光学部件、光学部件的制造方法、电子设备和移动体技术

本发明专利技术提供光学部件、光学部件的制造方法、电子设备和移动体，防止成膜时产生的残留应力的急剧释放而导致的膜的剥离，防止光学信号的漫反射等而导致的光学特性的下降。作为光学部件的光学多层膜滤光片(10)具有：作为光学用的基板的玻璃基板(11)；以及作为设置在玻璃基板(11)上的膜的无机薄膜(2)，无机薄膜(2)具有第1区域(12)和第2区域(15)，其中，第2区域(15)围着第1区域(12)，从第1区域(12)起连续地延伸，在第2区域(15)中，无机薄膜(2)的厚度随着从第2区域(15)的外周缘(16)朝向与第1区域(12)的边界(14)而增加。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学部件、光学部件的制造方法、具有光学部件的电子设备和移动体。
技术介绍
在使用掩模在基板上成膜出规定形状的膜的情况下，使掩模与基板的距离尽可能接近，由此，能够以膜的端部相对于基板面成为垂直面的方式形成膜，能够较大地得到以规定的厚度构成的膜区域，因而被认为是理想的(例如参照专利文献1)。专利文献1：日本特开平10-145166号公报但是，在基板上的膜中存在成膜时所产生的应力(残留应力)，如果膜的端部为垂直面，则应力在膜的端部被急剧释放。因此，在膜的端部附近，容易产生膜从基板面剥离的缺损。尤其对于光学部件而言，在剥离的部分(缺损部分)中，会发生光学信号的漫反射等，可能导致光学特性下降。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，可以作为以下的方式或应用例来实现。[应用例1]本应用例的光学部件的特征在于，具有光学用的基板以及设置在所述基板上的膜，所述膜具有第1区域和第2区域，其中，所述第2区域围着所述第1区域并且从所述第1区域起连续地延伸，在所述第2区域中，所述膜的厚度随着从所述第2区域的外周缘朝向所述第2区域与所述第1区域的边界而增加。根据本应用例，设置在基板上的膜具有第2区域，在第2区域中，膜的厚度随着从第2区域的外周缘朝向第2区域与第1区域的边界而增加。借助该第2区域，膜的成膜时的应力等残留应力被缓慢地释放，因此，难以产生膜的剥离等缺损，能够确保发挥光学性能(光学特性)的规定膜厚的区域。[应用例2]在上述应用例所述的光学部件中，优选的是，与所述第2区域相比，在所述第1区域中，所述膜的上表面与所述基板的上表面的平行度较高。根据本应用例，与第2区域相比，在第1区域中，膜的上表面与基板的上表面的平行度较高，因此能够使光学信号稳定，得到良好的光学特性。[应用例3]本应用例的光学部件的制造方法的特征在于，包含如下工序：准备工序，准备光学用的基板；配置工序，以如下方式配置具有贯通孔的掩模部件：在所述基板的上方配置所述贯通孔，并且，从形成所述贯通孔的开口延伸的遮挡部分与所述基板重叠，而且，所述基板的与所述遮挡部分相对的相对面和所述遮挡部分的距离处于大于0.1mm且1mm以下的范围内；以及成膜工序，使光学用的膜材料穿过所述贯通孔而附着在所述基板的包含所述相对面的面上，在基板上成膜出光学膜。根据本应用例，通过将掩模部件与基板面的距离设在大于0.1mm且1mm以下的范围内，能够在基板面上成膜出的光学膜的外周缘，有效地形成厚度平缓地变化的所谓渗出区域，并能够确保发挥光学性能(光学特性)的规定膜厚的区域。[应用例4]在上述应用例所述的光学部件的制造方法中，优选的是，在所述配置工序之后，具有在所述基板上配置有所述掩模部件的状态下对所述基板进行清洗的清洗工序。[应用例5]在上述应用例所述的光学部件的制造方法中，优选的是，所述清洗工序设置在所述配置工序与所述成膜工序之间以及所述成膜工序之后中的至少一方。根据上述应用例，在基板上配置有掩模部件的状态下清洗基板，因此，不需要基板的拆装作业，生产率提高，并能够防止污物等异物附着到基板上。[应用例6]本应用例的电子设备的特征在于，该电子设备具有上述应用例所述的光学部件。根据本应用例，由于具有使膜的成膜时的应力等残留应力缓慢地释放、且确保光学性能(光学特性)的光学部件，因此，能够提供可稳定地获得期望的特性的电子设备。[应用例7]本应用例的移动体的特征在于，该移动体具有上述应用例所述的光学部件。根据本应用例，由于具有使膜的成膜时的应力等残留应力缓慢地释放、且确保光学性能(光学特性)的光学部件，因此，能够提供可稳定地获得期望的特性的移动体。附图说明图1示出了本专利技术的光学部件的一个实施方式的光学多层膜滤光片的结构，图1的(a)是俯视图，图1的(b)是剖视图，图1的(c)是图1的(b)中示出的Q的局部放大图。图2是光学膜成膜的工序流程图。图3是示出在光学膜成膜中使用的基板安装件的分解立体图。图4示出了基板安装件上的基板的安装状态，图4的(a)是示出使用实施方式的基板安装件的例子的剖视图，图4的(b)是示出使用变形例的基板安装件的例子的剖视图。图5示出了本实施方式的光学多层膜滤光片，图5的(a)是示出将光学用的基板安装到了基板安装件上的状态的剖视图，图5的(b)是成膜出的光学多层膜滤光片的俯视图，图5的(c)是图5的(b)的剖视图。图6示出了利用比较例的以往的基板安装件成膜出的光学多层膜滤光片，图6的(a)是示出基板安装件上的基板的安装状态的剖视图，图6的(b)是成膜出的光学多层膜滤光片的俯视图。图7是作为是示出作为电子设备的一例的移动电话的结构的立体图。图8是作为是示出作为电子设备的一例的数字静态照相机的结构的立体图。图9是作为是示出作为移动体的一例的汽车的结构的立体图。标号说明2：作为光学膜的无机薄膜；2b：第1区域的无机薄膜的上表面；10：作为光学部件的光学多层膜滤光片；11：作为光学用基板的玻璃基板；11a：玻璃基板的外周端；11b：玻璃基板的相对面；12：第1区域；14：边界；15：第2区域；16：外周缘；20：掩模板；21：掩模窗；23：导孔；24：固定孔；25：遮挡部分；30：间隔件；31：窗部；33：导孔；34：固定孔；35：导板；36：引导部；37：窗部；38：底部；40：导板；41：窗部；43：导销；44：固定孔；50：盖；53：导孔；54：固定孔；250、250a：光学基板安装件；506：作为移动体的汽车；1200：作为电子设备的移动电话；1300：作为电子设备的数字静态照相机。具体实施方式[实施方式]以下，按照附图，对作为本专利技术的光学部件的一例的光学多层膜滤光片进行详细说明。不过，本专利技术不受这些例子的任何限定。此外，对于在各个说明中具有相同的结构和功能的部分，标注相同的标号来进行说明。本实施方式是应用于具有如下光学特性的光学多层膜滤光片(UV-IR截止滤光片)的一例：其使可见波段的光通过，而截止规定波长以下的紫外波段和规定波长以上的红外波段的光。此外，作为本专利技术的光学部件，可举出光学低通滤光片等，能够应用本专利技术。(光学多层膜滤光片的结构)首先，使用图1，对作为光学部件的一例的光学多层膜滤光片的结构进行说明。图1是示意性示出本专利技术的光学部件的一个实施方式的光学多层膜滤光片的结构的图，图1的(a)是俯视图，图1的(b)是图1的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学部件，其特征在于，该光学部件具有：光学用的基板；以及设置在所述基板上的膜，所述膜具有第1区域和第2区域，其中，所述第2区域围着所述第1区域并且从所述第1区域起连续地延伸，在所述第2区域中，所述膜的厚度随着从所述第2区域的外周缘朝向所述第2区域与所述第1区域的边界而增加。

【技术特征摘要】
2014.03.13 JP 2014-0498071.一种光学部件，其特征在于，该光学部件具有：
光学用的基板；以及
设置在所述基板上的膜，
所述膜具有第1区域和第2区域，其中，所述第2区域围着所述第1区域并且从
所述第1区域起连续地延伸，
在所述第2区域中，所述膜的厚度随着从所述第2区域的外周缘朝向所述第2
区域与所述第1区域的边界而增加。
2.根据权利要求1所述的光学部件，其特征在于，
与所述第2区域相比，在所述第1区域中，所述膜的上表面与所述基板的上表面
的平行度较高。
3.一种光学部件的制造方法，其中，该光学部件的制造方法包含如下工序：
准备工序，准备光学用的基板；
配置工序，以如下方式配置具有贯通孔的掩模部件：在所述基板的上方配置所述
贯...

【专利技术属性】
技术研发人员：古里大喜，浦林新一，北原直树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP