工艺制程处理方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种工艺制程处理方法及系统，其中方法包括：根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；工艺开始后，读取工艺制程中的所有参数的值；遍历工艺制程中的所有参数，并根据参数的名称识别当前参数的类型；若当前参数为配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在指定值，则将指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。其实现了根据用户需求对某一个工艺制程单独进行配置参数的设置，满足了现有工艺的需求，方便用户编辑查看。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及工业自动化制造
，特别是涉及一种工艺制程处理方法及系 统。
技术介绍
工业自动化制造过程中的工艺制程（Recipe),其内容包含物料加工过程中的多个 步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值和步骤的结束条件等等。在半导体集成电路领域，由 于加工精细度越来越高，工艺过程也变得越来越复杂，一个Recipe中包含的信息也越来越 多，该些信息对于工艺人员来说从逻辑上不是单一的信息总和，而是有一定的类别、作用等 区分，能够更方便合理的维护和保存该些信息并按要求完成工艺执行，给工艺人员提供清 晰简洁的操作变得至关重要。 传统的Recipe中只包含执行工艺时需要的工艺参数，未包含其他辅助性的信息。 例如，工艺执行过程中监测实时数据用的容差值，该类信息一般存储为整个设备的配置参 数，适用于设备上运行的所有Recipe。但在一些情况下，单个Recipe需要单独设置容差值， 若改变设备的配置参数，数值变化会应用于所有Recipe,即硬件的配置参数值无法针对某 个recipe单独设置，不能满足需求。
技术实现思路
为解决该一问题，本专利技术提出了一种工艺制程处理方法及系统，通过对工艺制程 的所有参数进行划分，针对单个工艺制程设置配置参数并进行分页显示，方便用户编辑或 查看。 为实现本专利技术目的而提供的工艺制程处理方法，包括W下步骤： 根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为 两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数； 工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值； 遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型； 若当前参数为所述配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置 的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运 行并显示。 作为一种可实施方式，本专利技术的工艺制程处理方法还包括W下步骤： 若当前参数为所述工艺参数，则将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制 所述对应的硬件设备进行工艺。 进一步地，在若当前参数为所述配置参数，进一步判断当前参数是否存在根据用 户需求配置的指定值之后，还包括W下步骤： 若判断当前参数不存在所述指定值，则将预设的当前参数的默认值发送至对应的 功能模块中运行并显示。 作为一种可实施方式，在遍历所述工艺制程中的所有参数后，还包括W下步骤： 等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定 值或者预设的所述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。 其中，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。相应的，为实现本专利技术目的而提供的工艺制程处理系统，包括划分模块、读取模 块、识别模块W及第一控制模块； 所述划分模块，用于根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程 中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数； 所述读取模块，用于在工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值； 所述识别模块，用于遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识 别当前参数的类型； 所述第一控制模块，用于在当前参数为所述配置参数时，进一步判断当前参数是 否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发 送至对应的功能模块中运行并显示。 作为一种可实施方式，本专利技术的工艺制程处理系统还包括第二控制模块； 所述第二控制模块，用于在当前参数为所述工艺参数时，将当前参数的值设置到 对应的硬件设备中，控制所述对应的硬件设备进行工艺。 进一步地，本专利技术的工艺制程处理系统还包括第H控制模块； 所述第H控制模块，用于在判断当前参数不存在所述指定值后，将预设的当前参 数的默认值发送至对应的功能模块中运行并显示。 作为一种可实施方式，本专利技术的工艺制程处理系统还包括监控模块； 所述监控模块，用于在所述识别模块遍历所述工艺制程中的所有参数后，等待工 艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定值或者预设的所 述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。[002引其中，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。 本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的工艺制程处理方法及系统，通过根据工艺制 程中各个参数的物理存储位置，对工艺制程中的所有参数在功能或类别上做逻辑区分，方 便用户编辑查看，并且实现了根据用户需求对某一个工艺制程单独进行配置参数的设置， 满足了现有工艺的需求。【附图说明】 为了使本专利技术的工艺制程处理方法及系统的目的、技术方案及优点更加清楚明 白，W下结合具体附图及具体实施例，对本专利技术工艺制程处理方法及系统进行进一步详细 说明。 图1为本专利技术的工艺制程处理方法的一个实施例的流程图； 图2为本专利技术的工艺制程处理方法的另一个实施例的流程图； 图3为图2所示的实施例中只编辑工艺参数时的界面显示图； 图4为图2所示的实施例中编辑软硬容差时的界面显示图；图5为本专利技术的工艺制程处理系统的一个实施例的结构图。【具体实施方式】 下面结合说明书附图，对本专利技术实施例提供的工艺制程处理方法及系统进行说 明。 参见图1，本专利技术实施例提供的工艺制程处理方法，包括W下步骤： S100,根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将工艺制程中的所有参数划分 为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数； S200,工艺开始后，读取工艺制程中的所有参数的值； S300,遍历工艺制程中的所有参数，并根据参数的名称识别当前参数的类型； S400,若当前参数为配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配 置的指定值，若判断当前参数存在指定值，则将指定值发送至对应的功能模块中运行并显 /J、- 〇 一个工艺制程中包含不同类型或功能的参数，在物理上该些参数都存储在同一个 文件里。本专利技术中，通过将所有参数划分为工艺参数和配置参数两种类型，程序在解析执行 时对上述两种参数区分对待，并做出相应的处理。对工艺制程中的所有参数在功能或类别 上做逻辑区分，方便用户编辑查看应用。同时，对于配置参数，若存在根据用户需求配置的 指定值（即用户配置的值)，则将指定值发送至对应的功能模块中运行并显示，从而实现了 根据用户需求对某一个工艺制程单独进行配置参数的设置，满足了工艺发展的需求。 作为一中可实施方式，本专利技术的工艺制程处理方法还包括W下步骤： S500,若当前参数为工艺参数，则将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制 对应的硬件设备进行工艺。 进一步地，在步骤S400之后，还包括W下步骤： S600,若判断当前参数不存在指定值，则将预设的当前参数的默认值发送至对应 的功能模块中运行并显示。 作为一种可实施方式，本专利技术的工艺制程处理方法，在步骤S300之后，还包括W 下步骤： S700,等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的指 定值或者预设的默认值，并根据监测结果进行相应的处理。 其中，配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。 需要说明的是，本专利技术实施例中的工艺参数，包括执行工艺所必需的参数。配置参 数包括除工艺参数W外的所有的现有工艺过程中的辅助性参数，例如软硬容差、超时时间、 稳定时间等等，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工艺制程处理方法，其特征在于，包括以下步骤：根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值；遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型；若当前参数为所述配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李娟娟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11