LED光源曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种LED光源曝光装置，包括：站台，用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，包括加装于底板并产生用于对感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，配置为使从光源部产生的光透过；平行光反射镜，使通过积分透镜的光转换成平行光，朝放置在站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，对加装于底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。因此，底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑，可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手，使光源部的光轴倾斜，使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜，从而使LED光源曝光装置的性能提高。

【技术实现步骤摘要】
LED光源曝光装置
本专利技术涉及LED光源曝光装置，更详细而言，涉及一种包括能够调节光源部的光轴的光轴调整器的LED光源曝光装置。另外，本专利技术涉及一种具备向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气的冷气供应单元。
技术介绍
以往曝光工序中使用的普通曝光装置以利用在注入了诸如水银的放电气体的放电灯中生成的紫外线频带的光对感光物质进行曝光的方式构成。这种放电灯一般寿命较短，在1,000小时左右，不仅因更换而造成的消耗性费用增加，而且每当更换时，存在需要长时间停顿的问题。特别是在停顿期间，需要对放电灯的冷却时间、更换作业时间及诸如更换的新放电灯的位置调整等设置时间等，因而每当更换放电灯时，对生产带来相当的麻烦。另外，放电灯开启/关闭时，直至以正常状态运转需要相当长的时间，而且，频繁开启/关闭操作时，因热应力而会裂纹，所以，一般始终保持开启状态使用。因此，存在产生不必要的电力浪费等问题。而且，这种放电灯以其射出光向所有方向放射的形态构成，因而应通过椭圆镜对这种射出光进行集光，存在光源效率下降等问题。现有技术文献专利文献专利文献1：KRB10-1104367(2012.01.03)
技术实现思路
本专利技术旨在解决如上所述的问题，其目的在于提供一种LED光源曝光装置，包括能够调节LED灯的光轴的光轴调整器，使得LED灯照射的光线准确地入射积分透镜。本专利技术的另一目的在于提供一种LED光源曝光装置，具备向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气而使LED灯迅速高效散热并提高LED灯预期寿命及性能的冷气供应单元。旨在达成所述目的的本专利技术技术思想借助于以下LED光源曝光装置达成，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。根据本专利技术的另一方面，借助于以下LED光源曝光装置达成，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及冷气供应单元，其为了使因所述光源部的LED灯运转而产生热冷却，向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气。根据本专利技术的LED光源曝光装置，底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑，可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手，使光源部的光轴倾斜，使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜，从而使LED光源曝光装置的性能提高。另外，根据本专利技术的LED光源曝光装置，因LED灯运转而产生的热借助于热管和散热针及散热扇而冷却，此时，借助于涡流管喷射的冷气，散热针和散热扇更迅速地冷却，使LED灯的冷却效率提高，不仅使LED灯的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提高。附图说明图1是概略地显示本专利技术一实施例的LED光源曝光装置的构成的概念图；图2是显示本专利技术一实施例的LED光源曝光装置中加装于底板的光源部的立体图；图3是从前面观察本专利技术一实施例的LED光源曝光装置中底板的视图；图4是图3的A-A线的剖面图；图5是图4的B部放大图；图6是显示本专利技术的LED光源曝光装置中光轴调整器的另一实施例的放大图；图7是概略地显示本专利技术另一实施例的LED光源曝光装置构成的概念图；图8是摘取本专利技术另一实施例的LED光源曝光装置中光源部和涡流管的立体图；图9是显示本专利技术另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的立体图；图10是显示本专利技术另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的侧剖面图；图11是显示本专利技术另一实施例的LED光源曝光装置中涡流管安装的平剖面图；图12是显示本专利技术又一实施例的LED光源曝光装置的概略图；图13是本专利技术又一实施例的LED光源曝光装置的剖面图。其中，附图标记说明如下：100站台200光源部210底板211光轴孔220LED灯230镜筒231凹陷部231a凹陷部240集光透镜250光轴调整器251贯通杆251a旋转把手252支撑架252a头部253弹性构件253a安置槽255热管260驱动马达265散热针270散热扇280冷却控制部500冷气供应单元510涡流管具体实施方式本说明书及权利要求书中使用的术语或词语并非限定于通常的或字典的意义进行解释，基于专利技术人为了以最佳方法解决自身的专利技术而可以适当地定义术语的概念的原则，应解释为符合本专利技术技术思想的意义和概念。下面参照附图，详细说明本专利技术的优选实施例。图1是概略地显示本专利技术一实施例的LED光源曝光装置的构成的概念图。如果参照附图进行说明，本专利技术包括光轴调整器的LED光源曝光装置包括：站台100，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板P；底板210，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部200，其包括加装于底板210并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯220；积分透镜300，其配置为使从光源部200产生的光透过；平行光反射镜400，其使通过积分透镜300的光转换成平行光，朝放置在站台100的被处理基板P反射；以及光轴调整器250，其对加装于底板210另一侧面的各个光源部200进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部200的光轴倾斜。如果进一步说明，站台100以平板形形成，以便放置用于曝光工序的被处理基板P，放置在站台100上的被处理基板P以上面涂布有感光物质P1的形态构成。另外，底板210形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211。在这种底板210的另一侧面加装有光源部200，使得通过光轴孔211从LED灯220照射的光线入射到积分透镜300。如果底板210的一侧面如此形成凹陷的曲面，那么当光源部200加装于底板210的另一侧面时，各个光源部200的光轴朝向既定地点，从而进一步提高对从LED灯220分别产生的光线的集中度。另一方面，在底板210的另一侧面加装的光源部200包括产生用于使被处理基板P的感光物质P1曝光的曝光用光的多个LED灯220和镜筒230、集光透镜240的构成。根据图2至图4对此进行说明。图2是显示本专利技术一实施例的LED光源曝光装置中加装于底板的光源部的立体图，图3是从前面观察本专利技术一实施例的LED光源曝光装置中底板的视图，图4是图3的A-A线的剖面图。如果参照附图进行说明，LED灯220一般以在LED基板上贴装LED芯片的形态形成，也可以以在一个LED基板上贴装多个LED芯片222的形态构成，但在本专利技术中，是以在一个LED基板上贴装一个LED芯片的形态构成，以使LED灯220可以个别地运转。另外，LED灯220可以使用能够产生紫外线区域的光的UVLED灯220。这种LED灯220配置于加装有集光透镜240的镜筒230的另一侧，加装于底板210的另一侧面，使得镜筒230本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LED光源曝光装置，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。

【技术特征摘要】
2014.04.17 KR 10-2014-0046093;2014.04.17 KR 10-2011.一种LED光源曝光装置，其特征在于，包括：站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括：镜筒，其加装于所述底板的另一侧面；以及多个LED灯，其加装于所述镜筒的后方并产生用于对所述感光物质进行曝光的光；积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过；平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的所述被处理基板反射；以及光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得所述光源部的光轴倾斜，所述光轴调整器包括：贯通杆，其贯通所述底板和所述镜筒，向所述底板的一侧面形成有旋转把手；支撑架，其与所述贯通杆具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑所述镜筒另一侧面的头部；以及弹性构件，其插入所述贯通杆，向所述底板与所述镜筒之间提供弹性反弹力。2.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，所述光源部更包括：集光透镜，其加装于所述镜筒的内部，使所述LED灯的光集光到所述积分透镜。3.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，在所述底板的另一侧面和所述镜筒的一侧面形成有放置所述弹性构件的安置槽。4.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，与所述镜筒另一侧面接触的所述支撑架的所述头部具有球形形态。5.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，所述光轴调整器以在所述底板上形成的所述光轴孔为中心，呈圆形排列。6.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于，所述光轴调整器与旋转控制的驱动马达连接，随着所述驱动马达的运转，所述旋转把手或所述支撑架进行旋转。7.一种LED光源曝光装置，其特征在于，站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，其包括：镜筒，其加装于所述底板的另一侧面；以及多个LED灯，其加装于所述镜筒的后方并产生用于对所述感光物质进行曝...

【专利技术属性】
技术研发人员：金基洙，
申请(专利权)人：株式会社菲尔光学，
类型：发明
国别省市：韩国;KR