一种改进的蓝宝石单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改进的蓝宝石单晶炉；包括机体，及设置于机体上的控制系统；及设置于机体上的晶体生长炉和机械真空泵；所述机械真空泵直接与晶体生长炉安装。本实用新型专利技术的改进的蓝宝石单晶炉，简化晶体生长制程中的真空系统，取消高真空扩散泵浦，只使用机械真空泵形成保护钨钼材料的低真空环境；通过实验将控制系统调整为符合低真空的生产数据，缩短生产周期，减少保温材料损耗。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉组件，特别涉及一种改进的蓝宝石单晶炉，属于单晶炉

技术介绍
单晶炉是一种在真空环境中，用钨制加热器将多晶氧化铝等多晶材料熔化，用泡生法生长无错位单晶的设备；而加热器是蓝宝石KY法单晶炉中的主要加热组件；加热器主要由钨棒制作组成，现有的蓝宝石KY单晶生长炉在生长制程中，会使用机械真空栗抽取低真空，用以驱动高真空扩散栗浦；而晶体生长是在高真空环境中，除了因为高真空造成炉内保温材料严重挥发之外，也因为高真空环境散热不易，造成晶体生长难度增加，对成品率与生产成本都造成很大的负担。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题为解决上述问题，本技术提出了一种改进的蓝宝石单晶炉，只使用机械真空栗形成保护钨钼材料的低真空环境。( 二)技术方案本技术的改进的蓝宝石单晶炉，包括机体，及设置于机体上的控制系统；及设置于机体上的晶体生长炉和机械真空栗；所述机械真空栗直接与晶体生长炉安装。进一步地，所述晶体生长炉内设置有内保温层。进一步地，所述控制系统为低真空生产控制系统。有益效果与现有技术相比，本技术的改进的蓝宝石单晶炉，简化晶体生长制程中的真空系统，取消高真空扩散栗浦，只使用机械真空栗形成保护钨钼材料的低真空环境；通过实验将控制系统调整为符合低真空的生产数据，缩短生产周期，减少保温材料损耗。【附图说明】图1是本技术的整体结构示意图。【具体实施方式】如图1所示的改进的蓝宝石单晶炉，包括机体1，及设置于机体上的控制系统2 ;及设置于机体上的晶体生长炉3和机械真空栗4 ;所述机械真空栗4直接与晶体生长炉3安装。其中，所述晶体生长炉3内设置有内保温层。所述控制系统2为低真空生产控制系统；其可以通过实验得到符合低真空的生产数据。本技术的改进的蓝宝石单晶炉，简化晶体生长制程中的真空系统，取消高真空扩散栗浦，只使用机械真空栗形成保护钨钼材料的低真空环境；通过实验将控制系统调整为符合低真空的生产数据，缩短生产周期，减少保温材料损耗。上面所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述，并非对本技术的构思和范围进行限定。在不脱离本技术设计构思的前提下，本领域普通人员对本技术的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本技术的保护范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。【主权项】1.一种改进的蓝宝石单晶炉，包括机体，及设置于机体上的控制系统；及设置于机体上的晶体生长炉和机械真空栗；其特征在于，所述机械真空栗直接与晶体生长炉安装。2.根据权利要求1所示的改进的蓝宝石单晶炉，其特征在于:所述晶体生长炉内设置有内保温层。3.根据权利要求1所示的改进的蓝宝石单晶炉，其特征在于:所述控制系统为低真空生产控制系统。【专利摘要】本技术公开了一种改进的蓝宝石单晶炉；包括机体，及设置于机体上的控制系统；及设置于机体上的晶体生长炉和机械真空泵；所述机械真空泵直接与晶体生长炉安装。本技术的改进的蓝宝石单晶炉，简化晶体生长制程中的真空系统，取消高真空扩散泵浦，只使用机械真空泵形成保护钨钼材料的低真空环境；通过实验将控制系统调整为符合低真空的生产数据，缩短生产周期，减少保温材料损耗。【IPC分类】C30B29/20, C30B17/00【公开号】CN204727992【申请号】CN201520448155【专利技术人】胡明理, 何永慎, 李业林, 林政育, 李宗谚, 詹经略 【申请人】宁夏佳晶科技有限公司【公开日】2015年10月28日【申请日】2015年6月26日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进的蓝宝石单晶炉，包括机体，及设置于机体上的控制系统；及设置于机体上的晶体生长炉和机械真空泵；其特征在于，所述机械真空泵直接与晶体生长炉安装。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡明理，何永慎，李业林，林政育，李宗谚，詹经略，
申请(专利权)人：宁夏佳晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64