一种直拉单晶炉热场用埚杆制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直拉单晶炉热场用埚杆，包括石墨材质的托盘，在托盘的底部连接石墨材质的支撑柱，支撑柱与托盘同轴心，托盘与支撑柱为分体结构，托盘与支撑柱螺纹连接；在支撑柱的内部设有支撑柱保温碳毡腔室，支撑柱保温碳毡腔室内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室相适配的支撑柱保温碳毡块；在托盘的径向设有第一托盘保温碳毡腔室，在第一托盘保温碳毡腔室的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块。本实用新型专利技术具有结构合理、节能降耗等特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种直拉单晶炉热场用祸杆。
技术介绍
直拉单晶炉热场用祸杆属于直拉单晶炉的主要部件之一，其作用是带动石英坩祸升降与旋转，目前，在直拉单晶热场中，由于工作环境温度很高，直拉单晶炉热场用祸杆采用石墨材质制作，石墨材质导热性能强，容易将热场中部分热能导出，造成电能的浪费。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种直拉单晶炉热场用祸杆，它具有结构合理、节能降耗等特点。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是:一种直拉单晶炉热场用祸杆，包括石墨材质的托盘，在托盘的底部连接石墨材质的支撑柱，支撑柱与托盘同轴心，托盘与支撑柱为分体结构，托盘与支撑柱螺纹连接；在支撑柱的内部设有支撑柱保温碳毡腔室，支撑柱保温碳毡腔室开口于支撑柱的上端面，支撑柱保温碳毡腔室上部为与支撑柱同轴心的圆柱形腔室，圆柱形腔室的直径为支撑柱中间部分直径的三分之一，圆柱形腔室的高度为支撑柱高度的三分之一，圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室，截头圆锥体形腔室与圆柱形腔室同轴心，且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同，其下底面直径为圆柱形腔室下底面直径的三分之一，其高度为圆柱形腔室高度的四分之一；支撑柱保温碳毡腔室内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室相适配的支撑柱保温碳毡块；在托盘的径向设有第一托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室贯通于托盘，第一托盘保温碳毡腔室为圆柱形腔室，第一托盘保温碳毡腔室的轴心位于托盘高度的三分之一处，且与托盘的直径重合，第一托盘保温碳毡腔室的直径为托盘高度的三分之一，在第一托盘保温碳毡腔室的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室和两个第二托盘保温碳毡腔室直径相同，且在同一平面上，第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室之间的距离为托盘半径的五分之四，两个第二托盘保温碳毡腔室贯通于托盘，第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳租块。本技术进一步改进在于:支撑柱的外壁径向设有用于固定支撑柱保温碳毡块的顶丝。在支撑柱保温碳毡块的顶部中央竖向设有内螺纹孔。采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术通过在支撑柱的内部设置支撑柱保温碳毡腔室，支撑柱保温碳毡腔室内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室相适配的支撑柱保温碳毡块，在托盘的径向设置第一托盘保温碳毡腔室和两个第二托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块，在祸杆中，合理使用隔热性能好且熔点高的物质保温碳毡，可以有效起到降低热能散失的目的。支撑柱保温碳毡腔室开口于支撑柱的上端面，支撑柱保温碳毡腔室上部为与支撑柱同轴心的圆柱形腔室，圆柱形腔室的直径为支撑柱中间部分直径的三分之一，圆柱形腔室的高度为支撑柱高度的三分之一，圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室，截头圆锥体形腔室与圆柱形腔室同轴心，且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同，其下底面直径为圆柱形腔室下底面直径的三分之一，其高度为圆柱形腔室高度的四分之一；在托盘的径向设有第一托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室贯通于托盘，第一托盘保温碳毡腔室为圆柱形腔室，第一托盘保温碳毡腔室的轴心位于托盘高度的三分之一处，且与托盘的直径重合，第一托盘保温碳毡腔室的直径为托盘高度的三分之一，在第一托盘保温碳毡腔室的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室，第一托盘保温碳毡腔室和两个第二托盘保温碳毡腔室直径相同，且在同一平面上，第一托盘保温碳毡腔室和第二托盘保温碳毡腔室之间的距离为托盘半径的五分之四，两个第二托盘保温碳毡腔室贯通于托盘，以上数据为多次试验后的最佳数据，根据支撑柱的结构特点，在保障其强度的情况下，最大限度地增大保温碳毡的使用空间，以减少热能损失；托盘与支撑柱为分体结构，托盘与支撑柱螺纹连接；根据结构特点，合理利用祸杆的空间，便于支撑柱保温碳毡腔室的利用，在支撑柱保温碳毡块的顶部中央竖向设有内螺纹孔，便于通过螺栓将其取出。本技术具有结构合理、节能降耗等特点。【附图说明】图1是本技术的结构示意图；图2是图1中托盘的结构示意图；图3是图1中支撑柱的结构示意图。在附图中:1、托盘；2、支撑柱；3、支撑柱保温碳毡腔室；4、支撑柱保温碳毡块；5、第一托盘保温碳毡腔室；6、第二托盘保温碳毡腔室；7、支撑柱保温碳毡块上的内螺纹孔；8、顶丝。【具体实施方式】下面将结合附图和具体实施例对本技术进行进一步详细说明。由图1-3所示的实施例可知，本实施例包括石墨材质的托盘1，在托盘I的底部连接石墨材质的支撑柱2，支撑柱2与托盘I同轴心，托盘I与支撑柱2为分体结构，托盘I与支撑柱2螺纹连接；在支撑柱2的内部设有支撑柱保温碳毡腔室3，支撑柱保温碳毡腔室3开口于支撑柱2的上端面，支撑柱保温碳毡腔室3上部为与支撑柱2同轴心的圆柱形腔室，圆柱形腔室的直径为支撑柱2中间部分直径的三分之一，圆柱形腔室的高度为支撑柱2高度的三分之一，圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室，截头圆锥体形腔室与圆柱形腔室同轴心，且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同，其下底面直径为圆柱形腔室下底面直径的三分之一，其高度为圆柱形腔室高度的四分之一；支撑柱保温碳毡腔室3内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室3相适配的支撑柱保温碳毡块4，在支撑柱保温碳毡块4的顶部中央竖向设有内螺纹孔7，用于旋接螺杆以将支撑柱保温碳毡块4取出，支撑柱2的外壁径向设有用于固定支撑柱保温碳毡块4的顶丝8 ;在托盘I的径向设有第一托盘保温碳毡腔室5，第一托盘保温碳毡腔室5贯通于托盘1，第一托盘保温碳毡腔室5为圆柱形腔室，第一托盘保温碳毡腔室5的轴心位于托盘I高度的三分之一处，且与托盘I的直径重合，第一托盘保温碳毡腔室5的直径为托盘I高度的三分之一，在第一托盘保温碳毡腔室5的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室6，第一托盘保温碳毡腔室5和两个第二托盘保温碳毡腔室6直径相同，且在同一平面上，第一托盘保温碳毡腔室5和第二托盘保温碳毡腔室6之间的距离为托盘I半径的五分之四，两个第二托盘保温碳毡腔室6贯通于托盘1，第一托盘保温碳毡腔室5和第二托盘保温碳毡腔室6内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块。【主权项】1.一种直拉单晶炉热场用祸杆，包括石墨材质的托盘(I)，在所述托盘(I)的底部连接石墨材质的支撑柱(2)，所述支撑柱(2)与所述托盘(I)同轴心，其特征在于:所述托盘(I)与所述支撑柱(2)为分体结构，所述托盘(I)与所述支撑柱(2)螺纹连接；在所述支撑柱(2)的内部设有支撑柱保温碳毡腔室(3)，所述支撑柱保温碳毡腔室(3)开口于所述支撑柱(2)的上端面，所述支撑柱保温碳毡腔室(3)上部为与所述支撑柱(2)同轴心的圆柱形腔室，所述圆柱形腔室的直径为所述支撑柱(2)中间部分直径的三分之一，所述圆柱形腔室的高度为所述支撑柱(2)高度的三分之一，所述圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室，所述截头圆锥体形腔室与所述圆柱形腔室同轴心，且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同，其下底面直径为所述圆柱形腔室下底面直径的三分之一，其高度为所述圆柱形腔室高度的四分之一；所述支撑柱保温碳毡腔室(3)内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室(3)相适配的支撑柱保温碳毡块(4);在所述托盘(I)的径向设有第一托盘保温碳毡腔室(5)，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直拉单晶炉热场用埚杆，包括石墨材质的托盘(1)，在所述托盘(1)的底部连接石墨材质的支撑柱(2)，所述支撑柱(2)与所述托盘(1)同轴心，其特征在于：所述托盘(1)与所述支撑柱(2)为分体结构，所述托盘(1)与所述支撑柱(2)螺纹连接；在所述支撑柱(2)的内部设有支撑柱保温碳毡腔室(3)，所述支撑柱保温碳毡腔室(3)开口于所述支撑柱(2)的上端面，所述支撑柱保温碳毡腔室(3)上部为与所述支撑柱(2)同轴心的圆柱形腔室，所述圆柱形腔室的直径为所述支撑柱(2)中间部分直径的三分之一，所述圆柱形腔室的高度为所述支撑柱(2)高度的三分之一，所述圆柱形腔室下端为截头圆锥体形腔室，所述截头圆锥体形腔室与所述圆柱形腔室同轴心，且其上底面直径与圆柱形腔室直径相同，其下底面直径为所述圆柱形腔室下底面直径的三分之一，其高度为所述圆柱形腔室高度的四分之一；所述支撑柱保温碳毡腔室(3)内设有形体与支撑柱保温碳毡腔室(3)相适配的支撑柱保温碳毡块(4)；在所述托盘(1)的径向设有第一托盘保温碳毡腔室(5)，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)贯通于所述托盘(1)，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)为圆柱形腔室，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的轴心位于所述托盘(1)高度的三分之一处，且与所述托盘(1)的直径重合，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的直径为所述托盘(1)高度的三分之一，在所述第一托盘保温碳毡腔室(5)的两侧对称设有第二托盘保温碳毡腔室(6)，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述两个第二托盘保温碳毡腔室(6)直径相同，且在同一平面上，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述第二托盘保温碳毡腔室(6)之间的距离为所述托盘(1)半径的五分之四，所述两个第二托盘保温碳毡腔室(6)贯通于所述托盘(1)，所述第一托盘保温碳毡腔室(5)和所述第二托盘保温碳毡腔室(6)内均设有与各自腔室相适配的托盘保温碳毡块。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：闫广宁，张浩强，张鹏，王怡然，李永峰，王东，赵飞，
申请(专利权)人：河北宁晋松宫半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13