瓶子供应系统和瓶盖适配器技术方案

本发明专利技术涉及一种用于供应液体(尤其是粘液体)的瓶盖适配器，包括：本体部分；包括第二开口和第二开口的排气管，所述排气管设置用于放置在瓶子底部的附近；其中所述本体部分进一步包括第一表面和第二表面，所述第一表面垂直于排气管，所述第二表面平行于或倾斜于第一表面，例如角度为0°～40°；其中本体部分进一步包括从第二表面至第二表面的通道，其中通道的至少一部分包括延伸至第二表面的连接器，所述连接器与瓶子的连接器互补；其中本体部分进一步设置成接合至瓶子供应系统，并且，排放管至少部分地位于本体的通道内。本发明专利技术还涉及一种用于供应液体(特别是粘液体)的瓶子供应系统，包括：设置用于罩住瓶盖适配器的顶部；包括贮液器中的底部，所述贮液器设置用于接收来自插在瓶盖适配器中瓶子的一定量的液体并包括设置用于测量瓶子中液位的传感器；以及连接至贮液器的输出口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种瓶盖适配器、一种瓶子供应系统以及一种包括用于供应液体的瓶盖适配器和瓶子供应系统的系统。瓶盖适配器和瓶子供应系统均特别地适用于粘液体，即用于光刻技术的光刻胶。
技术介绍
光刻化学品例如光刻胶成本高昂使所有材料在工艺过程中均需要用尽最后一滴。现有系统依赖汲取管将液体(例如光化学品)吸到液体瓶外，这样总是导致浪费小百分比的瓶底液体。此外，现有系统依赖于吸管将液体吸至瓶子外，这些系统遇到瓶子交换有关的问题:气泡可能被困在管子的底部，而气泡则可能被运送到工艺管线中。如果不将气泡清除，将会引起工艺缺陷，导致损失和生产成本增加。避免这种缺陷的常用方法是通过气泡阱换瓶后将气泡清除，这就导致本该用于工艺的化学品进一步浪费。其他现存的系统可以将几乎99%的液体吸到容器外。但是，这些容器仅配套昂贵的包装系统，例如所称的ATIM/NOW公司提供的“NOWPACK”。PhenixSemicron股份公司提供一种倒置瓶系统。但是，这个系统相当庞大，并且可能需要现有机床具有更多的空间，这些空间在典型的涂布机模组和/或显影剂模组中无法提供的。此外，PhenixSem股份公司提供的倒置瓶系统特别适用于低粘度的材料，对于未经改性的高粘度液体效果可能不佳。另外，常规的系统通过使用空瓶检测系统(亦增加了浪费和气泡注入工艺管线的风险)或者使用连续指示液位的刻度尺来指示瓶子内的剩余液体的液位。但是，由于荷载通过区别一套套的管子而施加，常规的量尺系统可能易于产生多个问题。本专利技术的要点不是将光刻胶从瓶子内泵出，而是将瓶子颠倒，即瓶子上下倒置。通过这种布置，光刻胶通过重力而被供应，而不是通过使用泵进行，使得泵送期间气泡的产生从开始就被排除了。此外，由于光化学品(例如光刻胶)开始被送入贮液器内，由于贮液器内具有缓冲体积的原因，瓶子交换期间不会发生供应的中断。由于排气管，尤其在瓶子需要交换期间，无需额外地对瓶子进行排气。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于供应液体的瓶盖适配器、一种瓶子供应系统以及一种包括用于供应液体的瓶盖适配器和瓶子供应系统的系统。本专利技术的这个目的通过独立权利要求的特征来实现。从属权利要求适用于优选的实施例。本专利技术涉及一种用于供应液体(特别是粘液体)的瓶盖适配器，包括:本体部分；排气管，所述排气管包括第一开口和第二开口，所述第一开口设置成被放在瓶子内的瓶子底部附近。本体部分进一步包括第一表面和第二表面。第一表面垂直于排气管，第二表面平等于或倾斜于第一表面，例如倾斜大于0°?40°的角度。换言之，在笛卡尔x-y-z坐标系内，排气管处于z方向，第一表面位于x-y平面内，第二表面在X方向或y方向上平行或倾斜一定角度。本体部分进一步包括从第一表面到第二表面的通道。通道的至少一部分包括延伸至第二表面的连接器。该连接器与瓶子的一个连接器互补。本体部分进一步设置成连接至瓶子供应系统。排气管至少部分地位于本体部分的通道内。 优选地，包括在通道内的连接器是内螺纹，内螺纹设置成接受对应的瓶子螺纹密闭的外螺纹。作为替代，例如假如瓶子具有磨砂玻璃接头，连接器可以是相应的磨砂的母接头O优选地，待供应液体可以是光刻胶或任何其他可以用在光刻工艺(特别是微观构造领域)中的液体。优选地，瓶盖适配器可以以直立状态安装在瓶子上，并且可以进行密封，避免翻转和安装期间发生泄漏。优选地，密封件插在单独的凹槽内的通道连接器的内侧，以便当瓶子互补连接器的头部连接至本体部分的连接器时，通过密封件进行密封。根据本专利技术的一个实施例，瓶盖适配器进一步包括排气管头，所述排气管头设置用于在瓶子的装配期间对排气管的第一开口进行密封，并在液体从瓶子分配到瓶子供应系统期间开启第一开口。换言之，排气管可以在瓶盖适配器的安装期间闭合，并且仅可以在翻转操作完成后开启，而瓶子可以放置在底部，以备使用。优选地，排气管在第一开口处或者第一开口附近具有密封件，以便通过排气管头来支持排气管第一开口的密封。优选地，排气管具有为排气管头的紧密配合而设置的扩展底座区域。优选地排气管头具有相应的形状，例如T形。根据本专利技术的一个实施例，瓶盖适配器进一步包括柱塞，所述柱塞设置用于在瓶子的装配期间对排气管的第二开口进行密封并在液体从瓶子向瓶子供应系统分配期间开启第二开口。其中，柱塞进一步设置用于在瓶子的装配期间关闭本体部分的液体流路并设置用于在液体从瓶子向瓶子供应系统分配期间开启液体流路。优选地，液体流路在本体部分的通道内。换言之，当排气管插入本体部分的通道内时，可在通道的内壁和排气管的外壁之间形成液体流路。优选地，本体部分的通道的第二开口是锥形的。优选地，柱塞设置成在通道第二开口锥形的内部起始处对本体部分的第二通道进行关闭和开启。根据本专利技术的一个实施例，排气管进一步包括设置用于连接排气管头和柱塞的轴，以便使排气管头设置用于分别随着第二开口的密封和启封以及液路的关闭和打开而同时密封和启封排气管的第一开口。换言之，排气管头和柱塞均可以同时移动，优选在在同一方向上移动，以便第一开口和第二开口相应的打开和关闭与液路的打开和关闭是同步的。优选地，排气管头和柱塞的同步可以由机械装置和/或电气装置实现。但是，本领域技术人员理解，同步操作也可以由任何其他合适的装置实现。 根据本专利技术的一个实施例，瓶盖适配器的本体部分包括上部、中部和下部，其中上部包括第二表面，下部包括第一表面，中部则位于上部与下部之间。根据本专利技术的一个实施例，排气管包括上管和下管，其中上管包括第一开口，下管包括排气管的第二开口。优选地，上管和下管是连接的，更优选地由密封的连接组件进行连接。根据本专利技术的一个实施例，本体部分进一步包括使瓶盖适配器与瓶子供应系统对准的对准销。该对准销可以用作瓶子供应系统内各个对准传感器的参照物，以便检测当瓶盖在瓶子供应系统中装配/对接时是否合适地对齐。对准销和各个对准传感器可以优选基于光学、磁学和/或电学装置。本专利技术还涉及一种用于供应液体(特别是粘液体)的瓶子供应系统，包括:设置用于安置瓶盖适配器的顶部，所述瓶盖适配器优选为根据本专利技术任何一个实施例的瓶盖适配器；包括贮液器中的底部，所述贮液器设置用于接收来自插在瓶盖适配器的瓶子的一定量的液体并包括设置用于测量瓶子中液位的传感器；以及连接至贮液器的输出口。优选地，瓶子供应系统的顶部和底部由插头连接件连接。优选地，所述连接件包括至少一个密封件。本领域技术人员理解，瓶子供应系统的顶部和底部可以构成为独立的部分。优选地，贮液器设置成瓶子交换期间贮液器内仍有一定量的液体。通过贮液器中的剩余液体，可以避免(除其他以外)气泡进入工艺管线中。换言之，由于贮液器中的剩余液体，替换瓶中的液体从上一个瓶子无空隙地流到贮液器中的残留液体中。优选地，贮液器容积最小为100ml。优选地，即使当瓶子完全排空并必须由替换瓶进行替换时，贮液器用预定量(例如100ml)的液体充注。根据本专利技术的一个实施例，瓶子供应系统进一步包括气泡清除口，所述气泡清除口连接贮液器和/或设置用于将液体中出现的气泡从贮液器运送到清除管。优选地，清除管的开口端位于瓶子供应系统的外部，更优选地位于贮液器的上方。根据本专利技术的一个实施例，瓶子供应系统进一步包括一个保持器，所述保持器设置用于当瓶子插入瓶子供应系统内时对瓶子进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于供应液体(特别是粘性液体)的瓶盖适配器(100)，包括：本体部分(101)；以及排气管(130)，所述排气管包括第一开口(131)和第二开口，所述第一开口(131)设置成被放在瓶子内的瓶子底部附近，其中所述本体部分(101)进一步包括第一表面(110)和第二表面(111)，第一表面(110)垂直于排气管(130)，第二表面(111)平行于或倾斜于第二表面(110)，其中，本体部分(101)进一步包括从第一表面(110)到第二表面(111)的通道(C)，其中，至少通道(C)的一部分包括延伸至第二表面(111)的连接器(112)，所述连接器(112)与瓶子连接器互补，其中，本体部分(101)进一步设置成接合至瓶子供应系统(200)；以及其中排气管(130)至少部分地位于本体部分(101)的通道(C)内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥利佛·特雷克尔，苏亚伊·卡塔尔，卡德尔·梅基亚斯，阿龙·福利，格雷格·乔治，
申请(专利权)人：苏斯微光技术光刻有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE