本发明专利技术描述一种配置用于线锯装置的滑轮，所述线锯装置具有形成丝网的丝线。所述滑轮(400)包含接收部(414)和牵引元件(430)，所述接收部配置用于与互补的啮合元件卡锁啮合，而所述牵引元件连接到所述滑轮以用于藉由牵引解除所述卡锁啮合。
【技术实现步骤摘要】
本公开案的实施方式涉及用于线锯装置及在线锯装置中的滑轮，以及线锯装置。更具体地，本公开案的实施方式涉及配置用于线锯装置的滑轮，以及用于切割或锯切硬质材料(诸如，硅块、蓝宝石块或石英块)的线锯装置，例如用于切割硅片、用于切方机、用于截断器等等。
技术介绍
存在用于从一块硬质材料(诸如硅)切割块体或块料、薄片(例如，半导体晶片)的线锯装置。在此类装置中，从供给绕线管馈送伸展开的丝线，并且藉由滑轮引导和张紧所述丝线，以将所述丝线引导到切割区域中。通常，在切割之后，经由滑轮将所使用的丝线引导到卷线绕线管。在线锯工业中，用于将丝线从绕线管传送到线锯导引器的传动滑轮可以由轮箍(tire)和转轮(wheel)构成。通常，所述滑轮的转轮是由加工铝构成的。所述轮箍可以是消耗性的零件，因为它会由于与所述丝线接触和摩擦而磨损。因此，所述轮箍可为可拆卸的零件以在轮箍磨损时用于单独替换。人们发现使用具有可拆卸轮箍的滑轮需承担在轮箍替换期间所述轮箍未正确安装的风险。例如，在所述转轮的轮缘上未正确安装的轮箍可致使藉由所述滑轮引导的丝线振动。因此，还存在具有固定轮箍(即，不可拆卸的轮箍)的滑轮，所述轮箍可注塑成型在所述转轮的轮缘上。当具有在转轮的轮缘上注塑成型的轮箍的滑轮磨损时，必须替换整个滑轮。因此，由于经常性地更换滑轮，使用具有注塑成型的轮箍的滑轮会导致高操作成本。通常，在线锯装置中使用的滑轮安装在轴承箱上，例如藉由围绕所述滑轮的旋转轴安置的螺丝安装。因此，藉由拧紧螺丝或旋松螺丝操作来安装或拆卸滑轮是费时的，并且如果滑轮必须频繁替换，则会给机械的正常运行时间带来负面影响。因此，存在进一步改良滑轮的需求。
技术实现思路
鉴于上述情形，提供根据独立权利要求的配置用于线锯装置的滑轮，所述线锯装置特别地用于切割半导体材料、具有形成丝网的丝线，以及提供根据独立权利要求的线锯装置。进一步的优点、特征结构、方面和细节将从附属权利要求书、说明书和附图显而易见。根据一个方面，提供一种配置用于线锯装置的滑轮，所述线锯装置具有形成丝网的丝线。所述滑轮包含接收部和牵引元件，所述接收部配置成与互补的啮合元件卡锁啮合，所述牵引元件连接到所述滑轮以藉由牵引手动地解除卡锁啮合。根据又一个方面，提供一种用于切割半导体材料的线锯装置，所述线锯装置具有形成丝网的丝线。所述线锯装置包含根据本文描述的实施方式的至少一个滑轮。根据另一方面，提供根据本文描述的实施方式的滑轮在线锯装置中的使用。根据又一个方面，提供一种配置用于线锯装置的滑轮，所述线锯装置具有形成丝网的丝线。所述滑轮包含接收部和牵引元件，所述接收部配置成与互补的啮合元件卡锁啮合，所述牵引元件连接到所述滑轮以藉由牵引手动地解除卡锁啮合。所述牵引元件包含指状柄部分。此外，所述牵引元件包含连接到所述滑轮的柔性连接部分，其中所述柔性连接部分整体地连接到所述滑轮。所述滑轮是由热塑性材料或者热塑性合成橡胶材料构成的。所述滑轮包含径向向外指向的丝线引导部分，所述丝线引导部分具有界定丝线引导平面的沟槽结构。此外，根据本公开案的实施方式也涉及使所描述的设备运转的方法。所述方法包括用于执行所述设备的每一功能的方法步骤。【附图说明】因此，可详细了解本文描述的本公开案的上述特征结构，以上简略概述的本公开案的更特定描述可参照实施方式了解。以下描述与本公开案的实施方式相关的附图:图1A图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意图；图1B图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意图；图1C图示根据本文描述的实施方式的滑轮沿图1A中所描绘的剖面线A-A的示意性剖视图；图1D图示根据本文描述的实施方式的滑轮的接收部的示意性放大剖视图；图2图示根据本文描述的实施方式的滑轮的接收部安装到互补元件后的示意性放大剖视图；图3A图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意性透视图；图3B图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意性透视图，以用于图解所述牵引元件的功能；图4A图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意图；图4B图示根据本文描述的实施方式的滑轮沿图4A所描绘的剖面线B-B的示意性首丨J视图;图5图示根据本文描述的实施方式的滑轮的示意图；图6A图示根据本文描述的实施方式的滑轮的接收部安装到互补元件后的示意性放大剖视图；图6B图示根据本文描述的实施方式的具有心轴的滑轮的界面的示意性剖视图；图6C图示根据本文描述的实施方式的具有心轴的滑轮的界面的示意性剖视图；图7图示根据本文描述的实施方式的线锯装置的示意图；以及图8图示根据本文描述的实施方式的丝锯装置的丝线管理单元的透视图。【具体实施方式】现将详细提及本专利技术的各种实施方式，其中所述实施方式的一或多个实例图示于诸图中。在以下附图的描述中，相同元件符号代表相同元件。在下文中，仅描述了各别实施方式之间的差异。每一实例作为说明提供，以及并不意欲作为限制。此外，图示或者描述为一个实施方式的部分的特征结构可用于其他实施方式，或者与其他实施方式结合以用于产生更进一步的实施方式。所述描述意欲包括此类修改和变更。在图1A和图1B中，图示了根据本文描述的实施方式的滑轮的示意图和剖面图。所述滑轮400包含转轮部分410和丝线引导部分455，所述转轮部分410围绕滑轮轴线410a，以及所述丝线引导部分455在所述滑轮的径向向外部分以用于引导丝线。所述滑轮包含接收部414，所述接收部414配置成与互补的啮合元件卡锁啮合。此外，如在图1A到图1D中所范例性图示的，根据本文描述的实施方式，所述滑轮包含牵引元件430，所述牵引元件430连接到所述滑轮并配置用于藉由牵引解除所述卡锁啮合。根据本文描述的实施方式，所述牵弓I元件430包含指状柄部分431。所述指状柄部分可以是如在图1A、图1B、图3A、图3B和图5中所范例性图示的环。或者，所述指状柄部分可以是如在图4A和图4B中所范例性图示的条状物。如本文所描述的指状柄部分的实施方式有利于藉由牵引快速和简便地解除滑轮与互补的啮合元件之间的卡锁啮合。示例性参考图1A到1D，根据各实施方式(其可与本文描述的其他实施方式结合)，所述牵引元件430包括连接到所述滑轮的柔性连接部分432。所述柔性连接部分可以整体地连接到所述滑轮。根据本文描述的实施方式，术语“整体地连接”将被理解为用于“一体式结构”的描述。根据本文描述的实施方式，如本文所描述的滑轮的一体式结构可以例如藉由注射模塑法获得。因此，本文描述的滑轮的实施方式提供简易可生产的低成本滑轮。此外，本文描述的滑轮的实施方式提供可快速安装和快速拆卸的滑轮。因此，藉由提供如本文所描述的滑轮的实施方式，可以减少替换滑轮所需的时间，这延长了线锯或在其中可使用如本文所描述的滑轮的实施方式的任何其他机械的正常运行时间。根据各实施方式(其可与本文描述的其他实施方式结合)，所述牵引元件430可在滑轮的一侧的径向向外部分处连接到所述滑轮，如在图1A到图1C以及图3A和图3B中所范例性图示的。或者，示例性参考图4A、图4B、图5和图6，所述牵引元件430可以连接到滑轮的中心侧部分，例如在心轴嵌件417用于将所述滑轮耦接到心轴的一侧上。作为另外的选择，如在图4B中示例性图示的，可提供对准开口 416以使所述滑轮与滑轮将安装至其上的心轴轴线对准。为了更好地理解牵引本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种配置用于线锯装置的滑轮(400)，所述线锯装置具有形成丝网的丝线，所述滑轮包括：接收部(414)，配置用于与互补的啮合元件卡锁啮合，以及牵引元件(430)，所述牵引元件连接到所述滑轮以藉由牵引解除所述卡锁啮合。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S·苏比耶勒，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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