一种晶体生长炉加热体的安装结构制造技术

技术编号:12001528 阅读:80 留言:0更新日期:2015-09-04 00:40
一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛内设有加热体,所述的加热体设置在隔热层上组成一个整体安装结构,其加热体由多个硼化锆石墨复合U型发热体组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体由冷端和U型热端组成,U型热端的两端分别连接冷端,并通过发热体夹具将多个冷端连接,使多个硼化锆石墨复合U型发热体串接在一起,使与冷端相连的加热体的接线端从炉膛底部穿出接线。该安装结构将硼化锆石墨复合U型发热体作为加热体使用,使其冷端朝下,热端朝上,加热体接线端不用冷却。且发热体与隔热板组合,能够整体装入炉膛,简化了晶体炉结构,增加炉膛有效受热面积,减小无效空间,降低能耗,而且安装便捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长炉,特别是涉及一种晶体生长炉加热体的安装结构
技术介绍
以往晶体生长炉加热体采用整体压制成型的石墨作为发热体,冷端也为石墨。晶体生长炉用整体压制成型的石墨作为发热体,该结构使炉膛的空间比较大,接线端为铜板,因为石墨电阻大,发热功率高,要想保证与之相接的铜板不至烧坏,需要在铜电极上加冷却水冷却。这就导致原有的晶体生长炉结构庞大,系统复杂,用电量大,耗能多。
技术实现思路
为了解决上述的问题,本技术克服现有的工作方式存在的缺陷,而提供一种晶体生长炉加热体的安装结构,将硼化锆石墨复合U型发热体作为加热体使用,使其冷端朝下,热端朝上,加热体接线端不用冷却。且发热体与隔热板组合,能够整体装入炉膛,简化了晶体炉结构,增加炉膛有效受热面积,减小无效空间,降低能耗,而且安装便捷。为实现上述技术目的,所采用的技术方案是:一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛内设有加热体,所述的加热体设置在隔热层上组成一个整体安装结构,其加热体由多个硼化锆石墨复合U型发热体组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体由冷端和U型热端组成,U型热端的两端分别连接冷端,其U型热端朝上设置,其冷端朝下设置在隔热层上,并通过发热体夹具将多个冷端连接,使多个硼化锆石墨复合U型发热体串接在一起,使与冷端相连的加热体的接线端从炉膛底部穿出接线。本技术所述的接线端不用冷却,在接线端与冷却水之间设有绝缘材料。本技术有益效果是:本技术所述的接线端不用冷却本安装结构首次采用硼化锆石墨复合U型发热体作为加热器,通过发热体夹具将多个U型发热体串接在一起,形成只需要一组接线端进行加热的加热体,发热体在晶体生长炉上的装法是热端向上,冷端向下,是在晶体生长炉上的首次应用,而且发热体与隔热板连为一体,安装拆卸方便,节省炉膛空间,增加有效受热面积。该种结构使变压器功率变小,简化了以前的晶体生长炉结构,接线端不再需要冷却,而是与炉底水冷进行隔离;节省炉膛空间,提高有用发热效率,增加了发热速度;节能50%,结构简单。【附图说明】图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的加热体的结构示意图;图3为本技术的安装结构示意图;图4为现有技术晶体生长炉的石墨发热体结构示意图;图5为现有技术晶体生长炉的结构示意图;图中:1、炉膛,2、加热体,3、硼化锆石墨复合U型发热体,301、冷端,302、U型热端,303、发热体夹具,304、接线端,4、坩祸,5、隔热层,6、绝缘材料,7冷却水,8、石墨发热体,9、石墨螺钉,10、炉底,11、接线柱。【具体实施方式】为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本技术提出的一种晶体生长炉加热体的安装结构,其【具体实施方式】、结构、特征及其功效,详细说明如后。有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点及功效,在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。通过【具体实施方式】的说明,当可对本技术为达成预定目的所采取的技术手段及功效得到更加深入且具体的了解,然而所附图式仅是提供参考与说明之用,并非用来对本技术加以限制。一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛I内设有加热体2,其炉底设有水冷系统,所述的加热体2设置在隔热层上组成一个整体安装结构,其加热体由多个硼化锆石墨复合U型发热体3组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体3由冷端301和U型热端302组成,U型热端302的两端分别连接冷端301,冷端为耐温极高的硼化锆,U型热端朝上,冷端朝下,多个冷端301通过发热体夹具303将多个硼化锆石墨复合U型发热体3串接在一起,与其中两个冷端连接的接线端,加热体2的接线端304从炉膛I底部穿出接线,接线端与水冷系统的冷却水之间设有绝缘材料,不对接线端进行水冷。加热体的安装是将硼化锆石墨复合U型发热体与隔热层整底取出进行安装,该种组合方式为整体式安装方式,其安装结果如图2所示,多个硼化锆石墨复合U型发热体大小一致,在隔热层上均匀排列完成安装,不使发热体与隔热层产生多余空间,再在隔热层底将冷端通过多个利用发热体夹个连接,使隔热层与硼化锆石墨复合U型发热体组成一个整体,一起放入晶体生长炉内,同时将坩祸与隔热层之间的距离拉近,减少炉膛内空闲空间,布局更为合理,更换更为方便。U型热端与冷端之间的连接可采用螺栓进行连接,也可采用正反丝方式正行连接,当只发现单独一个硼化锆石墨复合U型发热体损坏时,只需要将损坏的发热体拆下进行更换即可。多个硼化锆石墨复合U型发热体安装在炉底上,其冷端从炉底穿出,相临的两个冷端由发热体夹具连接在一起,使其变成冷端-热端-冷端-热端的串接结构,按此方式连接的硼化锆石墨复合U型发热体组成完成的加热体结构,只通过一组接线端即可完成对所有硼化锆石墨复合U型发热体供电。该种结构的冷端在隔热层内,其温度处于合理范围内,不需要将接线端置入水冷装置内,降低接线端的温度,可采用绝缘材料将接线端与水冷隔开,将接线端与冷却水隔开,无需再另加一套水冷系统对接线端进行冷却,减少了晶体生长炉的结构。以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非对本技术作任何形式上的限制,虽然本技术已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本技术,任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本技术技术方案范围内,当可利用上述揭示的
技术实现思路
作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本技术技术方案的内容,依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本技术技术方案的范围内。【主权项】1.一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛(I)内设有加热体(2),其特征在于:所述的加热体(2 )设置在隔热层(5 )上组成一个整体安装结构,其加热体(2 )由多个硼化锆石墨复合U型发热体(3)组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体(3)由冷端(301)和U型热端(302)组成,U型热端(302)的两端分别连接冷端(301),其U型热端(302)朝上设置,其冷端(301)朝下设置在隔热层(5)上,并通过发热体夹具(303)将多个冷端(301)连接,使多个硼化锆石墨复合U型发热体(3)串接在一起,使与冷端(301)相连的加热体(2)的接线端(304 )从炉膛(I)底部穿出接线。2.如权利要求书所述的一种晶体生长炉加热体的安装结构,其特征在于:所述的接线端(304)与冷却水(7)之间设有绝缘材料(6)。【专利摘要】一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛内设有加热体,所述的加热体设置在隔热层上组成一个整体安装结构,其加热体由多个硼化锆石墨复合U型发热体组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体由冷端和U型热端组成,U型热端的两端分别连接冷端,并通过发热体夹具将多个冷端连接,使多个硼化锆石墨复合U型发热体串接在一起,使与冷端相连的加热体的接线端从炉膛底部穿出接线。该安装结构将硼化锆石墨复合U型发热体作为加热体使用,使其冷端朝下,热端朝上,加热体接线端不用冷却。且发热体与隔热板组合,能够整体装入炉膛,简化了晶体炉结构,增加炉膛有效受热面积,减小无效空间,降低能耗,而且安装便捷。【IPC分类】C30B35-00【公开号】CN204608218本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种晶体生长炉加热体的安装结构,在炉膛(1)内设有加热体(2),其特征在于:所述的加热体(2)设置在隔热层(5)上组成一个整体安装结构,其加热体(2)由多个硼化锆石墨复合U型发热体(3)组成,所述的硼化锆石墨复合U型发热体(3)由冷端(301)和U型热端(302)组成,U型热端(302)的两端分别连接冷端(301),其U型热端(302)朝上设置,其冷端(301)朝下设置在隔热层(5)上,并通过发热体夹具(303)将多个冷端(301)连接,使多个硼化锆石墨复合U型发热体(3)串接在一起,使与冷端(301)相连的加热体(2)的接线端(304)从炉膛(1)底部穿出接线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:周森安张国豪郑传涛王晓辉蔡静静
申请(专利权)人:洛阳市西格马炉业有限公司
类型:新型
国别省市:河南;41

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