【技术实现步骤摘要】
本专利技术提供一种在多线切割中用于补偿钢线直径变化的导轮。
技术介绍
随着光伏和半导体产业的不断发展,各下游厂商对硅片材料的质量提出了更高的要求。为满足各下游厂商的高要求,对硅片切割技术提出了更高的挑战。目前多采用多线切割方法将待加工棒材切割成具有一定厚度的片状产品。在多线切割中通过在导轮上刻有等距、等深的V型槽(以下简称线槽),切割时由一根完整的钢线从机床第一个导轮的第一个槽开始按照顺时针或逆时针的顺序分别缠绕至其他导轮,而当钢线再次回到第一个导轮时由于导轮的第一个槽中有线,则钢线必须沿该导轮的第2个槽开始缠绕,当钢线将导轮中所有槽都绕满时,在导轮之间既形成了密布钢线的线网,使用该线网进行切割作业(如图1所示)。由于用于切割的线网为一根钢线在多个导轮上缠绕而成,所以在切割时由于线网末端的钢线经过线网前端的切割之后,其直径已经变小,整个线网呈现出线网始端高,末端低的状态。这样,在切割时,线网与晶体之间的距离不一致,容易造成切割出的硅片的质量不稳定,降低生产良率。
技术实现思路
为达到上述专利技术目的,本专利技术采用以下技术方案:一种多线切割导轮,用于补偿钢线直径变化,包括多个导轮以及缠绕在导轮上的钢线,其特征在于:所述导轮呈锥形。可选地,所述导轮的直径沿入线端和线网始端分别向出线端和线网末端逐渐增大,其直径变化量A的设定:0 < A < 0.6mm。可选地,还包括放线轮,收线轮,砂浆喷嘴,其中,钢线从放线轮中放出,在所述导轮上缠绕,所述钢线携带由砂浆喷嘴喷出的砂浆能切割被加工棒材,最后能由收线轮收走钢线。应用本专利技术,可以补偿钢线直 ...
【技术保护点】
一种多线切割导轮,用于补偿钢线直径变化,包括多个导轮以及缠绕在导轮上的钢线,其特征在于:所述导轮呈锥形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:韩少华,张立,张久东,高峰,于晋京,范立军,
申请(专利权)人:上海启发电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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