【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种氮化铝基板,是由氮化铝构成的基板,其特征在于,至少在表面具有以相对于纤锌矿结构的(0001)面在0.05°以上0.40°以下的范围内向m轴方向倾斜的面作为主面的氮化铝单晶层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:弘中启一郎,木下亨,
申请(专利权)人:株式会社德山,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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