一种晶体炉随炉退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体炉随炉退火装置，包括温度显示器、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌电机，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。本实用新型专利技术晶体提拉时处于同一个温度场中，且无需升降温操作，作业效率大幅度提高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体加工装置，具体是一种晶体炉随炉退火装置。
技术介绍
现有的晶体生长炉，在晶体提拉时需要不断的对晶体附近的温度进行变换，工作繁琐，生产效率较低，且晶体在整个提拉过程中温度变化不均匀，晶体容易开裂，成品率较低，在规模化生产中影响了企业的生产效益。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶体炉随炉退火装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案:一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机、加热丝、隔流板、温度显示器、导热油、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片，所述搅拌叶片与搅拌电机连接，所述搅拌电机位于晶体生长炉上，且搅拌电机的外侧设有隔热层，所述外保温筒的左侧上部设有导热油补充管，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。作为本技术进一步的方案:所述外保温筒由隔热保温材料制成，内保温筒由导热材料制成。作为本技术进一步的方案:所述隔流板由隔热材料制成。作为本技术进一步的方案:所述一号热电偶与二号热电偶在同一水平线上。与现有技术相比，本技术的有益效果是:通过在晶体生长炉的晶体提拉口嵌套设置内外保温筒，且在内外保温筒的内部交错设置隔流板，并且灌装入导热油，既可以使得晶体提拉时温度不会骤变，减少了晶体内部的热应力，且通过搅拌电机将加热丝的热量向上方通过隔流板阻隔后进行阶段传送，便于晶体提拉，到达内外保温筒的口沿时接近室温即可取出晶体，无需单独的升降温操作，效率得以提高，通过热电偶进行温度监测，并通过温度显示器显示，利于对换热效率和温度状况进行分析，进一步提高晶体成品率，此外，在搅拌电机的外侧设置隔热层，可以避免搅拌电机高温损坏，延长使用寿命。【附图说明】图1为本技术的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术实施例中，一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机1、隔热层2、搅拌叶片3、加热丝4、隔流板5、温度显示器6、一号热电偶7、二号热电偶8、晶体9、导热油补充管10、导热油11、外保温筒12、内保温筒13和晶体生长炉14，所述晶体生长炉14的上方设有内保温筒13，所述内保温筒13的外侧嵌套密封设有外保温筒12，且外保温筒12由隔热保温材料制成，内保温筒13由导热材料制成，可以通过外保温筒12进行保温，避免热量散失，通过内保温筒13将热量传递到晶体9的区域，所述外保温筒12与内保温筒13的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒12与内保温筒13的内部设有导热油11，通过导热油11进行传热，所述外保温筒12与内保温筒13的内部交错均匀设置若干隔流板5，所述隔流板5由隔热材料制成，通过隔流板5对导热油11进行分段隔热，以适应晶体9的不同温度段需要，所述隔流板5的下侧于外保温筒12的内壁上设有环状加热丝4，通过加热丝4对导热油11进行加热，所述加热丝4的下方于外保温筒12与内保温筒13的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片3，所述搅拌叶片3与搅拌电机I连接，通过搅拌电机I驱动搅拌叶片3转动，所述搅拌电机I位于晶体生长炉14上，且搅拌电机I的外侧设有隔热层2，通过隔热层2对晶体生长炉14进行隔热，避免搅拌电机I高温损坏，所述外保温筒12的左侧上部设有导热油补充管10，通过导热油补充管10补充损耗的导热油11。所述内保温筒13的上侧壁上设有二号热电偶8，所述外保温筒12与内保温筒13的内部设有一号热电偶7，且一号热电偶7与二号热电偶8在同一水平线上，所述一号热电偶7和二号热电偶8均与温度显示器6电连接，通过一号热电偶7检测导热油11的温度，通过二号热电偶8检测晶体9位置区域的温度，并均通过温度显示器6进行显示，以及时的调整相关作业参数。本技术的工作原理是:通过在外保温筒12和内保温筒13的内部填充导热油11，可以使得温度比较均匀，不会出现骤变现象，且通过加热丝4对导热油11进行加热，通过搅拌电机I对导热油11进行搅拌，使得其底部的热量向上部扩散，通过交错设置的隔流板5可以使的外保温筒12和内保温筒13内部的热量呈阶梯型递减，当将晶体9提拉到外保温筒12和内保温筒13的上方端部时接近于室温，即可取出晶体9，此外，通过一号热电偶7和二号热电偶8可以检测温度，并通过温度显示器6显示，有助于分析换热效率和检测外保温筒12和内保温筒13上部的温度状况，以及时的调整相关参数，当导热油11损耗后可以从导热油补充管10进行补充。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。【主权项】1.一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机、加热丝、隔流板、温度显示器、导热油、夕卜保温筒、内保温筒和晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片，所述搅拌叶片与搅拌电机连接，所述搅拌电机位于晶体生长炉上，且搅拌电机的外侧设有隔热层，所述外保温筒的左侧上部设有导热油补充管，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。2.根据权利要求1所述的晶体炉随炉退火装置，其特征在于，所述外保温筒由隔热保温材料制成，内保温筒由导热材料制成。3.根据权利要求1所述的晶体炉随炉退火装置，其特征在于，所述隔流板由隔热材料制成。4.根据权利要求1所述的晶体炉随炉退本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体炉随炉退火装置，包括搅拌电机、加热丝、隔流板、温度显示器、导热油、外保温筒、内保温筒和晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉的上方设有内保温筒，所述内保温筒的外侧嵌套密封设有外保温筒，所述外保温筒与内保温筒的上部为梯形机构，下部为圆柱形结构，所述外保温筒与内保温筒的内部设有导热油，所述外保温筒与内保温筒的内部交错均匀设置若干隔流板，所述隔流板的下侧于外保温筒的内壁上设有环状加热丝，所述加热丝的下方于外保温筒与内保温筒的底部中间位置左右两侧均设有搅拌叶片，所述搅拌叶片与搅拌电机连接，所述搅拌电机位于晶体生长炉上，且搅拌电机的外侧设有隔热层，所述外保温筒的左侧上部设有导热油补充管，所述内保温筒的上侧壁上设有二号热电偶，所述外保温筒与内保温筒的内部设有一号热电偶，所述一号热电偶和二号热电偶均与温度显示器电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：巨二方，
申请(专利权)人：上海赢奔光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31