【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及半导体生产
的设备，名称是一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置，所述的多个拉晶炉炉体在架子上上下设置，所述的摇摆动力装置在架子的上方或下方；或者，所述的多个拉晶炉炉体在架子上左右平行设置，所述的摇摆动力装置在架子一侧设置，多个拉晶炉炉体用连接杆连接，连接杆连接摇摆动力装置，这样的集成式拉晶炉具有生产效率高、占用空间小的优点。【专利说明】一种集成式拉晶炉
本技术涉及半导体生产
的设备，特别是涉及拉晶炉。
技术介绍
拉晶炉是将半导体原料的分子在高温下进行排列整齐的装备，拉晶炉具有架子，架子上安装有可摇摆炉体的摇摆动力装置，炉体内具有炉腔，所述的炉体是长方体的结构，现有技术中，一个炉体连接一个摇摆装置，具有效率低、设备占用空间大的缺点。
技术实现思路
本技术的目的就是针对上述缺点，提供一种生产效率高、占用空间小的拉晶炉——一种集成式拉晶炉。 本技术的技术方案是这样实现的:一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是:所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置。 进一步地讲，所述的多个拉晶炉炉体在架子上上下设置，所述的摇摆动力装置在架子的上方或下方。 或者，所述的多个拉晶炉炉体在架子上左右平行设置，所述的摇摆动力装置在架子一侧设置，多个拉晶炉炉体用连接杆连接，连接杆...
【技术保护点】
一种集成式拉晶炉，包括架子，架子上设置有拉晶炉炉体，拉晶炉炉体连接摇摆动力装置，其特征是：所述的炉体是多个的，多个拉晶炉炉体都铰接在架子上，多个拉晶炉炉体连接一个摇摆动力装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈磊，刘栓红，赵丽萍，钱俊有，张文涛，蔡水占，郭晶晶，张会超，陈永平，
申请(专利权)人：河南鸿昌电子有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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