基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明专利技术属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明专利技术将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体制造装备的
技术介绍
集成电路发展至今，每片芯片上已经可以实现集成十亿余个器件的规模。在这种时代背景下，集成电路的制造就成了一个国家的重中之重。因此，作为生产制造集成电路的重要设备，光刻机的水平对于一个国家的发展就有了决定性的作用。一台高端的光刻机，不但要有高精度，还需要有高产率。工件台系统的工作主要由:将要处理的硅片上片、对准和曝光、将此硅片下片这几项工序组成。传统的单工件台系统，这几项工序是依次完成的，而新发展产生的双工件台系统则是将整个工序分开成对准和曝光、上下片和硅片表面特征测量两个部分，分别在两个工件台上、两个区域内完成。这就需要中间的换台步骤，其换台效率直接影响光刻机的产能。经查验相关文献，中国专利申请号:201110069546.9，步进扫描光刻机双台交换系统。该专利设计了一种将X向导轨拆分为两截，通过左右两部分的导轨的Y向运动配合工件台的X向运动来实现换台中的自转，保证了工件台坐标系与基础框架坐标系之间的无旋转。但该方法机械结构复杂，并且在曝光和测量的过程中，整段的导轨也需要跟随工件台一同运动，需要大功率电机进行实现，存在发热量大引起系统温升等问题。中国专利申请号:201110377824.7，一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置。该专利设计了在工件台中安装自转机构，通过旋转电机实现工件台的自转运动。该方法转动惯量小，机械结构相对简单，但对控制方法要求极高，并且需要额外的圆光栅等角度测量元件，提高了成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，是为了解决专利申请号:201110069546.9，专利的技术方案存在机械结构复杂，并且在曝光和测量的过程中，整段的导轨也需要跟随工件台一同运动，需要大功率电机进行实现，存在发热量大引起系统温升的问题，及专利申请号:201110377824.7，专利的技术方案存在对控制方法要求极高，并且需要额外的圆光栅等角度测量元件，提高了成本的问题。所述的目的是通过以下方案实现的:所述的一种基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，它包括框架1、公转电机2、第一工作台总成3、第二工作台总成4、第一直线滑动轴承5、第二直线滑动轴承6、第一直线导杆7、第二直线导杆8、第一随动导杆驱动器9、第二随动导杆驱动器10 ； 第一工作台总成3由第一上平台3-1和第一环形座3-2组成；第一环形座3-2通过气浮轴承转动套接在第一上平台3-1的下端转轴上；第二工作台总成4由第二上平台4-1和第二环形座4-2组成；第二环形座4-2通过气浮轴承转动套接在第二上平台4-1的下端转轴上；公转电机2设置在框架I的中心位置上，公转电机2的第一抓卡机构2-1抓卡在第一工作台总成3的第一环形座3-2上，公转电机2的第二抓卡机构2-2抓卡在第二工作台总成4的第二环形座4-2上，第一直线滑动轴承5安装在第一上平台3-1下端面上，第二直线滑动轴承6安装在第二上平台4-1下端面上，第一随动导杆驱动器9滑动设置在框架I上，第二随动导杆驱动器10滑动设置在框架I上；第一直线导杆7的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器9上，第二直线导杆8的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器10上；第一直线导杆7的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承5内，第二直线导杆8的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承6内，当公转电机2在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时，第一直线导杆7能在第一直线滑动轴承5内做直线滑动，能限制第一工作台总成3的第一上平台3-1的转动角度为零，第一随动导杆驱动器9能跟随第一直线导杆7的往复直线滑动动作在框架I上做往复直线滑动；第二直线导杆8能在第二直线滑动轴承6内做直线滑动，能限制第二工作台总成4的第二上平台4-1的转动角度为零，第二随动导杆驱动器10能跟随第二直线导杆8的往复直线滑动动作在框架I上做往复直线滑动。本专利技术具有以下优点: 1、解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。2、将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度。3、使随动导杆驱动器与其他直线电机(如Y向电机)共用Y向导轨上的测量装置(如光栅尺)，避免了旋转驱动实现自转的测量机构的使用(如圆光栅)，降低了成本。【附图说明】图1是本专利技术的整体结构示意图。【具体实施方式】 【具体实施方式】一:结合图1所示，它包括框架1、公转电机2、第一工作台总成3、第二工作台总成4、第一直线滑动轴承5、第二直线滑动轴承6、第一直线导杆7、第二直线导杆8、第一随动导杆驱动器9、第二随动导杆驱动器10 ; 第一工作台总成3由第一上平台3-1和第一环形座3-2组成；第一环形座3-2通过气浮轴承转动套接在第一上平台3-1的下端转轴上；第二工作台总成4由第二上平台4-1和第二环形座4-2组成；第二环形座4-2通过气浮轴承转动套接在第二上平台4-1的下端转轴上；公转电机2设置在框架I的中心位置上，公转电机2的第一抓卡机构2-1抓卡在第一工作台总成3的第一环形座3-2上，公转电机2的第二抓卡机构2-2抓卡在第二工作台总成4的第二环形座4-2上，第一直线滑动轴承5安装在第一上平台3-1下端面上，第二直线滑动轴承6安装在第二上平台4-1下端面上，第一随动导杆驱动器9滑动设置在框架I上，第二随动导杆驱动器10滑动设置在框架I上；第一直线导杆7的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器9上，第二直线导杆8的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器10上；第一直线导杆7的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承5内，第二直线导杆8的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承6内，当公转电机2在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时，第一直线导杆7能在第一直线滑动轴承5内做直线滑动，能限制第一工作台总成3的第一上平台3-1的转动角度为零，第一随动导杆驱动器9能跟随第一直线导杆7的往复直线滑动动作在框架I上做往复直线滑动；第二直线导杆8能在第二直线滑动轴承6内做直线滑动，能限制第二工作台总成4的第二上平台4-1的转动角度为零，第二随动导杆驱动器10能跟随第二直线导杆8的往复直线滑动动作在框架I上做往复直线滑动。所述第一直线滑动轴承5和第二直线滑动轴承6可用气浮式直线滑动轴承替换，而能将摩擦阻力减到最小；第一随动导杆驱动器9和第二随动导杆驱动器10器由直线电机、气足装置搭建组成。工作原理:工作时，公转电机2的第一抓卡机构2-1抓卡在第一工作台总成3的第一环形座3-2上，公转电机2的第二抓卡机构2-2抓卡在第二工作台总成4的第二环形座4-2上；当公转电机2逆时针旋转180度时，第一直线导杆7能在第一直线滑动轴承5内做直线滑动，能限制第一工作台总成3的第一上平台3-1的转动角度为零，第一随动导杆驱动器9能在其直线电机的驱动下跟随第一直线导杆7的直线滑动动作在框架I上做直线滑动；第二直线导杆8能在第二直线滑动轴承6内做直线滑动，能限制第二工作台总成4的第二上平台4-1的转动角度为零，第二随动导杆驱动器10能在其直线电机的驱动下跟随第二直线导杆8的直线滑动动作在框架I上做直线滑动；当公转电机2再顺时针旋转180度时，第一直线导杆7能在第一直线滑动轴承5内做直线滑本文档来自技高网...
【技术保护点】
基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，其特征在于它包括框架（1）、公转电机（2）、第一工作台总成（3）、第二工作台总成（4）、第一直线滑动轴承（5）、第二直线滑动轴承（6）、第一直线导杆（7）、第二直线导杆（8）、第一随动导杆驱动器（9）、第二随动导杆驱动器（10）；第一工作台总成（3）由第一上平台（3‑1）和第一环形座（3‑2）组成；第一环形座（3‑2）通过气浮轴承转动套接在第一上平台（3‑1）的下端转轴上；第二工作台总成（4）由第二上平台（4‑1）和第二环形座（4‑2）组成；第二环形座（4‑2）通过气浮轴承转动套接在第二上平台（4‑1）的下端转轴上；公转电机（2）设置在框架（1）的中心位置上，公转电机（2）的第一抓卡机构（2‑1）抓卡在第一工作台总成（3）的第一环形座（3‑2）上，公转电机（2）的第二抓卡机构（2‑2）抓卡在第二工作台总成（4）的第二环形座（4‑2）上，第一直线滑动轴承（5）安装在第一上平台（3‑1）下端面上，第二直线滑动轴承（6）安装在第二上平台（4‑1）下端面上，第一随动导杆驱动器（9）滑动设置在框架（1）上，第二随动导杆驱动器（10）滑动设置在框架（1）上；第一直线导杆（7）的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器（9）上，第二直线导杆（8）的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器（10）上；第一直线导杆（7）的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承（5）内，第二直线导杆（8）的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承（6）内，当公转电机（2）在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时，第一直线导杆（7）能在第一直线滑动轴承（5）内做直线滑动，能限制第一工作台总成（3）的第一上平台（3‑1）的转动角度为零，第一随动导杆驱动器（9）能跟随第一直线导杆（7）的往复直线滑动动作在框架（1）上做往复直线滑动；第二直线导杆（8）能在第二直线滑动轴承（6）内做直线滑动，能限制第二工作台总成（4）的第二上平台（4‑1）的转动角度为零，第二随动导杆驱动器（10）能跟随第二直线导杆（8）的往复直线滑动动作在框架（1）上做往复直线滑动。...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈兴林，陈震宇，刘杨，付雪微，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23
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