一种硅片脱胶支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片脱胶支架，涉及硅片脱胶技术领域；包括架体，所述架体内套有至少一组可从架体上取出的取片架，所述取片架包括左挡板、右挡板、底部挡杆和至少两个侧面挡杆，左挡板和右挡板分别位于取片架的两端，左挡板和右挡板之间的底部设有底部挡杆，左挡板和右挡板之间的两侧面分别设有侧面挡杆，左挡板和右挡板的外侧面或顶部分别固定有勾手；底部挡杆、侧面挡杆与左挡板、右挡板之间的连接方式为可拆卸式。本实用新型专利技术能够实现硅片的整租取出，结构简单，操作方便，能够使用机器进行取片操作，大大降低了劳动强度，提高了工作效率，保证了成品率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片脱胶

技术介绍
硅棒在进行切片时一般通过粘胶固定在晶托上的玻璃板上，如图1所示，晶托主要包括晶托板I和玻璃板2，切割好的硅片3通过粘胶粘在玻璃板2上。切割完成后需要对切割好的硅片3进行脱胶清洗，即将硅片3从玻璃板2上分离，脱胶清洗是在脱胶架上进行的。如图1所示，脱胶架包括架体1、侧面挡杆5，底部挡杆6和架体把手8。脱胶清洗时，将硅片连同晶托倒挂在脱胶架上，架体I上的横梁7用于支撑晶托，底部挡杆6用于支撑脱胶后的硅片3，侧面挡杆5用于限制硅片3前后移动。脱胶时，将晶托连同硅片3放在脱胶架上，再将脱胶架放进装有温水的脱胶箱里，温水将粘胶融化后，硅片3会从玻璃板2上脱离，落到脱胶架上的底部挡杆6上。脱胶架为脱落后的硅片3提供支撑，脱胶完成后，需要进行取片，即将硅片3从脱胶架上取出，放进一个塑料盆中。原有的取片方式是人工取片，即操作人员用手将硅片3取出，由于硅片3有一定的重量，操作人员一次只取出十几片，且硅片3数量较多，需要进行多次取放操作，劳动强度大，工作效率低下。并且，人为取片，一不小心容易造成裂片，且硅片表面容易被操作人员玷污，降低了成品率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种硅片脱胶支架，能够实现硅片的整租取出，结构简单，操作方便，能够使用机器进行取片操作，大大降低了劳动强度，提高了工作效率，保证了成品率。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是:一种硅片脱胶支架，包括架体，所述架体内套有至少一组可从架体上取出的取片架，所述取片架包括左挡板、右挡板、底部挡杆和至少两个侧面挡杆，左挡板和右挡板分别位于取片架的两端，左挡板和右挡板之间的底部设有底部挡杆，左挡板和右挡板之间的两侧面分别设有侧面挡杆，左挡板和右挡板的外侧面或顶部分别固定有勾手；底部挡杆、侧面挡杆与左挡板、右挡板之间的连接方式为可拆卸式。进一步的技术方案，所述取片架的数量为2组。进一步的技术方案，所述底部挡杆的数量为两个。进一步的技术方案，所述架体的底部固定有支撑板，用于支撑取片架。进一步的技术方案，所述取片架的左右两边还设有架体把手。进一步的技术方案，所述取片架的长度为360mm-380mm。采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术在脱胶支架内设置可拆卸式取片架，实现了整租硅片的取片操作，结构简单，操作方便，能够使用机器进行取片操作，大大降低了劳动强度，提高了工作效率，保证了成品率。另外，设有的勾手便于使用机器将取片架取出；取片架设置成可拆卸式，方便取片后的放片操作。【附图说明】图1是传统的脱胶支架结构原理图；图2是本技术的结构原理图；在附图中:1、晶托板，2、玻璃板，3、硅片，4、架体，5、侧面挡杆，6、底部挡杆，7、横梁，8、架体把手，9、左挡板，10、右挡板，11、勾手，12、支撑板，13、挡杆槽。【具体实施方式】下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细的说明。如图2所示，一种硅片脱胶支架，包括架体4，架体4内套有至少一组可从架体4上取出的取片架，由于在实际操作中，脱胶支架上通常放置两组待脱胶的硅片3，因此取片架的数量优选为2组。取片架的长度为360mm-380mm。取片架包括左挡板9、右挡板10、底部挡杆6和至少两个侧面挡杆5。左挡板9和右挡板10分别位于取片架的两端，左挡板9、右挡板10的高度小于脱胶支架上的横梁7的高度，以便保证晶托能够平放于横梁7上。左挡板9和右挡板10之间的底部设有底部挡杆6，底部挡杆6为圆柱体形，数量为两个，用于为脱落的硅片3提供支撑。左挡板9和右挡板10之间的两侧面分别设有侧面挡杆5，在进行取片操作时，保证硅片3的稳定性。左挡板9和右挡板10的外侧面或顶部分别固定有勾手11，以便于机器钩挂勾手11进行取片操作。底部挡杆6、侧面挡杆5与左挡板9、右挡板10之间的连接方式为可拆卸式，在将取出的硅片3放至塑料盆中时，方便将取片架卸下。可拆卸式具体为:左挡板9与右挡板10上设有挡杆槽13，挡杆槽13上设有不同的档位，侧面挡杆5和底部挡杆6两端分别插入左挡板9和右挡板10上的挡杆槽13上后，通过调节侧面挡杆5和底部挡杆6至不同档位，实现两个侧面挡杆5之间、两个底部挡杆6之间宽度的调节，调节两个侧面挡杆5能够满足不同规格硅片的放置。架体4的底部固定有支撑板12，用于支撑取片架。取片架的左右两边还设有架体把手8，方便脱胶支架的搬运、移动。本技术的工作原理是:操作时，将两组带有硅片3的晶托放置到脱胶支架的横梁7上，两组硅片3分别伸进取片架内；将脱胶支架放入温水中进行脱胶；待脱胶完成后，卸下晶托，使用机器钩挂其中一组取片架的一组勾手11，将整租硅片3取出放至塑料盆中；拆卸取片架，即可完成一组硅片3的取放操作。进行另一组硅片3的取放操作，直至完成两组硅片3的取放操作。本技术应用于多个晶托上的多组硅片3的脱胶清洗时效果最佳，尤其在使用切片机NTC442进行切割时。与NTC442配套的脱胶架恰好放置两个晶托，通常是将两组硅片3同时放入脱胶架中进行脱胶，这样应用本技术进行脱胶时，脱胶完成后分别取出两个取片架，完成取片放片操作即可，提高了工作效率，保证了硅片3的质量。【主权项】1.一种硅片脱胶支架，其特征在于包括架体(4)，所述架体(4)内套有至少一组可从架体(4)上取出的取片架，所述取片架包括左挡板(9)、右挡板(10)、底部挡杆(6)和至少两个侧面挡杆(5)，左挡板(9)和右挡板(10)分别位于取片架的两端，左挡板(9)和右挡板(10)之间的底部设有底部挡杆(6)，左挡板(9)和右挡板(10)之间的两侧面分别设有侧面挡杆(5)，左挡板(9)和右挡板(10)的外侧面或顶部分别固定有勾手(11);底部挡杆(6)、侧面挡杆(5)与左挡板(9)、右挡板(10)之间的连接方式为可拆卸式。2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架，其特征在于所述取片架的数量为2组。3.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架，其特征在于所述底部挡杆(6)的数量为两个。4.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架，其特征在于所述架体(4)的底部固定有支撑板(12)，用于支撑取片架。5.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架，其特征在于所述取片架的左右两边还设有架体把手(8)。6.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架，其特征在于所述取片架的长度为360mm-380mmo【专利摘要】本技术公开了一种硅片脱胶支架，涉及硅片脱胶
；包括架体，所述架体内套有至少一组可从架体上取出的取片架，所述取片架包括左挡板、右挡板、底部挡杆和至少两个侧面挡杆，左挡板和右挡板分别位于取片架的两端，左挡板和右挡板之间的底部设有底部挡杆，左挡板和右挡板之间的两侧面分别设有侧面挡杆，左挡板和右挡板的外侧面或顶部分别固定有勾手；底部挡杆、侧面挡杆与左挡板、右挡板之间的连接方式为可拆卸式。本技术能够实现硅片的整租取出，结构简单，操作方便，能够使用机器进行取片操作，大大降低了劳动强度，提高了工作效率，保证了成品率。【IPC分类】H01L21/673, H01L21/687【公开号】CN204632737【申请号】CN201520327090【专利技术人】王会敏, 何京辉, 李立伟,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片脱胶支架，其特征在于包括架体（4），所述架体（4）内套有至少一组可从架体（4）上取出的取片架，所述取片架包括左挡板（9）、右挡板（10）、底部挡杆（6）和至少两个侧面挡杆（5），左挡板（9）和右挡板（10）分别位于取片架的两端，左挡板（9）和右挡板（10）之间的底部设有底部挡杆（6），左挡板（9）和右挡板（10）之间的两侧面分别设有侧面挡杆（5），左挡板（9）和右挡板（10）的外侧面或顶部分别固定有勾手（11）；底部挡杆（6）、侧面挡杆（5）与左挡板（9）、右挡板（10）之间的连接方式为可拆卸式。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，何京辉，李立伟，张立涛，张稳，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13