防尘薄膜组件收纳容器制造技术

提供一种收纳至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的低成本，轻量且高刚性的防尘薄膜组件收纳容器。本发明专利技术中，防尘薄膜组件收纳容器，包括，载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述该肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件。所述加强件，优选其形状为平板状，或具有大略C字型或大略L字型的截面形状。平板状的场合，优选以覆盖肋部的凹部的方式接续，在为具有大略C字型或略L字型的截面形状的场合，优选加强件全部或其一部分在肋部中嵌合而接续。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体装置、印刷基板或液晶显示板等的制造中作为除尘器使用的至少一个边长为500mm以上的光刻用防尘薄膜组件的收纳、保管、运输所用的防尘薄膜组件收纳容器。
技术介绍
LS1、超LSI等的半导体制造或液晶显不板等的制造中，要对半导体晶片或显不板用玻璃板进行光照射，以进行图案制作，如在此时所用的掩模或中间掩模(以下统称掩模)上附着灰尘的话，该灰尘就会对光进行吸收，或使光弯曲，这样转印的图案就会变形，尖端部会变得不齐，此外基底就会变黑脏污等，从而使尺寸，品质，外观等受损。由此，这些操作通常在无尘室中进行，但是，即使如此也难以总是保持掩模的经常的清洁，从而，要先在掩模表面贴附作为防尘器的防尘薄膜组件，然后再进行曝光。该场合下，异物不会直接附着于掩模的表面，而是在防尘薄膜组件上附着，这样在光刻时只要将焦点对准掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。该防尘薄膜组件一般是将透光良好的硝酸纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等形成的透明的防尘薄膜，贴附在用铝、不锈钢等形成的防尘薄膜组件框架的上端面上而构成。另夕卜，该防尘薄膜组件框架的下端面，涂布为了安装掩模的聚丁烯树脂、聚酢酸乙烯基酯树月旨、丙烯酸树脂等形成的粘着剂层以及设置用来保护粘着剂层的离型层(分离片)，这样的防尘薄膜组件就会有效地防止异物从外部侵入掩模贴附后形成的封闭空间。但是，在防尘薄膜组件自身异物附着的场合就难以防止异物向掩模的附着。由此，防尘薄膜组件本身不仅被要求高的清洁性，并且在防尘薄膜组件的保管，运输中使用的防尘薄膜组件收纳容器，也要维持其清洁性。具体地说，防尘薄膜收纳容器被要求使用具有优良的带电防止性能的材质以及划擦时也不太发生灰尘的材质，具有可极力防止防尘薄膜组件以及收纳容器构成部件间的接触的构造，以及具有即使施加外力的也难以变形的高刚性的构造等。该防尘薄膜组件收纳容器通常用ABS、丙烯酸等的树脂通过射出成型或真空成型而制造，射出成型或真空成型被利用的主要的理由为具有，表面平滑由此异物的附着以及发生灰尘的可能性小，整体成型没有接口发生灰尘以及异物侵入的可能性小，容易制造复杂形状由此可以大量生产并且低成本化等优点。例如，半导体用以及印刷基板用的防尘薄膜组件收纳容器，外形的边长为大约200?300_前后，由于要求防尘薄膜组件收纳容器的清洁性的保持以及施加外力时也不易变形的高刚性，所以通常用射出成型法进行制造，但是，边长200?300_左右的防尘薄膜组件收纳容器的场合，几乎没有刚性的问题。其原因是，边长200?300_左右大的防尘薄膜组件收纳容器，由于本来就小，所以易于刚性的确保，而且射出成型法易于使局部改变厚，重要的地方可以用壁厚来加强，从而确保刚性。但是，主要用于收纳液晶以及有机EL等的显示板用的防尘薄膜组件的收纳容器，为外形的边长超过500mm的大型物，通常，用ABS、丙烯酸等的合成树脂片进行真空成型制造。边长超过500_的大型的防尘薄膜组件收纳容器的场合，为从具有I处或数处的开口向模具内高速注入树脂射出成型法，树脂的流动距离过长制造困难，所以要利用真空成型法。该真空成型法中，将模具用加热的树脂包覆，仅进行真空吸引就可容易地制造大型的成型品。但是，利用这样的真空成型法进行大型的防尘薄膜组件收纳容器制造的场合，具有不能形成壁厚厚的收纳容器的问题。该壁厚的问题，通过形成肋部而加强的对策在某种程度上可以解決该问题，该场合的肋部的成型，基本上是仅将相同板厚的片进行曲折而达成，但是，仅依靠该对策在要求高刚性的防尘薄膜组件收纳容器的制作是不行的。由此，往常，为了防止边长超过500mm的大型收纳容器的变形以及弯曲，通过贴合加强材从而提高刚性。例如在专利文献I中，记载了在收纳容器的左右侧缘以及中央部配置铝等的金属制加强带状体或配置角材的大型精密片状制品用密封容器。另外，在专利文献2中，记载了在收纳容器的里面配置铝等的加强金属部件的防尘薄膜组件收纳容器。现有技术文献专利文献1:日本特开2005-170507专利文献2:日本专利第4391435号在这样的以往的加强对策中，配置由铝合金等的高刚性的材料形成的加强体，得到日字型或目字型等，在这样的方案中，如加强的量多的话，其加强效果也大，但是另一方面，其重量以及成本就会増加。虽然，可以考虑使用轻量且高刚性的材料，这样的轻量且高刚性的材料，一般其价格高，所以刚性，重量，成本都好的是困难的。由此，本专利技术就是鉴于上述的情况而制定的。本专利技术的目的就是提供一种低成本、轻量且高刚性的防尘薄膜组件收纳容器。本专利技术人对达成上述目的进行了深入地研究，发现如在肋部的外侧接续(接合)加强肋部的加强件的话，就可以抑制向肋部的张开方向的变形以及扭曲变形，由此，通过肋部的加强这一简易的对策，就可以既轻量又具有高的刚性的防尘薄膜组件收纳容器。
技术实现思路
S卩，本专利技术包括载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述该肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件另外，本专利技术的肋部，优选其高度设定为与在容器本体的中央侧配置的肋部大约同样程度的低，加强件，优选安装在多个肋部相接续的部位。进而，本专利技术的加强件，其形状优选平板状，具有大略C字型或大略L字型的截面形状。平板状的场合，优选以将凹部覆盖的方式接续，具有大略C字型或大略L字型的截面的场合，优选加强件的全部或其一部分嵌合于肋部之中的方式接续。专利技术效果根据本专利技术，在成凹形状的肋部的外侧设置对肋部进行加强的加强件，由此可以防止肋部的变形以及扭转变形，所以可以提供与以往的金属制的加强件相比，具有同等以上的高刚性，而且低成本轻量的防尘薄膜组件收纳容器。【附图说明】图1本专利技术的一实施方式的收纳容器的斜视图。图2本专利技术的一实施方式的收纳容器本体的上平面图。图3本专利技术的一实施方式的收纳容器本体的AA截面图。图4本专利技术的一实施方式的收纳容器本体的BB截面图。图5本专利技术的一实施方式的收纳容器本体的下平面图。图6本专利技术的一实施方式的收纳容器中使用的大略C字状的加强件的截面图。图7本专利技术的一实施方式的收纳容器中使用的大略L字状的加强件的截面图。图8比较例的收纳容器的斜视图。图9比较例的收纳容器的截面图。【具体实施方式】以下，对本专利技术的一实施方式参照附图进行详细说明，但是本专利技术并不限定于此。图1至图5表示了本专利技术的一实施方式，图1为本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器10的斜视图。图2为所述容器本体11的上平面图，图3为图2中AA截面图，图4为图2中的BB截面图。另外，图5为从外侧(图2的里侧)看的容器本体11下平面图。防尘薄膜组件收纳容器10，为由用丙烯酸、ABS、PET、PS等的树脂形成的厚度2?6_左右的片材真空成型的容器本体11和盖体12构成。因此，该容器本体11，由于易于对异物进行确认等理由，以黑色为佳，盖体12，为了对内部进行确认，以透明或半透明为佳。这样的容器本体11和盖体12，在其周缘部嵌合的同时，该嵌合部用粘着胶带等封住，或用夹子等固定(未图示)，使其内部为密闭状态。在本专利技术的一实施方式中，容器本体11上有用相同的材料成型的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳容器，包括，载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：关原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP