【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种承载装置，尤其是一种可加热衬底的承载装置。
技术介绍
半导体设备在装调时，需要加热盘保持水平及升降支撑机构的水平。以往主要依靠调整加热盘下方的三个螺栓来保持加热盘的水平，升降支撑机构没有水平调整功能，在调试时很难保证以上机构水平，最后导致生产的产品不合格。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本专利技术提供了一种可加热衬底的承载装置。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是:一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。本专利技术的有益效果及特点:结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺栓，调整顶丝保证加热盘及升降支撑机构处于水平，然后锁紧螺栓以满足使用要求。【附图说明】图1是本专利技术的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例如图1所示:一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架1，螺栓2，顶丝3和锁紧螺栓4。螺栓2和顶丝3设置在L型支架I上端。锁紧螺栓4固定在L型支架I上。使用时，将加热盘及PIN机构通过螺栓2安装在L型支架I上，L型支架I安装腔体下方。顶丝3、锁紧螺栓4安装在L型支架I上。将水平仪放在加热盘及升降...
【技术保护点】
一种可加热衬底的承载装置，其特征在于：包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓；螺栓和顶丝设置在L型支架上端，锁紧螺栓固定在L型支架上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘亿军，续震，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。