晶圆片储存盒制造技术

技术编号:12038824 阅读:104 留言:0更新日期:2015-09-11 10:43
本实用新型专利技术公开了一种晶圆片储存盒,包括盒体、上盖和底盖,盒体与上盖和下盖之间分别通过锁舌组件扣合连接,盒体内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板,隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,相邻两条隔槽板之间形成用于插放晶圆片的置放槽,上盖和底盖内的两侧分别设有两排弹片,弹片的上端开有V形槽,V形槽的底部设有斜面板,晶圆片的两端内嵌于V形槽内并与斜面板形成线接触。本实用新型专利技术,置放槽为内窄外宽的结构,利于存放和取出晶圆片,并减少间距来增加置放槽的数量,降低了生产成本,在弹片的上端V形槽的底部设有斜面板,晶圆片与斜面板形成线接触,加大了接触面积,起到了保护晶圆片和减少颗粒产生的作用,避免产生污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆片的储存工具,具体涉及晶圆片储存盒
技术介绍
晶圆片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,由于晶圆片是贵重的电子半成品,因此用于储存晶圆片的包装盒必须有极高的洁净度,这就要求生产晶圆包装盒时必须做到选材精良,精细处理,从而导致了每套包装盒的成本高,价格高。另外目前市场上的晶圆片包装盒每套能存放晶圆数量少,直接导致了包装成本的增加,同时,弹片上的槽为点接触,接触面积过小,不但在运输过程中不能很好的保护产品,而且还容易产生颗粒,污染产品。因此,现有的晶圆片储存盒存在生产成本高、储存盒上的弹片与晶圆片接触面积小且易产生污染的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是现有的晶圆片储存盒存在生产成本高、储存盒上的弹片与晶圆片接触面积小且易产生污染的问题。为了解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是提供一种晶圆片储存盒,包括盒体、上盖和底盖,所述盒体与所述上盖之间通过第一锁舌组件扣合连接,与所述底盖之间通过第二锁舌组件扣合连接,所述盒体内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板,所述隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,相邻两条所述隔槽板之间形成用于插放晶圆片的置放槽,所述上盖和所述底盖内的两侧分别设有两排弹片,所述弹片的上端开有V形槽,所述V形槽的底部设有斜面板,所述晶圆片的两端穿过所述置放槽后内嵌于所述V形槽内,并与所述斜面板形成线接触。在上述方案中,所述第一锁舌组件包括上导向槽、第一卡勾、第一锁舌和第一锁钩,所述上盖沿宽度方向的两侧中部向下凸出有所述第一锁舌,所述第一锁舌的前端设有突出的第一锁钩,所述盒体上端与所述第一锁舌配合处开有上导向槽,所述第一卡勾置于所述上导向槽的下端,所述第一锁舌插入到上导向槽内,所述第一锁钩与所述第一卡勾扣合固定。在上述方案中,所述第二锁舌组件包括下导向槽、第二卡勾、第二锁舌和第二锁钩,所述底盖沿宽度方向的两侧中部向上凸出有所述第二锁舌,所述第二锁舌的前端设有突出的第二锁钩,所述盒体下端与所述第二锁舌配合处开有下导向槽,所述第二卡勾置于所述下导向槽的上端,所述第二锁舌插入到下导向槽内,所述第二锁钩与所述第二卡勾扣合固定。在上述方案中,所述斜面板形成自所述上盖或所述底盖的盖边朝向盖内的斜坡。在上述方案中,所述置放槽的个数为35个。本技术,通过设置隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,使得置放槽为内窄外宽的结构,利于存放和取出晶圆片,在没有增加盒体的外形尺寸的条件下,通过减少间距来增加置放槽的数量,提高了能够放入晶圆片的数量,降低了生产成本,在弹片的上端V形槽的底部设有斜面板,晶圆片的两端内嵌于V形槽内,并与斜面板形成线接触,加大了接触面积,使得在包装和运输过程中起到了保护晶圆片和减少颗粒产生的作用,避免产生污染。【附图说明】图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的分解图;图3为图2中K处的放大图。【具体实施方式】下面结合说明书附图对本技术做出详细说明。如图1、图2所示,本技术提供了一种晶圆片储存盒,包括盒体10、上盖20和底盖30,盒体10与上盖20之间通过第一锁舌组件扣合连接,盒体10与底盖30之间通过第二锁舌组件扣合连接,连接稳固可靠,而且方便打开和关闭,盒体10用于运输和储存直径为2英寸的晶圆片。盒体10内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板16,相邻两条隔槽板16之间形成用于插放晶圆片的置放槽15,隔槽板16固定在盒体10的内壁上,隔槽板16的固定端的宽度大于其自由端的宽度,使得置放槽15为内窄外宽的结构,利于存放和取出晶圆片,以及减少晶圆片存放时与置放槽15之间的接触面积,在没有增加盒体10的外形尺寸的条件下,通过减少两隔槽板16之间的间距来增加置放槽15的数量,本技术中盒体10内设有的置放槽15的数量为35个,而目前市场上通常设计的晶圆片储存盒通常只有25个置放槽,从而为客户至少降低了 40%的包装成本。参考图2、图3,上盖20和底盖30内的两侧与置放槽15相对应的位置分别设有两排弹片33,弹片33用于夹持和稳定晶圆片的两端,防止晶圆片散落或错乱,弹片33的上端开有V形槽34,上盖20和底盖30内的V形槽34分别朝向置放槽15,V形槽34的底部设有斜面板35,斜面板35形成自上盖20或底盖30的盖边朝向盖内的斜坡,晶圆片的两端穿过置放槽15后内嵌于V形槽34内,并与斜面板35之间形成线接触,加大了接触面积,使得在包装和运输过程中起到了保护晶圆片的作用,因为晶圆片在运输过程中容易产生振动,而导致晶圆片与弹片33在接触点之间产生摩擦运动,由于晶圆片与斜面板35之间形成线接触,加大了接触面积,从而减少了因摩擦而产生的塑料微小颗粒物,有效地降低了污染。结合图1、图2,第一锁舌组件包括上导向槽12、第一卡勾14、第一锁舌21和第一锁钩22,第一锁舌21向下凸出于上盖20沿宽度方向的两侧中部,第一锁舌21与上盖为一体的,第一锁舌21的前端设有突出的第一锁钩22,盒体10上端与第一锁舌21配合处开有上导向槽12,第一卡勾14置于上导向槽12的下端,当关闭上盖20与盒体10时,第一锁舌21插入到上导向槽12内,直至第一锁舌21前端的第一锁钩22卡扣住上导向槽12下端的第一^^勾14,这样就使得上盖20与盒体10紧紧卡扣在一起。第二锁舌组件包括下导向槽11、第二卡勾13、第二锁舌31和第二锁钩32,第二锁舌31向上凸出于底盖30沿宽度方向的两侧中部,第二锁舌31的前端设有突出的第二锁钩32,盒体10下端与第二锁舌31配合处开有下导向槽11,第二卡勾13置于下导向槽11的上端,当关闭底盖30与盒体10时,第二锁舌31插入到下导向槽11内,直至第二锁舌31前端的第二锁钩32卡扣住下导向槽11上端的第二卡勾13,这样就使得底盖30与盒体10紧紧卡扣在一起。盒体10的上、下两端与上盖20和底盖30之间均采用活动固定的安装方式,利于装入和拆卸晶圆片,且上盖20和底盖30内均设置稳固晶圆片的弹片33,大大提高了晶圆片的稳定性和在运输过程中的安全性。本技术,隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,使得置放槽为内窄外宽的结构,利于存放和取出晶圆片,在没有增加盒体的外形尺寸的条件下,通过减少间距来增加置放槽的数量,提高了能够放入晶圆片的数量,降低了生产成本,在弹片的上端V形槽的底部设有斜面板,晶圆片的两端内嵌于V形槽内,并与斜面板形成线接触,加大了接触面积,在包装和运输过程中起到了保护晶圆片和减少颗粒产生的作用,避免产生污染。本技术不局限于上述最佳实施方式,任何人应该得知在本技术的启示下作出的结构变化,凡是与本技术具有相同或相近的技术方案,均落入本技术的保护范围之内。【主权项】1.晶圆片储存盒,包括盒体、上盖和底盖,其特征在于,所述盒体与所述上盖之间通过第一锁舌组件扣合连接,与所述底盖之间通过第二锁舌组件扣合连接,所述盒体内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板,所述隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,相邻两条所述隔槽板之间形成用于插放晶圆片的置放槽,所述上盖和所述底盖内的两侧分别设有两排弹片,所述弹片的上端开有V形槽,所述V形槽的底部设有斜面板,所述晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
晶圆片储存盒,包括盒体、上盖和底盖,其特征在于,所述盒体与所述上盖之间通过第一锁舌组件扣合连接,与所述底盖之间通过第二锁舌组件扣合连接,所述盒体内沿长度方向的两内侧壁上垂直设有多条隔槽板,所述隔槽板的固定端的宽度大于其自由端的宽度,相邻两条所述隔槽板之间形成用于插放晶圆片的置放槽,所述上盖和所述底盖内的两侧分别设有两排弹片,所述弹片的上端开有V形槽,所述V形槽的底部设有斜面板,所述晶圆片的两端穿过所述置放槽后内嵌于所述V形槽内,并与所述斜面板形成线接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邱摩西刘汝拯陈松平何江波
申请(专利权)人:义柏科技深圳有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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