产品生产异常处理的方法技术

本发明专利技术公开应用于半导体产品制造领域的一种产品生产异常处理的方法，主要过程是：产品发生异常后，生产系统将产品留在所在工位，经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后，按照一致处理方案自动执行。经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案，大大提高了产品异常处理正确率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别涉及一种应用于半导体制造领域的。
技术介绍
在半导体制造的生产过程中，由于机台或者工人操作的问题，时有异常情况发生。通常发生异常后由工程师检查受影响产品情况，判断后制定下一步的处理措施。对于产品异常，目前的处理方式是由一线制造工人口头通知工艺工程师，工艺工程师查询产品详细异常信息后，将异常产品信息记录在纸质表单上，再按照表单手动对产品处理。目前的处理流程无系统自动的记录，设备工程师的处理意见和工艺工程师的处理意见不能相互比对，容易造成处理失误，产品异常处理正确率偏低。
技术实现思路
鉴于此，有必要提供一种应用于半导体制造领域的产品异常处理正确率的。一种，包括如下步骤:生产系统检查产品是否发生异常；当产品发生异常时，所述生产系统将产品留在所在工位，并提示异常信息；所述生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息，然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单；所述生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案；所述生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案；所述生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致；若所述第一处理方案和第二处理方案一致，所述生产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案；所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致；若所述第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致，所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案；所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致；若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致，所述生产系统按照所述一致的处理方案自动执行。在其中一个实施例中，所述产品基本信息包括产品在设备端的位置。在其中一个实施例中，若所述第一处理方案和第二处理方案不一致，则所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。在其中一个实施例中，若第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案不一致，则所述生产系统不会向一线制造工人发送所述设备工程师、所述第一工艺工程师和所述第二工艺工程师填写的异常产品状况和处理方案，所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。在其中一个实施例中，若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案不一致，所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。在其中一个实施例中，所述异常产品状况包括由所述生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺。在其中一个实施例中，在所述生产系统中，所述异常产品状况分别对应由所述生产系统预定义的处理方案。在其中一个实施例中，若所述第二处理方案为产品返工，则所述工艺工程师提交第二处理方案后所述生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单，并输出对比结果。在其中一个实施例中，若所述第二处理方案为产品返工，则所述第二工艺工程师提交第三处理方案后所述生产系统显示所述返工工艺菜单和所述正常工艺菜单的对比信肩、O在其中一个实施例中，所述输出对比结果包括弹出对比提示窗口。上述的，产品发生异常后，生产系统将产品留在所在工位，经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后，按照处理方案自动执行，经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案，大大提高了产品异常处理正确率。异常产品信息记录可以保存在电子系统中，便于追溯查询。对于已完成工艺或未进行工艺的异常产品，相对于目前采用的人为手动进出工艺站点，本专利技术是由系统自动控制处理，处理风险大大降低。【附图说明】图1为本专利技术一个实施例的流程图。【具体实施方式】下面结合附图，对本专利技术的【具体实施方式】进行详细描述。图1为本专利技术一个实施例的流程图，包括:步骤SlOO:生产系统检查产品是否发生异常。生产系统通过生产设备检测产品是否发生异常。步骤SllO:当产品发生异常时，生产系统将产品留在所在工位，并提示异常信息。生产设备检测到产品发生异常，生产系统控制生产设备将异常产品暂时留在生产线上的所在工位，并向相关工作人员提示异常信息，包括各种提示灯或蜂鸣器，以及在相关工作人员的电脑上提示并显示异常产品的相关信息，包括异常产品所在位置等信息。一出现异常生产系统就把异常产品留在所在工位，并记录位置信息，让工作人员知道异常产品所在位置，方便处置。步骤S120:生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息，然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单，产品基本信息包括异常产品在生产线设备端的位置信息。步骤S130:生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案。设备工程师根据异常产品状况处理生产设备的对应操作，确认异常产品所在位置，并检查和判断异常产品的工艺状况。异常产品状况包括由生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺这三种工艺，分别由生产系统提供选项由操作者选择，并且分别对应有各自统一的由生产系统预定义的处理方案。例如，如果判断为未工艺，则对应的由生产系统预定义的处理方案为:产品取消进站，重新按原菜单作业。如果判断为部分工艺或已工艺，则对应的由生产系统预定义的处理方案为:返工。由于每种工艺状况分别对应有各自统一的处理方案，工作人员只需判断了异常产品的工艺状况，生产系统即自动对应有统一的处理方案，既减轻了工作人员的工作量，也大大提高了产品处理的一致性和正确率。步骤S140:生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案。第一工艺工程师填写异常产品的工艺信息，并判断异常产品的工艺状况和处理方案。和上述一样，异常产品状况包括由生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺这三种工艺，分别由生产系统提供选项由操作者选择，并且分别对应有各自统一的由生产系统预定义的处理方案。如果第一工艺工程师的第二处理方案为产品返工，则第一工艺工程师提交第二处理方案后生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单，并在第一工艺工程师操作界面弹出对比提示窗口输出对比结果。工艺菜单的改变可能会对产品产生重大的影响，通过在第一工艺工程师操作界面弹出对比提示窗口来警示第一工艺工程师，进一步确保工艺菜单的改变的正确性。步骤S150:生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致，若第一处理方案和第二处理方案一致，则执行步骤S160，否则执行步骤S140。生产系统对设备工程师的第一处理方案和第一工艺工程师的第二处理方案进行对比，判断是否一致。若生产系统检查第一处理方案和第二处理方案不一致，则生产系统不会向第二工艺工程师发送设备工程师和第一工艺工程师填写的异常产品状况和第二处理方案，生产系统执行步骤S140。步骤S160:生当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种产品生产异常处理的方法，其特征在于，包括如下步骤：生产系统检查产品是否发生异常；当产品发生异常时，所述生产系统将产品留在所在工位，并提示异常信息；所述生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息，然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单；所述生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案；所述生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案；所述生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致；若所述第一处理方案和第二处理方案一致，所述生产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案；所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致；若所述第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致，所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案；所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致；若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致，所述生产系统按照所述一致的处理方案自动执行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，李法涛，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32