DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法制造方法及图纸

DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法属于DMD系统光源位置的定位技术领域，该装置通过给DMD光学系统中的外部光源增加半反半透镜和若干圆孔遮挡板等部件使其成为光能单向输出的紫光准直光源，以作为DMD光学系统光源位置的定位辅助装置。此外，本发明专利技术还给出了通过该紫光准直光源与二向色镜、DMD空间光调制器以及全反射镜的配合调整，进一步实现对紫光准直光源所输出的调校出射光束的自准直过程的具体方法，从而最终完成对DMD光学系统中光源姿态的校准过程的标准化，实现使光源按照给定的倾角规律地投射到DMD镜面上，并促进DMD光学系统对光能传递效率的提升和对投影图像品质的改善。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于DMD系统光源位置的定位
，具体涉及一种DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法。
技术介绍
数字微镜阵列(Digital Mirror Detector，DMD)具有较高的分辨率、对比度、灰度等级和响应速度等优点，应用DMD数字微镜阵列的光学系统可作为高清电视、数字影院等场合的投影装置，其在数字相机、快速原型制造系统、数字图像处理联合变换相关器、压缩成像、数字光刻以及成像光谱等诸多领域均都得到了成功的应用。利用数字微镜阵列中的每一个微镜均可在电极的作用下向预期的方向偏转的重要特性制成的DMD空间光调制器2，其由微镜阵列按统一方向偏转时能形成一个整体的DMD镜面2-1。在未加电压的初始状态下，其DMD镜面2-1与DMD空间光调制器2的基座2-2平行，是倾角为0°的初始状态。当DMD空间光调制器2通过电极向微镜阵列施加可控的电压时，其DMD镜面2-1的角度可以实现绕其转轴在±α角的锐角范围内偏转，因此DMD空间光调制器2还可以近似为一种二维光栅。如图1至图2所示，当其它外部光源，例如紫色激光器4所发出的激光投射在DMD镜面2-1表面并反射时，通过控制DMD空间光调制器2的电极，即可改变DMD镜面2-1的倾角，从而实现对反射后的出射光的方向选择和控制，并且，根据反射原理可知，当DMD空间光调制器2的DMD镜面2-1逆时针旋转α度角时，其镜面的法线随之做出同样的变化，因此，只有当紫光激光器4按照与DMD空间光调制器的基座2-2呈90°-2α倾角入射到DMD镜面2-1时，才能够使DMD空间光调制器2对光能的传递效率处于最佳状态。然而，在现有DMD空间光调制器2的使用方法中，并不包含对外部光源姿态的校准过程，紫光激光器4只能随机地按某个倾角直接将紫色激光束投射到DMD镜面2-1上，由此造成光能传递效率的下降和投影图像品质的损失。
技术实现思路
为了解决现有DMD空间光调制器应用时，缺少对其外部光源位置和姿态的校准和定位方法，DMD空间光调制器的外部光源只能随机地按某个倾角直接将紫色激光束投射到DMD镜面上，由此导致光能传递效率的下降并造成投影图像品质损失的技术问题，本专利技术提供一种DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法。本专利技术解决技术问题所采取的技术方案如下：DMD光学系统光源位置的定位辅助装置，其包括DMD空间光调制器、紫光激光器和二向色镜，二向色镜位于紫光激光器的出射光轴上，但二向色镜的法线与紫光激光器的出射光轴并不重合；DMD空间光调制器作为紫光激光的接收和再反射器件，其用于接收和再次反射经二向色镜前端面反射后的紫光激光；DMD空间光调制器包括基座和由倾角可调的微镜阵列组成的DMD镜面，在未通电状态下，DMD镜面的法线与基座端面垂直，此时DMD镜面的倾角为0°；其特征在于：该定位辅助装置还包括自准直仪、全反射镜、第一圆孔遮挡板、第二圆孔遮挡板、第三圆孔遮挡板和半反半透镜；所述第一圆孔遮挡板与紫光激光器的出射端同轴连接，第二圆孔遮挡板和第三圆孔遮挡板顺次同轴布置于紫光激光器的出射光轴上，半反半透镜也布置在紫光激光器的光路上并且位于第一圆孔遮挡板和第二圆孔遮挡板二者之间，半反半透镜的反射面位于第二圆孔遮挡板所在的一侧；所述紫光激光器、第一圆孔遮挡板、半反半透镜、第二圆孔遮挡板和第三圆孔遮挡板共同形成紫光准直光源；所述紫光准直光源出射的紫光激光经二向色镜的前端面反射后，能投射到DMD空间光调制器的DMD镜面上；所述全反射镜的前端面为全反射镜面，其后端面是平面度较高的光滑反射面；所述自准直仪的光平面与DMD空间光调制器在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面垂直；全反射镜位于自准直仪和DMD空间光调制器之间，其全反射镜面与DMD空间光调制器在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面相对且平行。利用上述定位辅助装置对DMD光学系统光源位置装调的方法包括如下步骤：步骤一：使DMD镜面处于倾角为0°的未通电状态；步骤二：临时固定自准直仪并用自准直仪对DMD空间光调制器的姿态进行调整和准直，使自准直仪的光平面与DMD空间光调制器在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面端面垂直，然后，将DMD空间光调制器的基座固定，最后关闭自准直仪；步骤三：将全反射镜放置于自准直仪和DMD空间光调制器之间，并使全反射镜的全反射镜面朝向DMD空间光调制器所在的方向；步骤四：用自准直仪从全反射镜的后端面对全反射镜进行准直，并使自准直仪的光平面与位于全反射镜的后端面的光滑反射面垂直；步骤五：临时性地将第一圆孔遮挡板与紫光激光器的出射端同轴固连，开启紫光激光器并使其出射的紫光穿过第一圆孔遮挡板上的通孔；步骤六：顺次将第二圆孔遮挡板和第三圆孔遮挡板均同轴布置于紫光激光器的出射光轴上，并使开启紫光激光器出射的紫光顺次穿过第二圆孔遮挡板和第三圆孔遮挡板上的通孔；步骤七：将半反半透镜布置在第一圆孔遮挡板和第二圆孔遮挡板之间的紫光激光器出射光轴上，并使半反半透镜的反射面朝向第二圆孔遮挡板所在的一侧；步骤八：分别固定步骤五至步骤七所述紫光激光器、第一圆孔遮挡板、半反半透镜、第二圆孔遮挡板和第三圆孔遮挡板的相对位置，使它们共同形成紫光准直光源；然后，关闭紫光激光器；步骤九：接通DMD空间光调制器的电源，并使其DMD镜面逆时针偏转α角，成为DMD镜面倾角为α角的状态；步骤十：将二向色镜和步骤八所述的紫光准直光源分别布置在步骤二所述自准直仪的光平面的两侧，并再次开启紫光激光器，使紫光准直光源向二向色镜投射出紫色激光；步骤十一：分别调整紫光准直光源和二向色镜的倾角，使得如步骤十所述的紫色激光顺次经二向色镜和步骤九所述倾角为α状态下的DMD镜面反射，并最终投射到步骤四所述的全反射镜的前端面上；此时，入射全反射镜面的整条紫色激光光路可称为调校入射光束；步骤十二：进一步微调紫光准直光源和二向色镜的倾角，并使步骤十一所述的紫色激光在经全反射镜面反射后，能逆向沿着为调校入射光束的光路原路返回，形成调校出射光束；该调校出射光束最终投射到半反半透镜前端的反射面上，并形成一个光斑；步骤十三：进一步微调步骤十二所述光准直光源和二向色镜的倾角，当半反半透镜前端的反射面上的光斑最终与由半反半透镜后端投射出的紫色激光光束完全重合后；分别固定当前倾角姿态下的光激光器和二向色镜；步骤十四：顺次移除本文档来自技高网...

【技术保护点】
DMD光学系统光源位置的定位辅助装置，其包括DMD空间光调制器(2)、紫光激光器(4)和二向色镜(9)，二向色镜(9)位于紫光激光器(4)的出射光轴上，但二向色镜(9)的法线与紫光激光器(4)的出射光轴并不重合；DMD空间光调制器(2)作为紫光激光的接收和再反射器件，其用于接收和再次反射经二向色镜(9)前端面反射后的紫光激光；DMD空间光调制器(2)包括基座(2‑2)和由倾角可调的微镜阵列组成的DMD镜面(2‑1)，在未通电状态下，DMD镜面的法线与基座(2‑2)端面垂直，此时DMD镜面的倾角为0°；其特征在于：该定位辅助装置还包括自准直仪(1)、全反射镜(3)、第一圆孔遮挡板(5)、第二圆孔遮挡板(7)、第三圆孔遮挡板(8)和半反半透镜(6)；所述第一圆孔遮挡板(5)与紫光激光器(4)的出射端同轴连接，第二圆孔遮挡板(7)和第三圆孔遮挡板(8)顺次同轴布置于紫光激光器(4)的出射光轴上，半反半透镜(6)也布置在紫光激光器(4)的光路上并且位于第一圆孔遮挡板(5)和第二圆孔遮挡板(7)二者之间，半反半透镜(6)的反射面位于第二圆孔遮挡板(7)所在的一侧；所述紫光激光器(4)、第一圆孔遮挡板(5)、半反半透镜(6)、第二圆孔遮挡板(7)和第三圆孔遮挡板(8)共同形成紫光准直光源(10)；所述紫光准直光源(11)出射的紫光激光经二向色镜(9)的前端面反射后，能投射到DMD空间光调制器(2)的DMD镜面(2‑1)上；所述全反射镜(3)的前端面为全反射镜面(3‑1)，其后端面是平面度较高的光滑反射面(3‑2)；所述自准直仪(1)的光平面与DMD空间光调制器(2)在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面(2‑1)垂直；全反射镜(3)位于自准直仪(1)和DMD空间光调制器(2)之间，其全反射镜面(3‑1)与DMD空间光调制器(2)在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面(2‑1)相对且平行。...

【技术特征摘要】
1.DMD光学系统光源位置的定位辅助装置，其包括DMD空间光调制器
(2)、紫光激光器(4)和二向色镜(9)，二向色镜(9)位于紫光激光器(4)
的出射光轴上，但二向色镜(9)的法线与紫光激光器(4)的出射光轴并不重
合；DMD空间光调制器(2)作为紫光激光的接收和再反射器件，其用于接收
和再次反射经二向色镜(9)前端面反射后的紫光激光；DMD空间光调制器(2)
包括基座(2-2)和由倾角可调的微镜阵列组成的DMD镜面(2-1)，在未通电
状态下，DMD镜面的法线与基座(2-2)端面垂直，此时DMD镜面的倾角为0°；
其特征在于：该定位辅助装置还包括自准直仪(1)、全反射镜(3)、第一
圆孔遮挡板(5)、第二圆孔遮挡板(7)、第三圆孔遮挡板(8)和半反半透镜(6)；
所述第一圆孔遮挡板(5)与紫光激光器(4)的出射端同轴连接，第二圆孔遮
挡板(7)和第三圆孔遮挡板(8)顺次同轴布置于紫光激光器(4)的出射光轴
上，半反半透镜(6)也布置在紫光激光器(4)的光路上并且位于第一圆孔遮
挡板(5)和第二圆孔遮挡板(7)二者之间，半反半透镜(6)的反射面位于第
二圆孔遮挡板(7)所在的一侧；所述紫光激光器(4)、第一圆孔遮挡板(5)、
半反半透镜(6)、第二圆孔遮挡板(7)和第三圆孔遮挡板(8)共同形成紫光
准直光源(10)；
所述紫光准直光源(11)出射的紫光激光经二向色镜(9)的前端面反射后，
能投射到DMD空间光调制器(2)的DMD镜面(2-1)上；
所述全反射镜(3)的前端面为全反射镜面(3-1)，其后端面是平面度较高
的光滑反射面(3-2)；
所述自准直仪(1)的光平面与DMD空间光调制器(2)在未通电且镜面倾
角为0°状态下的DMD镜面(2-1)垂直；全反射镜(3)位于自准直仪(1)和
DMD空间光调制器(2)之间，其全反射镜面(3-1)与DMD空间光调制器(2)
在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面(2-1)相对且平行。
2.利用权利要求1所述的定位辅助装置对DMD光学系统光源位置装调的
方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
步骤一：使DMD镜面(2-1)处于倾角为0°的未通电状态；
步骤二：临时固定自准直仪(1)并用自准直仪(1)对DMD空间光调制器
(2)的姿态进行调整和准直，使自准直仪(1)的光平面与DMD空间光调制器
(2)在未通电且镜面倾角为0°状态下的DMD镜面(2-1)端面垂直，然后，
将DMD空间光调制器(2)的基座(2-2)固定，最后关闭自准直仪(1)；
步骤三：将全反射镜(3)放置于自准直仪(1)和DMD空间光调制器(2)
之间，并使全反射镜(3)的全反射镜面(3-1)朝向DMD空间光调制器(2)
所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华，卢振武，党博石，谭向全，郑黎明，孙强，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22