图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种缺陷检查装置。在缺陷检查装置(100)中，图像生成装置(1)的处理图像生成部(61)，生成由针对缺陷像素存储有表示与特征量相应的灰度值的灰度信息、针对残余像素存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据，分析用图像生成部(62)，按照每个像素，生成由在所述灰度信息存储位串中附加存储有缺陷信息的缺陷信息存储位串而得到分析用位串构成分析用图像数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及生成用于检查偏振膜或相位差膜等薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置、具有该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。
技术介绍
以往，缺陷检查装置使用被称为线性传感器的一维相机，来检查偏振膜或相位差膜等薄片状成形体的缺陷。缺陷检查装置，在通过荧光管等线状光源对薄片状成形体照明的状态下，用线性传感器沿着薄片状成形体的长边方向从长边方向的一端至另一端扫描薄片状成形体表面，并获取多个一维图像数据(静止图像数据)。然后，通过按照获取时间顺序铺满多个一维图像数据来生成二维图像数据，并根据该二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷。在由线性传感器获取的一维图像数据中，通常包含线状光源像。在薄片状成形体的一个面侧配置有线状光源和线性传感器时，线状光源像是从线状光源射出并被薄片状成形体正反射而到达线性传感器的光的像。此外，在线状光源与线性传感器之间配置有薄片状成形体时，线状光源像是从线状光源射出并透过薄片状成形体而到达线性传感器的光的像。在缺陷检查装置中，薄片状成形体的宽度较宽时，在宽度方向上并排使用多台线性传感器，以使能够检查薄片状成形体的宽度方向整个区域。在该以往的缺陷检查装置中，根据通过铺满多个一维图像数据而生成的二维图像数据检查薄片状成形体的缺陷，因此，构成二维图像数据的各一维图像数据中的检查对象像素与线状光源像的位置关系，成为一个确定的位置关系。缺陷有时仅在检查对象像素(关注像素)与线状光源像的位置关系处于特定的位置关系时才出现在一维图像数据上。例如，作为缺陷的一种的气泡，大多仅在位于线状光源像的周边或附近时才出现在一维图像数据上。如此，缺陷有时会由于其位置而未被检测出来。因此，使用通过由线性传感器获取的多个一维图像数据构成的二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷的、上述以往的缺陷检查装置，只具有有限的缺陷检测能力。作为解决这样的问题点的缺陷检查装置，在JP特开2007-218629号公报(专利文献1)以及JP特开2010-122192号公报(专利文献2)中公开了一种通过荧光管等线状光源对薄片状成形体进行照明，在规定的输送方向上连续输送薄片状成形体的同时，使用称为区域传感器的二维相机来获取二维图像数据(动态图像数据)，并根据该二维图像数据来检查薄片状成形体的缺陷的装置。根据专利文献1、2所公开的缺陷检查装置，由于能够根据检查对象像素与线状光源像的位置关系不同的多个二维图像数据来判定是否存在缺陷，因此，能够比使用线性传感器的以往的缺陷检查装置更可靠地检测出缺陷。因此，专利文献1、2所公开的使用区域传感器的缺陷检查装置比使用线性传感器的以往的缺陷检查装置缺陷检测能力提高。
技术实现思路
专利文献1、2所公开的使用区域传感器的缺陷检查装置，需要处理信息量多的二维图像数据。在缺陷检查装置中，虽然以从区域传感器输出的二维图像数据为对象，在通过个人计算机(PC)实现的图像分析部中会对缺陷位置等进行分析，但由于二维图像数据信息量多，因此，基于图像分析部的二维图像数据的分析处理时间有变长的倾向。在缺陷检查装置中，会根据基于图像分析部的二维图像数据的分析处理速度来控制薄片状成形体的输送速度。若信息量多的二维图像数据的图像分析部的分析处理速度变慢，则需要使薄片状成形体的输送速度降低，检查效率降低。本专利技术的目的在于，提供一种在生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置中能够在维持较高的缺陷检测能力的基础上实现基于图像分析部的图像处理的高速化且能够提高检查效率的图像生成装置、具有该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。本专利技术提供一种图像生成装置，生成用于检查片状成形体的缺陷的图像数据，该图像生成装置具有：输送部，其在该片状成形体的长边方向上输送片状成形体；光照射部，其具有在与片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源，且由该光源向片状成形体照射光；拍摄部，其对由所述输送部输送中的片状成形体进行拍摄动作，生成表示二维图像的二维图像数据；特征量计算部，其通过1种或多种算法处理，根据各像素的輝度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量；处理图像数据生成部，其将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素，并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述残余像素由存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据；缺陷信息取得部，其根据所述处理图像数据，按照每个像素，获取针对片状成形体中的缺陷的缺陷信息，并生成存储有所获取到的该缺陷信息的缺陷信息存储位串；以及分析用图像数据生成部，其生成由按照每个像素在所述处理图像数据的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用位串构成的分析用图像数据。在本专利技术的图像生成装置中，所述缺陷信息能够包含表示薄片状成形体中的缺陷的种类的缺陷种类信息。在本专利技术的图像生成装置中，所述特征量计算部，通过多种算法处理来计算所述特征量，所述缺陷信息获取部，优选根据每个像素的所述灰度信息存储位串的灰度信息是否是与由所述多种算法处理中的任一种算法处理计算出的特征量相应的灰度信息，来获取包含所述缺陷种类信息的所述缺陷信息。此外，本专利技术是一种缺陷检查装置，包括：所述图像生成装置；和图像分析装置，其使用在构成由所述图像生成装置的分析用图像数据生成部生成的分析用图像数据的分析用位串中所存储的信息来进行预定的图像分析，由此检测片状成形体的缺陷。此外，本专利技术是一种缺陷检查方法，用于检查片状成形体的缺陷，包括：将片状成形体在该片状成形体的长边方向上输送的输送工序；通过在片状成形体的与长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源，向所输送的所述片状成形体照射光的光照射工序；对输送中的所述片状成形体进行拍摄动作，以生成表示二维图像的二维图像数据的拍摄工序；通过1种或多种算法处理，根据各像素的亮度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量的特征量计算工序；将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的残余像素，并生成针对所述缺陷像素生成由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像生成装置，生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据，其特征在于，具有：输送部，其在该薄片状成形体的长边方向上输送薄片状成形体；光照射部，其具有在与薄片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈直线状延伸的光源，且由该光源向薄片状成形体照射光；拍摄部，其对由所述输送部输送中的薄片状成形体进行拍摄动作，生成表示二维图像的二维图像数据；特征量计算部，其通过1种或多种算法处理，根据各像素的亮度值来计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量；处理图像数据生成部，其将构成所述二维图像数据的各像素区别为所述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素，并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述剩余像素由存储有表示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据；缺陷信息获取部，其根据所述处理图像数据，按照每个像素，获取针对薄片状成形体中的缺陷的缺陷信息，并生成存储有所获取到的该缺陷信息的缺陷信息存储位串；以及分析用图像数据生成部，其生成由按照每个像素在所述处理图像数据的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用位串构成的分析用图像数据。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.01.16 JP 2013-0056861.一种图像生成装置，生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数
据，其特征在于，具有：
输送部，其在该薄片状成形体的长边方向上输送薄片状成形体；
光照射部，其具有在与薄片状成形体的长边方向垂直的宽度方向上呈
直线状延伸的光源，且由该光源向薄片状成形体照射光；
拍摄部，其对由所述输送部输送中的薄片状成形体进行拍摄动作，生
成表示二维图像的二维图像数据；
特征量计算部，其通过1种或多种算法处理，根据各像素的亮度值来
计算构成所述二维图像数据的各像素的特征量；
处理图像数据生成部，其将构成所述二维图像数据的各像素区别为所
述特征量在预定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩
余像素，并生成针对所述缺陷像素由存储有表示与所述特征量相应的灰度
值的灰度信息的灰度信息存储位串构成、且针对所述剩余像素由存储有表
示零的灰度值的灰度信息的灰度信息存储位串构成的处理图像数据；
缺陷信息获取部，其根据所述处理图像数据，按照每个像素，获取针
对薄片状成形体中的缺陷的缺陷信息，并生成存储有所获取到的该缺陷信
息的缺陷信息存储位串；以及
分析用图像数据生成部，其生成由按照每个像素在所述处理图像数据
的所述灰度信息存储位串中附加所述缺陷信息存储位串而得到的分析用
位串构成的分析用图像数据。
2.根据权利要求1所述的图像生成装置，其特征在于，
所述缺陷信息包括表示薄片状成形体中的缺陷的种类的缺陷种类信
息。
3.根据权利要求2所述的图像生成装置，其特征在于，
所述特征量计算部通过多种算法处理来计算所述特征量，
所述缺陷信息获取部，根据每个像素的所述灰度信息存储位串的灰度
信息是否是与由所述多种算法处理之中的任一种算法...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾崎麻耶，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP