一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法技术

本发明专利技术公开了一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，包括纳米压印制作微透镜面板的步骤：(1)制作纳米压印模具；(2)在显示器阻隔层上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯涂层；(3)升温烘烤；(4)将步骤(1)中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合压紧，得到纳米压制模具与半成品的复合结构；(5)降温脱模，得到纳米压印微透镜面板。通过将纳米压印模具上的反形图案尺寸设计为100nm量级，从而使制得的微透镜直径缩减到100nm量级，这可以使一个像素同时对应10个以上的透镜，最终使穿过透镜的出射光能量更加聚集，显示器的分辨率显著提高，画面质量大幅提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体显示领域，具体地说涉及。
技术介绍
微型高分辨率显示器是一种对角线小于I英寸、发光像素数量超过800X600X3的显示器。微型高分辨率显示器像素密度很大，显示信息量极高。这种显示器通过近目光学系统成现几英寸到几十英寸虚拟图像。微型高分辨率显示器的近目光学系统。微型高分辨率显示器发出的光线向透镜投射到达人眼的结构。该系统一般由透镜组或自由曲面镜片加外壳构成，配置安装在人眼的正前方与显示器之间的空间。纳米压印技术突破了传统光刻在特征尺寸减小过程中的难题，适合用于制备微型高分辨率显示器中的模板。理论上显示器的每一个子像素(R、G、B)需要分别对应一个微透镜，以使出射光能量更密集，但高分辨率的微型显示器的像素尺寸达到微米级，压制微透镜时难以做到精确对位压制，这就导致光能量降低，显示器分辨率无法达到要求，显示器图像质量不佳。克服现有微型高分辨率显示器微透镜与像素难于精确对位压制，导致出射光能量不足、显示器分辨率和显示器图像质量不佳，提供，是目前该领域中刻不容缓的事情。
技术实现思路
为此，本专利技术所要解决的技术问题在于现有微型高分辨率显示器微透镜与像素难于精确对位压制，导致出射光能量不足、显示器分辨率和显示器图像质量不佳，从而提出。为解决上述技术问题，本专利技术提供了，所述方法包括如下步骤:(I)制作纳米压印模具，所述纳米压印模具包括与显示器阻隔层相适配的基板以及在所述基板上蚀刻形成的若干微透镜反形图案，每个所述微透镜的直径为50-100nm ;(2)在所述显示器阻隔层上用旋涂法得到聚甲基丙烯酸甲酯涂层，所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层厚度大于所述微透镜反形图案中心厚度的二倍；(3)升温烘烤:将步骤(2)得到的半成品在真空环境下加热烘烤；(4)将步骤⑴中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贝占合后压紧得到纳米压制模具与半成品的复合结构；(5)降温脱模:将步骤⑷得到的所述复合结构降温，并脱除所述纳米压制模具，得到纳米压印微透镜面板。作为优选，所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，所述步骤(I)包括如下步骤:提供基底，所述基底的面积等于所述若干基板的面积；平坦化处理所述基底；用电子束刻蚀出所述微透镜的反形图像；以及将所述基底切割成若干所述基板。作为优选，所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，显示器的每个像素对应10个或10个以上所述微透镜。作为优选，所述基底为Si3N4SS1213作为优选，所述步骤⑶中所述真空环境的真空度为1-lOPa。作为优选，所述步骤(3)中升温速率为5°(:/1^11，最终温度为110±5°(:，，达到最终温度后，保持烘烤时间为lmin。作为优选，所述步骤(4)中压力大小为2.5±0.15N/inch20作为优选，所述步骤(5)中降温速率为15°C /min，最终温度为12°C。任一项所述的方法，用于制作加工微型高分辨率显示器。本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点，本专利技术所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法包括纳米压印制作微透镜面板的步骤，通过将纳米压印模具上的反形图案尺寸设计为10nm量级，从而使制得的微透镜直径缩减到10nm量级，这可以使一个像素同时对应10个以上的透镜，最终使穿过透镜的出射光能量更加聚集，显示器的分辨率显著提高，画面质量大幅提升；并且一个像素对应多个透镜还省去了传统压制过程中精确对位压制的步骤，提高了生产效率。旋涂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜是迄今为止合成透明材料中质地最优异，价格又比较适宜的材料，通过旋涂可以形成厚度均匀的膜层，具有良好的介电性能，由于聚甲基丙烯酸甲酯具有高透光性，压制完成后不需要并进行各相异性刻蚀去微透镜周围的残留物，进一步提高了生产效率，节约了生产成本。【附图说明】为了使本专利技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术作进一步详细的说明，其中图1是本专利技术所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法的流程图；图2是本专利技术所述的纳米压印制作微透镜面板的过程示意图。图中附图标记表示为:1-纳米压印模具；2_聚甲基丙烯酸甲酯涂层；3_显示器阻隔层；4-微透镜面板。【具体实施方式】实施例1如图1-2所示，本实施例提供了，包容如下步骤:(I)制作纳米压印模具1:平坦化处理Si3N4基底，并将所述基底通过电子束刻蚀出微透镜的反形图案，所述反形图案的直径为lOOnm，从而得到的微透镜直径为lOOnm，使显示器的每个像素对应10个以上所述微透镜，然后将所述基底切割为多个显示区域大小的矩形片，即得到纳米压印模具I ;(2)在显示器阻隔层3上制备聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层2厚度大于所述微透镜反形图案中心厚度的二倍，以避免所述纳米压印模具I压穿所述所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层2 ;(3)升温烘烤:将步骤(2)得到的半成品在真空度为IPa的真空环境下以5°C /min的升温速率升至110°C，并加热烘烤1min ;(4)将步骤⑴中的纳米压制模具I与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合后慢慢施加2.5N/inch2的压力，压紧所述纳米印制模具I，得到纳米压制模具I与所述半成品的复合结构；(5)降温脱模:将步骤⑷得到的所述复合结构以15°C /min的降温速率降至12°C，并脱除所述纳米压制模具1，得到纳米压印微透镜面板4。本专利技术所述的方法可以用于制作微型高分辨率显示器，通过将纳米压印模具上的反形图案尺寸设计为10nm量级，从而使制得的微透镜直径缩减到10nm量级，这可以使一个像素同时对应10个以上的透镜，最终使穿过透镜的出射光能量更加聚集，显示器的分辨率显著提高，画面质量大幅提升。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本专利技术创造的保护范围之中。【主权项】1.，其特征在于: (1)制作纳米压印模具，所述纳米压印模具包括与显示器阻隔层相适配的基板以及在所述基板上蚀刻形成的若干微透镜反形图案，每个所述微透镜的直径为50-100nm ; (2)在所述显示器阻隔层上用旋涂法得到聚甲基丙烯酸甲酯涂层，所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层厚度大于所述微透镜反形图案中心厚度的二倍； (3)升温烘烤:将步骤(2)得到的半成品在真空环境下加热烘烤； (4)将步骤(I)中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合后压紧得到纳米压制模具与半成品的复合结构； (5)降温脱模:将步骤(4)得到的所述复合结构降温，并脱除所述纳米压制模具，得到纳米压印微透镜面板。2.如权利要求1所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，其特征在于:所述步骤(I)包括如下步骤: 提供基底，所述基底的面积等于所述若干基板的面积；平坦化处理所述基底；用电子束刻蚀出所述微透镜的反形图像；以及将所述基底切割成若干所述基板。3.根据权利要求2所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，其特征在于，显示器的每个像素对应10个或10个以上所述微透镜。4.根据权利要求3所述的提高微型高分辨率显示器图像质量的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高微型高分辨率显示器图像质量的方法，其特征在于：(1)制作纳米压印模具，所述纳米压印模具包括与显示器阻隔层相适配的基板以及在所述基板上蚀刻形成的若干微透镜反形图案，每个所述微透镜的直径为50‑100nm；(2)在所述显示器阻隔层上用旋涂法得到聚甲基丙烯酸甲酯涂层，所述聚甲基丙烯酸甲酯涂层厚度大于所述微透镜反形图案中心厚度的二倍；(3)升温烘烤：将步骤(2)得到的半成品在真空环境下加热烘烤；(4)将步骤(1)中的纳米压制模具与步骤(3)中加热烘烤后的半成品边缘对位、贴合后压紧得到纳米压制模具与半成品的复合结构；(5)降温脱模：将步骤(4)得到的所述复合结构降温，并脱除所述纳米压制模具，得到纳米压印微透镜面板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：简应华，
申请(专利权)人：深圳市星火辉煌系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44