美国临时专利申请和2010年7月21日提交的第61/366, 523号美国临时专利申请的优 先权权益。出于所有目的，第61/356, 451号美国临时专利申请和第61/366, 523号美国临 时专利申请的公开内容在此分别以参引方式全部纳入本文。
本公开内容涉及在例如将半导体制造流体从该流体的源输送至半导体制造工具 的过程中，用于毛细管辅助的流动控制的终点确定。
技术介绍
在流体供应容器的使用中，可以在装置或操作中利用供应的流体，在该装置或操 作中，操作的连续性对于该装置或操作的经济特征是至关重要的。 作为一个实例，可向半导体制造设施的离子植入工具供应掺杂剂流体。在工具操 作期间，掺杂剂流体供应的任何突然的意外耗竭都会迫使植入工具停止运转，且接着需要 在制造过程中丢弃或再制晶圆，以及由于安装新的流体供应容器来替代流体耗尽的容器而 造成操作延迟。 这样的流体供应的突然意外耗竭以及伴随的操作打乱对加工系统造成严重的经 济损失。该问题与如下的流体供给容器的使用相关，该流体供给容器利用对供应的流体进 行的毛细管辅助的流动控制。
技术实现思路
本公开内容涉及用于毛细管辅助的流动控制的终点确定。 在一个方面，本公开内容涉及一种确定流体供应过程的终点的方法，该方法包 括： 选择性地建立来自一个流体供应容器的流体流动； 当建立流体流动时，采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控 制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道；以及 监测所述流体供应容器的或从该流体供应容器分配的流体的至少一个特性，以确 定餘占 . 其中所述静态流动限制设备和所述选择性可致动阀元件沿着所述流动通道布置。 在另一方面，本公开内容涉及一种用于流体供应容器的终点监测和控制装置，在 该装置中，当建立流体流动时，采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控 制通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道的流体流动。所述终点监测和控制 装置包括一个监测单元和一个CPU，该监测单元适于监测所述流体供应容器的或从流体供 应容器供应的流体的至少一个特性，并产生一个输出信号，该CPU以接收输出信号的关系 操作性地联接至该监测单元。该CPU具有存储在其中的终点条件信息，并响应于从所述监 测单元接收到指示终点条件的输出信号而产生一个控制信号，该控制信号用于终止来自所 述流体供应容器的流体供应。 本公开内容的又一方面涉及一种流体利用装置，该流体利用装置适于执行上文概 述的本公开内容的方法。 本公开内容的再一方面涉及一种如上文概述的方法，其中所述方法由一个流体利 用装置执行。 在另一方面，本公开内容涉及上述的终点监测和控制装置，该终点监测和控制装 置与至少一个流体供应容器一起操作性布置。 本专利技术的另一方面涉及一个流体供应系统，包括：流体供应容器，所述容器具有用 于容纳流体的内部容积；在该内部容积中的第一流动回路，该第一流动回路被布置以在从 容器供应流体期间控制流体的流动，所述第一流动回路包括静态流动限制设备和选择性可 致动阀元件；以及第二流动回路，该第二流动回路与所述容器联接以从所述容器中排出流 体，其中所述系统包括下列元件中的至少一个： ( i )所述容器的内部容积中的缓冲贮存器，该缓冲贮存器与所述第一流动回路 联接，被布置以容纳流体，用于对流体释放至所述第一流动回路进行缓冲； ( ii )所述容器外部的缓冲贮存器，该缓冲贮存器与所述第二流动回路联接，被布 置以容纳流体，用于对流体释放至所述第二流动回路进行缓冲； (iii)压力调节器，被布置以调节所述第二流动回路中的流体压力； (iv )压力传感器，被布置以监测所述第二流动回路中的流体压力； ( V )质量流控制器，被布置以控制所述第二流动回路中的流体的质量流； 其中当所述系统中包括元件（ii )-( V )中的任何一个或多个时，该系统可进一 步可选地包括一个CPU，该CPU被可编程地布置以接收来自一个设备的至少一个监测信号， 该设备监测所述流体供应容器或从该流体供应容器分配的流体的至少一个特性，以确定来 自所述流体供应容器的流体供应的终点。 从本公开内容和所附权利要求可更充分地明了本专利技术的其他方面、特征和实施方 案。【附图说明】 图1是针对容纳三氟化硼气体的模拟流体供应容器，输送压力（以托为单位）和 流动速率（以sccm为单位）各自随时间（以小时为单位）变化的曲线，其中在供应容器的 内部容积中、在该内部容积中的真空致动阀的上游具有毛细管限制设备，该供应容器具有 联接至该供应容器颈部部分的阀头，该阀头用于打开或闭合该阀头中的阀元件，以相应地 使流体流动或者终止流体流动。 图2是一个示意性的流体供应和利用系统的示意图，在该系统中，本公开内容的 监测和控制布置可有利地被实施用于流体供应容器的终点确定和操作管理。 图3是根据另一实施方案的流体供应和利用系统的示意图，其中可使用质量流控 制器的比例-积分-微分（PID)输出来进行终点确定，且通过缓冲贮存器来增加流体供应， 从而适应终点条件下突发的压力降低。 图4是对于利用毛细管辅助的流动控制的一个示意性的流体供应容器，输送压力 随着时间变化的曲线图，其中该曲线图示出了当容器达到终点条件时正在供应的流体的输 送压力的逐渐增加和突发降低。【具体实施方式】 本公开内容涉及用于毛细管辅助的流动控制的终点确定，例如可用于将流体供应 至诸如离子植入器的半导体制造工具。 可使用如下方法执行终点确定，该方法包括：选择性建立来自流体供应容器的流 体流动；当建立流体流动时，利用一个静态流动限制设备（例如毛细管设备）和一个选择性 可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道；以及 监测所述流体供应容器或从该流体供应容器分配的流体的一个特性，以确定终点，其中所 述静态流动限制设备和所述选择性可致动阀元件沿着所述流动通道布置。 所述静态流动限制设备可包括一个或多个毛细管类型通道或节流通道。例如，流 动限制设备可包括沿着流动通道的一部分平行布置的两个或更多个毛细管类型通道或节 流通道。 所述静态流动限制设备可按照任何合适的方式和/或配置被定位在所述供应容 器的内部容积中。所述静态流动限制设备可例如定位在流动通道上的选择性可致动阀元件 之前或之后。在一个示例性布置中，所述静态流动限制设备被定位在所述选择性可致动阀 元件和流动通道的入口之间。在另一个示例性布置中，所述选择性可致动阀元件被定位在 所述静态流动限制设备和流动通道的入口之间。 所述选择性可致动阀元件可以是任何合适的类型。例如，所述选择性可致动阀元 件可包括真空致动阀。在一个具体实施方案中，所述选择性可致动阀元件包括提升式阀。 包含在流体供应容器中以及从流体供应容器供应的流体可以是任何本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于流体供应容器的终点监测和控制装置，在该流体供应容器中设置有相互平行布置的一个阵列的毛细管，在容器的流体流动路径中包括真空致动分配止回阀和排出导管，所述容器包括阀头，排出导管向所述阀头输送流体，所述阀头包含一个在完全打开和完全闭合阀的位置之间可转移的阀元件和一个用于从所述容器分配流体的排出口，使得容器分配操作中的流体通过容器中的流动路径流经所述阵列的毛细管、真空致动分配止回阀和排出导管流至阀头、流至排出口，该终点监测和控制装置包括：一个监测单元，该监测单元适于监测所述流体供应容器的至少一个特性或从该流体供应容器供应的流体的至少一个特性，并产生一个关于这种特性的输出信号，以及一个处理器单元，该处理器单元布置为接收监测单元的输出信号，并在流体供应容器或从该流体供应容器供应的流体的终点条件下，响应地产生一个指示终点条件的输出控制信号。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：J·D·斯威尼，A·M·阿维拉，M·J·沃德延斯基，J·R·德普雷斯，T·H·鲍姆，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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